【課題】ノズル孔の形状を適正化することによって、気泡排出性に優れたノズル形状を獲得する。
【解決手段】インク液室を有する液室基板と、インク液室に連通する複数のノズル孔が配列されるノズルプレートと、インク液室に圧力を印加して、インク液室内のインク液をノズル孔から液滴として吐出させる吐出手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル孔の液室基板側の断面形状を、ノズル孔の配列方向に対して長円ないし楕円形状を有するとともに、ノズル孔の吐出側の断面形状は、ノズル孔の配列方向に沿う開口径がインク液室側の開口径よりも小径とする。 （もっと読む）

【課題】コストを低減して外部配線と容易に接続することができる圧電素子ユニット、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１７と、該圧電素子１７の第１の面３４ａと接合された一端面３５ａを有する第１の基板３５と、を具備し、前記圧電素子１７は、前記第１の面３４ａとは反対側の第２の基板１２側の面となる第２の面３４ｃと、前記第１の面３４ａ及び第２の面３４ｃとは直交し、外部配線５０との接続部となる個別外部電極４３が形成された第３の面３４ｂと、前記圧電素子１７の外部表面に設けられた共通外部電極４４と、前記第１の面３４ａと前記第３の面３４ｂとの境界に設けられて、当該第１の面３４ａ及び第３の面３４ｂに対して斜めに形成された傾斜面と、を有し、該傾斜面が、個別外部電極４３と共通外部電極４４とを分断する境界部４０となっている。 （もっと読む）

【課題】外部電極と内部電極との短絡を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】第１の内部電極２２と同一平面に設けられる第３の内部電極３９を有し、圧電素子１６の一方面には、第１の内部電極２２に接続される第１の外部電極４０と、第２の内部電極２２及び第３の内部電極３９に接続される第２の外部電極４１とが設けられ、圧電素子１６の一方面側最外層の圧電体層２２ａは、第１の外部電極４０と第１の内部電極２２とで挟まれた不活性層となっていると共に、第１の外部電極４０は第１の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、第３の内部電極３９が、圧電体層２１の間に配された全ての層が圧電体層２１の積層方向で第１の外部電極４０と重ならない構成とする。 （もっと読む）

【課題】封止板を効率よく加工することにより工数が減少された、液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド１０００の製造方法は、基体１００の上方に圧電素子２００を形成する工程と、封止板３００を形成する工程と、基体１００の上方に封止板３００を設け、圧電素子２００を封止する工程と、を含み、封止板３００を形成する工程は、ガラス基板３１０を準備する工程と、ガラス基板３１０にレーザー光１０を照射してエッチング領域３１２を形成するレーザー照射工程と、エッチング領域３１２をウエットエッチングによって除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】後の吐出パルスで高粘度液体を吐出させる場合に、先の吐出パルスによる悪影響を抑制する。
【解決手段】
液体吐出装置（１）は、第１吐出パルス（ＰＳ１）を生成して液体を吐出させるための動作をする素子（４３３）へ印加し、ノズル（４２７）から液体滴を吐出させるための動作をこの素子に行わせる。第１吐出パルスよりも後に非吐出パルス（ＰＳ２）を生成して素子へ印加し、第１吐出パルスによって圧力室（４２４）内の液体に生じた圧力振動とは異なる位相であってノズルから液体滴が吐出されない強さの圧力振動を、圧力室内の液体に生じさせる。非吐出パルスよりも後に第２吐出パルス（ＰＳ１）を生成して素子へ印加し、非吐出パルスによって圧力室内の液体に生じた圧力振動を利用しつつ、ノズルから液体滴を吐出させるための動作を素子に行わせる。 （もっと読む）

【課題】電極基板とキャビティ基板との接合により形成されるギャップ空間内の異物に起因した駆動特性の低下防止を図ることが可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】電極基板２の電極用凹部８とキャビティ基板１とによって囲まれるギャップ空間Ｇにおいて、振動板４と個別電極１１とを有するアクチュエータ部以外の部分に、エレクトレット（エレクトレット部４ｂ、１１ｂ）を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動を可能とし、大きな振動板変位量を得ることが可能な静電アクチュエータを提供することを目的とする。また、この静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１の電極として機能する振動板４と、振動板４にギャップＧを隔てて対向し、振動板４との間で電圧が印加される第２の電極としての個別電極１１と、振動板４の個別電極１１との対向面に形成された絶縁膜４ａと、個別電極１１の振動板４との対向面に形成された絶縁膜１１ａとを備え、絶縁膜４ａ及び絶縁膜１１ａとが同種材料で形成され、且つエレクトレット化されている。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れ、圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、アクチュエーター装置の製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、第１電極６０と該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０と該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に設けられた第２電極８０とを有する圧電素子３００と、を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、流路形成基板１０の上方に圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜上にペロブスカイト型構造を有する金属酸化物からなり、前記第２電極８０の少なくとも一部を構成する電極層を形成する工程と、前記電極層を形成後、前記圧電体前駆体膜を熱処理して結晶化させ、前記圧電体層７０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】低電圧化を可能としたアクチュエータを提供する。
【解決手段】振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた振動板側電極８に密接して設けられて圧電変位して振動板Ａを変位変形させる圧電素子Ｂと、を備え、圧電素子Ｂは、圧電素子側電極１２及び振動板側電極間８に複数の圧電膜９、１１と、各圧電膜と交互に積層された隣り合う複数の層からなる中間電極１０と、を備え、各圧電膜は、中間電極１０を構成する各層と、振動板側電極８又は圧電素子側電極１２との間に電位を印加されることで変位するようにした。 （もっと読む）

