【課題】振動板が振動を続けることによるクラック等による振動板の破損が抑えられた、信頼性の向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコンウェハである流路形成基板用ウェハ１１０とは独立して酸化シリコンを含む振動板５３を形成するので、シリコンウェハの欠陥１１１に起因する酸化シリコンを含む振動板５３中の欠陥を低減できる。したがって、欠陥から生じるクラック等による振動板５３の破損を抑えることができ、信頼性の向上したインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成される圧電体膜であって、結晶配向性が高く、かつ表面側から基板側に向かう向きの自発分極を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】基板Ｂ上に、キュリー点以上の成膜温度でスパッタ法により圧電体膜５３を成膜し、該成膜後、圧電体膜５３の温度がキュリー点以下に低下する前に、該圧電体膜５３に対して該圧電体膜５３の表面側から基板Ｂ側に向かう電界Ｅ₁を生じさせ、分極処理を開始し、電界Ｅ₁を生じさせた状態で、圧電体膜５３の温度をキュリー点以下に下げる。 （もっと読む）

【課題】 配線基板と電極との電気的及び機械的密着力を向上すると共にコストを低減した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成部材２２と、該流路形成部材２２の一方面側に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、前記流路形成部材の一方面側に設けられて前記圧電素子に導通する端子部４６と、前記圧電素子を駆動する駆動信号を供給する配線層５１が設けられた配線基板５０と、前記配線層５１と前記端子部４６とを導通すると共に前記配線基板５０と前記流路形成部材２２とを接合する異方性導電材からなる接着層５５とを具備し、前記接着層５５が設けられた領域の前記流路形成部材２２及び前記配線基板５０の少なくとも一方面には、前記端子部４６及び前記配線層５１とは電気的に不連続なギャップ層５６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】液体の粘度によらず、高品質な印刷を実現できる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル開口２１と、ノズル開口２１に連通し圧力が付与される圧力発生室１１と、圧力発生室１１に圧力を付与する圧力発生手段とを具備し、圧力発生室１１とノズル開口２１との間には、液体が流れる液体吐出路６０が設けられ、液体吐出路６０は、小径部６１と、小径部６１よりもノズル開口２１側に設けられ小径部６１よりも流路面積が大きい拡大部６２とを有する。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体の吐出を安定化させる。
【解決手段】この液体吐出方法に用いる液体吐出ヘッドは、液体が吐出されるノズルと、液体をノズルから吐出させるために液体に圧力変化を与える圧力室と、圧力室に連通し、圧力室に液体を供給する供給部と、を有する。液体の粘度は、６ミリパスカル秒以上であって１５ミリパスカル秒以下の範囲内である。供給部の流路抵抗は、圧力室の流路抵抗以上であって圧力室の流路抵抗の２倍以下である。圧力室の流路長さは、供給部の流路長さ以上であって供給部の流路長さの２倍以下である。 （もっと読む）

【課題】外気圧の変動に影響されることなく、常に所望の圧力が発生できる静電アクチュエータ、液滴の吐出を適切に行うことのできる静電式液体噴射装置を提案することにある。
【解決手段】静電式のインクジェットヘッド１は、インクノズル２１に連通した圧力室６と、大気開放された大気圧室１２を備え、圧力室６の底面には振動板５が形成され、この振動板５と個別電極４３の間に電圧を印加することにより、振動板５が静電気力により振動して、インク液滴の吐出が行われる。密閉室としての振動室４１は圧力補償室４９に連通しており、圧力補償室４９の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板１６が形成されている。変位板１６が変位することにより、圧力補償室４９の容積が増減し、これに連通している各振動室４１の内圧が外気圧に一致するように調整される。 （もっと読む）

【課題】流路部材に用いた部品の高精度な接合が行え、安定した吐出特性が得られる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズルと、複数の流路部材とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路部材の少なくとも２層以上は金属プレートで形成され、かつ前記金属プレートに加工された位置合わせ用の穴は周辺部が低剛性となるよう加工されている。 （もっと読む）

