【課題】１．０×１０^―１Ａ／ｃｍ^２以上のリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第１電極６０と第２電極８０とに挟持された圧電体層７０を備え、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも１種を含む拡散抑制層６２を形成する工程を含む第１電極６０を形成する第１電極形成工程と、第１電極６０上に、チタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する圧電体層形成工程と圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する第２電極形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、リーク電流の発生を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上方に、焼成によりビスマス、鉄、マンガン、カリウム、及びチタンを含む複合酸化物を形成する有機金属化合物と、ポリビニルピロリドンと、を含む塗布液７１を塗布する工程と、塗布液７１を焼成し、ペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７２を形成する工程と、圧電体層７２の上方に第２電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する工程と、絶縁体膜５５上に反応性スパッタリング法により酸化チタンからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にチタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの液体の溶媒の揮発をより効果的に抑制することが可能な液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル３７が開口したノズル開口面を有し、前記ノズル３７に連通する圧力室３５に液体を充填し、当該圧力室３５内の液体に圧力変動を付与することにより前記ノズルから液滴を噴射可能な液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、加湿用液を前記ノズル開口面側に供給する加湿用液供給手段を備え、前記ノズル開口面における前記ノズルの開口から外れた位置に、前記加湿用液供給手段からの加湿用液が供給される加湿用穴４５が形成され、前記加湿用穴４５は、前記加湿用液を表面張力によって保持する。 （もっと読む）

【課題】引き打ちを行う液滴噴射装置及び液体移送装置において、耐久性を高くし、消費電力を低減する。
【解決手段】インクジェットヘッド３において、圧電アクチュエータ３２は、複数の圧力室１０を覆うように流路ユニット３１の上面に配置された導電性基材４２と導電性基材４２の上面に形成された絶縁層４３とを有する振動板４０と、振動板４０の上面の圧力室１０に対向する領域に圧力室１０の幅方向の一方の縁から、圧力室１０の幅方向に延びた圧電層４１が形成されている。振動板４０の下面には、圧力室１０の幅方向の他方の縁から幅方向に延びた凹部４２ａが形成されている。圧電層４１の上面には個別電極４５が形成され、下面には共通電極４４が形成されている。振動板４０の上面のうち、圧電層４１が形成されていない部分には個別電極４５に接続された配線５０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】露出電極は、圧電層の振動層と反対側に露出しているため、エッチングによって貫通孔を形成する場合には、露出電極を形成した後に貫通孔を形成すると、エッチング液によって露出電極が損傷しまう虞がある。また、これを防止するためには、エッチングにより貫通孔を形成する前に、露出電極にマスクをするなど余分な工程が必要となる。
【解決手段】本発明の目的は、エッチング液によって露出電極が損傷してしまうことがなく、上述したマスクの処理などが不要な圧電アクチュエータの製造方法、及び、このような圧電アクチュエータを有する液体移送装置の製造方法を提供することである。 （もっと読む）

【課題】液体による液体流路の壁面の浸食を抑制し、液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】振動板５０の流路形成基板１０側の最表層が、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５１で構成されていると共に、流路形成基板１０の表面には、耐液体性を有する材料からなる保護膜２０が液体流路の壁面を覆って設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２１に連通する圧力発生室１１に液体を供給するマニホールド１３を複数有するマニホールド形成基板１０と、圧力発生室１１内の液体に圧力変化を生じさせる圧電素子３５と、マニホールド１３に対向する領域に設けられてマニホールド１３の液体の圧力変動を吸収する振動部１６を有する封止基板１５と、圧電素子３５を収容する圧電素子収容部４３を有するヘッドケース４０と、振動部１６上に設けられる空間部６０と、大気開放口に連通する大気開放路４４と、を具備し、一の空間部６０Ｂは大気開放路４４に連通し、他の空間部６０Ａは一の空間部６０Ｂを介して大気開放路４４に連通している。 （もっと読む）

【課題】供給口への液体の供給手段が簡潔となり、ヘッドサイズの小型化を可能とする液滴噴射ヘッド等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る液滴噴射装置は、振動板と、前記振動板の上に設けられた圧電素子と、前記振動板の下に設けられ、圧力室と前記圧力室と連通したリザーバーとを区画するための流路形成板と、前記振動板および前記圧電素子の上方において、前記圧電素子を覆うように設けられた封止板と、を有する駆動ユニットと、前記圧力室の液体を吐出するノズル孔を有するノズル板と、前記リザーバーに液体を供給する供給口を有する蓋部材と、を有し、前記液体の前記ノズル孔を介した吐出方向を、第１の方向とし、前記振動板の変位方向を、第２の方向としたとき、前記第１の方向と前記第２の方向とは直交し、前記液体が、前記供給口を介して前記リザーバーに供給される方向は、前記第１の方向と同じ方向である。 （もっと読む）