【課題】耐久性の低下を抑制して圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、下電極６０と該下電極６０上に形成された圧電体層７０と該圧電体層７０上に形成された上電極８０とを具備する圧電素子３００と、を具備し、前記上電極８０は、イリジウム含有層８１と、前記イリジウム含有層８１上に形成され、イリジウムよりもヤング率の低い材料からなる電極層８２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】印字品質がよく、しかも応答速度が速いインクジェットヘッドを提案すること。
【解決手段】静電駆動式のインクジェットヘッド１において、第２ノズル１１ｂの中心に
対するインクノズル１１ａの中心を相対的にインクが供給される側の位置に形成している
。個別インク室５を結晶面方位（１１０）のシリコンに異方性エッチングで形成した場合
でも、インク液滴はノズル面３ａに対して鉛直方向に真っ直ぐ吐出するので、印字品質が
よく、かつ、応答速度の速いインクジェットヘッドを実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】高い位置合わせ能力を要求することなしに、高精度で信頼性の高い静電アクチュエーターおよび液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】可撓性の振動板１２が形成されたシリコン基板２と、振動板１２に隙間２２を介して対向する個別電極１７を有したガラス基板３とが接合された静電アクチュエーターであって、シリコン基板２は、ガラス基板３と対向する面のほぼ全域に絶縁膜１６ａが成膜されたものであり、ガラス基板３は、個別電極１７の表面に絶縁膜１６ｂが成膜されているが、シリコン基板２との接合部２０には絶縁膜１６ｂが形成されていない。 （もっと読む）

【課題】振動板を被固定対象物に磁力によって簡便に固定するとともに、固定解除後に振動板の残留磁化を消磁することが可能な、圧電アクチュエータの製造方法を提供すること。
【解決手段】まず、強磁性体からなる振動板４０を、磁石を有するステージ５２に固定する。次に、振動板４０に、圧電材料からなる粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルを吹き付けて粒子を堆積させて圧電層４１を成膜する。その後、圧電層４１が形成された振動板４０を所定の消磁温度以上に加熱して、圧電層４１のアニール処理と振動板４０の残留磁化の消磁とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエーターの能力をさらに向上させるために駆動電圧を上げた場合でも、表面層の帯電を軽減しその駆動を安定化させ、信頼性を向上させた静電アクチュエーター並びにそれを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】振動板４に形成された振動板側絶縁膜６上に振動板側ＤＬＣ膜８、そして、固定電極５に形成された固定電極側絶縁膜７上に固定電極側ＤＬＣ膜９を形成し、かつ、これらのＤＬＣ膜を、セグメント形状に形成した。 （もっと読む）

【課題】吐出特性を正確に把握して印字品質の向上を図ることができる液滴吐出ヘッド及
び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル列３８が２列並設されるノズル基板３３と、ノズル
基板３３を支持するヘッドケース２０とを備える液滴吐出ヘッド１０であって、ヘッドケ
ース２０内において上記並設されたノズル列３８の間に沿って配設され、ヘッドケース２
０外に一部が露出する露出部４２を備える熱伝導板４０と、露出部４２と接触して温度を
計測する熱電対５０とを有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】液滴の噴射特性を安定させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル１３と、ノズル１３に接続され隔壁１７によって区画された複数の圧力発生室１１と、圧力発生室１１内に液滴噴射のための圧力を発生させる圧力発生手段１６とを具備し、隔壁１７には少なくとも圧力発生室１１に対応する領域に間隙部４０が設けられており、間隙部４０はノズル１３とは異なる方向の面に設けられ且つ圧力発生室１１とノズル１３との接続部とは反対側の端部近傍で接続される接続孔４１を介して外部と連通されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】セラミック振動板の破壊を低減して耐久性及び信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の一方面側に設けられたシリコン酸化膜５０と、該シリコン酸化膜５０の前記圧力発生室１２とは反対側に設けられたセラミック振動板５５と、前記セラミック振動板５５の上方に設けられて、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生素子３００と、を具備し、前記シリコン酸化膜５０と前記セラミック振動板５５との間には、貴金属材料からなる金属膜５６を有する。 （もっと読む）

【課題】駆動のためのエネルギーを変えることなく、高速駆動を可能とする液滴吐出アクチュエーター、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズルと、ノズルに連通する加圧液室と、前記加圧液室を構成する面の一つである振動板とを有し、前記振動板上には下部電極層と、圧電材料層と、上部電極層とが積層されて成る膜状の圧電素子が設けられ、前記圧電素子を電気的に駆動することで前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出アクチュエーターであって、前記振動板が変位した場合に、前記振動板或いは前記圧電素子が接触しうる対向壁を有し、前記対向壁には、少なくとも１以上の開口部が設けられ、前記開口部は、前記振動板が変位した場合に、前記開口部のエッジが、前記振動板或いは前記圧電素子と接触しない部分に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 点欠陥が存在しても破壊に至ることのない振動膜及び圧電素子を備えた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室の一方面側に設けられた弾性膜５０及び絶縁体膜５５を有する振動膜と、該振動膜の上に配設された第１電極６０と第２電極８０との間に配設された圧電体層７０を有して前記第１電極及び第２電極間に印加する電圧により変位して前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記変位により発生する応力の中立面１１０が前記第１電極の中に在るように構成するとともに、前記第１電極よりも前記圧力発生室側の層は、層状膜、又はアモルファス膜となるように構成した。 （もっと読む）

【課題】各圧力発生室を区画する隔壁の端部近傍の破壊や当該端部近傍の振動板の破壊を防止し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通し隔壁１１によって区画された圧力発生室１２が並設された流路形成基板１０と、この流路形成基板１０に接合された振動板５０と、圧力発生室１２の共通の液体室となるリザーバ１００と、隔壁１１のリザーバ１００の先端と振動板５０とが形成する第１の角部に接着された接着剤１７とを備える。 （もっと読む）