【課題】短絡等の不良が低減し、振動板の変位量の低下が抑制され振動板のクラックの発生等が少ない液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子３００は、下電極６０および上電極８０とに挟まれている圧電体層７１を有し、圧力発生室１２の列方向に、圧電体層よりも水分を透過しがたい成分を含有する変形抑制層７２とが交互に連続して形成され、変形抑制層は、少なくとも振動板５６を挟んだ隔壁１１に対向する領域に形成されており、圧電素子を構成する下電極および上電極、振動板または変形抑制層のうち少なくとも１つとで圧電体層が囲まれている構成とした。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成基板の温度上昇を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】
ノズル形成基板の縁を被覆してノズル開口を露出する状態でヘッドケース３７に取付けられる金属製のヘッドカバー４０は、ヘッドケースへの取付け状態でノズル形成基板の表面の一部に重なるフレーム部５９と、ヘッドケースの側面側に配置される側板部６０とを有し、側板部を複数箇所で曲げて蛇腹部６４を形成した。 （もっと読む）

【課題】圧力室を精度良く形成できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第１の面１０ａと第２の面１０ｂとを有する基板１０を準備、第１の面１０ａの上方に振動板２０を形成、振動板２０の上方に圧電素子３０を形成、基板１０に圧力室１２を形成、圧力室１２と連通するノズル孔を有するノズル板を形成する、各工程を含み、圧力室１２を形成する工程は、第２の面１０ｂの上方にハードマスク層６０を形成、ハードマスク層６０をパターニング、ハードマスク層６０の側面に保護膜７０を形成、基板１０に異方性のウエットエッチングを行うことによって圧力室１２を形成する、各工程を有し、ハードマスク層６０のパターニングでは、基板１０とハードマスク層６０の界面が露出するように基板１０をオーバーエッチングし、保護膜７０の形成は、界面を覆うように形成する。 （もっと読む）

【課題】 流路形成基板とリザーバ形成基板とを強固に接合して、耐久性及び信頼性の向上した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と圧力発生室に連通する連通部１３とが形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられる圧電素子と、下地層及び金属層からなり圧電素子から引き出されるリード電極と、流路形成基板１０の圧電素子側の面に接着層３５を介して接合され連通部１３と連通してリザーバの一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０とを具備し、流路形成基板１０の連通部３１の開口周縁部にはリード電極とは不連続の下地層９１及び金属層９２からなる不連続金属層１９０が設けられ、不連続金属層１９０は下地層９１の連通部１３側の端部が金属層９２の連通部１３側の端部よりも突出し、下地層９１の連通部側の端部上面が接着層３５と接合されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル開口同士の相対位置を正確に位置決めする。
【解決手段】隣接するヘッド１の流路形成基板１２の間に嵌合されることで互いの相対位置を位置決めする凸部３を流路形成基板１２に形成し、隣接する流路形成基板１２の角部１２ｃの間に凸部３を度当てして嵌合することでヘッド１同士の相対位置を位置決めし、組立の累積誤差の影響を抑えてノズル開口同士の相対位置を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低減を図り得るばかりでなく、高密度化も容易に達成し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 インクを噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、圧力発生室１２に液体を噴射するための圧力を付与するように形成された圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００に接続されたリード電極９０と、リード電極９０に接続されるＣＯＦ基板４１０と、ＣＯＦ基板４１０をリード電極９０が設けられた面から立ち上がるように支持する支持部材４００とを有する。 （もっと読む）

【課題】金属板材に開設した孔の真円度の低下を防止することが可能なプレス装置、及び、液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】金属板材３１とパンチ３６とを所定ピッチ相対的に移動させながら当該金属板材に孔４０を開設するプレス装置３０であって、金属板を載せるダイ３２と、ベース３３に基端３６ａを固定して下向きに設けられたパンチと、パンチを挿通させる貫通ガイド孔４２を設けるとともに弾性材３４を介してベースに連結された押圧盤３５と、を備え、押圧盤の下面４９のうちパンチが開設した孔に対応する位置に孔とその縁を収容する凹部５０を形成し、開設した孔の周縁に隆起した隆起部５２と、金属板に向かって下降してきた押圧盤と、が当接することを防止する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いても、高密度化を達成できる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１００は、第１方向に延伸している複数の圧力室１２ａ，１２ｂを有する基板１０と、基板の下方に設けられ、各圧力室に連続しているノズル孔２２を有するノズル板と、基板の上方に設けられた振動板と、振動板の上方であって前記各圧力室の上方に設けられた圧電素子３０とを含み、第１方向に直行する第２方向から見て、第１と第３のノズル孔２２ａは重なる位置に、且つ、第２及び第４ノズル孔２２ｂと重ならない位置に設けられ、第２方向から見て、第１と第３の圧電素子３０ａは重なる位置に、且つ、第２及び第４圧電素子３０ｂと重ならない位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡略化され、各構成部材のずれによる噴射特性の低下が低減し、流路形成基板とノズルプレートの材質の違いによる熱膨張率差で生じる変形や剥離が少なく、噴射特性の低下の減少した液体噴射ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】ノズル形成層２０を流路形成基板１０に形成した後に、ノズル形成層２０にノズル開口２１を形成する。その後、圧力発生室１２を形成するので、ノズル開口２１が形成されたノズルプレートを接着する必要がなく、構造が簡単で位置ずれの少ないインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。また、ノズル形成層２０および流路形成基板１０の材質が、同じシリコンなので熱膨張差が少なく、温度差による変形や剥離を少なくでき、噴射特性の安定したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】個々に駆動信号の電圧値を設定することなく所望の特性を得ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ装置の製造方法は、基板１０上に設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０をこの順で積層してなる薄膜型の圧電素子３００を有し、下電極及び上電極間に電圧を印加することにより、圧電素子を撓み変形させるアクチュエータ装置の製造方法であって、圧電素子に、電圧を印加して圧電体層を分極させる分極工程と、圧電素子を４０〜１００℃で加熱する加熱工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】基材の表面粗さが大きく表面に凹凸や段差が存在し、接合させる基材どうしが接する接触面積がわずかな場合でも、接合強度や耐久性を確保することが可能な接合基材を提供する。
【解決手段】接合基材１００は、基材１１０の一面１１４上に接合膜１２０，１３０，１４０が重ねられて３層構造に形成された接合層１５０を有している。それぞれの接合膜１２０，１３０，１４０は、アルキル基を含むポリオルガノシロキサンを主材料とする薄膜にエネルギー線の一例としてのＵＶを照射することによる活性化処理が行われることによって形成される。 （もっと読む）

【課題】気泡の滞留を防止して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４に連通する圧力発生室２１を有する液体流路が設けられた流路形成ユニットと、前記圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段４０とを具備し、前記流路形成ユニットが、接着層１００〜１０２を介して積層された複数の流路部材を有すると共に、前記液体流路が接着層１００〜１０２を介して積層された複数の流路部材の積層方向に亘って設けられており、前記接着層１００〜１０２の前記液体流路側の端部が一方の流路部材の前記液体流路側端部と他方の流路部材の前記液体流路側端部との間に設けられることによって階段状の段差部１１０〜１１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基材の原子が、圧電層の駆動部分に拡散するのを抑制する、圧電アクチュエータを有する液体移送装置の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドを製造するためには、圧力室１０が形成される前のキャビティプレート２１にＡＤ法により振動層４１を形成し、振動層４１の上面に共通電極４３を形成した後、共通電極４３が形成された振動層４１の上面にＡＤ法により圧電層４２を形成する。次に、エッチングによりキャビティプレート２１に圧力室１０となる貫通孔を形成してから、圧電層４２の上面の圧力室１０と対向する部分に個別電極４４を形成する。次に、キャビティプレート２１、振動層４１、共通電極４３、圧電層４２及び個別電極４４の積層体を８５０℃程度で加熱することによって、圧電層４２に圧電特性を持たせるためのアニールと、個別電極４４及び共通電極４２の焼成とを同時に行う。 （もっと読む）