【課題】保護膜と圧電体層との密着性が向上した圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、基板の上に形成された第１電極と、前記第１電極の上に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、少なくとも前記圧電体層の側面を覆う保護膜と、を含み、前記圧電体層の前記側面は、前記第２電極から前記第１電極に向かう方向に沿って延びる複数の溝を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、気泡の排出性に優れた液滴吐出装置および液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】吐出液を供給する流路と、前記流路に連通する液室と、前記液室に連通するノズル孔と、前記液室に収納された吐出液に圧力を加える加圧手段と、を備え、前記流路、前記液室、前記ノズル孔からなる群より選ばれた少なくとも１種は、前記吐出液と接触する面の算術平均粗さＲａが０．３μｍ以上、５μｍ以下とされたことを特徴とする液滴吐出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】位置決めピンにより位置決め孔の開口縁部にチッピングが生じることを抑制して印刷品質が向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル開口を有するヘッド本体１０と、位置決めピン２３が設けられたベースプレート２０と、位置決め孔５１が設けられてシリコン基板からなる位置決めプレート５０とを備え、位置決めピン２３を位置決め孔５１に挿通することでヘッド本体１０をベースプレート２０の所定位置に配置し、位置決め孔５１の位置決めピン２３が挿通される側の開口縁部を面取りする。 （もっと読む）

【課題】誤吐出が発生することを抑制しつつ、液体の増粘を抑制することが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】微振動パルスＤＰＣの収縮部ｐ３は、膨張部ｐ１の後に発生する第１収縮要素ｐ３１と、当該第１収縮要素ｐ３１に続く収縮維持要素ｐ３２と、当該収縮維持要素ｐ３２に続く第２収縮要素ｐ３３と、を有しており、膨張部ｐ１の開始時点をＰｃｓ、膨張部ｐ１の終了時点をＰｃｅ、収縮部ｐ３の開始時点をＰｄｓ、圧力室３８を含むインク流路内のインクの固有振動周期をＴｃとしたときに、収縮部ｐ３の開始時点Ｐｄｓが、以下の式（１）又は（２）の何れかの範囲内に設定されている。
Ｐｄｓ＜（Ｐｃｓ＋Ｐｃｅ）／２＋３Ｔｃ／８ …（１）
Ｐｄｓ＞（Ｐｃｓ＋Ｐｃｅ）／２＋５Ｔｃ／８ …（２） （もっと読む）

【課題】ドライバーＩＣを基板にフリップチップ実装させてなる実装構造として、コストの低減化を可能にした、ドライバーＩＣの実装構造を提供する。
【解決手段】入力側端子と出力側端子とを有するドライバーＩＣ２を、基板に実装してなる実装構造である。ドライバーＩＣ２の出力側端子に接続する第１基板１１と、ドライバーＩＣ２の入力側端子に接続する、第１基板１１とは異なる第２基板１２と、ドライバーＩＣ２を第１基板１１及び第２基板１２に固定するモールド樹脂１３と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】振動板部材のピンホールからの液体の漏れを、変位効率の低下、初期充填性の低下、接合性の低下を抑制することなく防止することが困難である。
【解決手段】ノズル４が連通する液室６の壁面の一部を形成する振動領域２ａ及び圧電部材１２の駆動圧電素子柱１２Ａと接合する島状凸部１２ｂを有する振動板部材２は、圧電部材１２側の表面となる金属層からなる第１層２Ａと、第１層２Ａ上に形成された第２層（中間層）２Ｂと、第２層２Ｂ上に形成された液室側の表面層となる第３層（接合層）３Ｃとの３層構造とし、中間層である第２層２Ｂは撥水層で形成している。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの小型化を図る。
【解決手段】圧電素子列の間に個別素子電極端子４８が形成されると共に駆動ＩＣ５２が配置され、駆動ＩＣの流路基板側とは反対側に回路基板３９が配置され、弾性体膜における駆動ＩＣの入力端子に対応する位置に、入力用パッドが形成され、駆動ＩＣの出力端子と個別素子電極端子とが電気的に接合され、駆動ＩＣの入力端子と入力用パッドとが電気的に接合されると共に、入力用パッドと回路基板の基板端子とが電気的に接合される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の圧電体層の大粒化を防止し、しかも圧電体層のパターニングの際のエッチングストップ層としての機能も有する圧電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を具備する圧電素子３００と、振動板と、を備えた圧電アクチュエーターの製造方法であって、ＬａＮｉＯ_ｘ（ｘ＝２．５乃至２．７５）膜からなるＬＮＯ層５６を振動板５０，５５上に形成する工程と、ＬＮＯ層５６上にエッチングを用いてパターニングし、下電極６０を形成する工程と、ＬＮＯ層５６及び下電極６０上にエッチングを用いてパターニングし、圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上にエッチングを用いてパターニングし、上電極８０を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの大型化を招くことなく、液体噴射ヘッドを効率的に加熱して噴射する液体の粘度を調節することで、信頼性を高めた液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッドモジュールを構成する単位ヘッドは、複数のノズル３７を形成したノズルプレート４５と、ノズルに連通する圧力室３６が形成された流路形成基板４６とを積層した流路ユニット３８と、複数の圧力室に連通して各圧力室にインクを供給するケース流路４３が形成され、流路形成基板のノズルプレートとは反対側に接合されたヘッドケース３２と、ノズルプレートに一部が重ねられると共に、ヘッドケース側面の少なくとも一部に対向する面３３ｂを有するヘッドカバー３３と、ヘッドケース側面に配置されたヒーター３９と、を備え、ヒーターをヘッドケースとヘッドカバーの対向面との間に配置した。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有するアクチュエータ、液滴噴射ヘッド、並びにそれらの製造方法と液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータ２００は、第１の面を有する基板と、第１の方向に延びる複数の第１の導電層４０と、第１の導電層４０の少なくとも一部を、それぞれ覆うように形成された第１の部分５１と、第１の部分５１以外の第２の部分５２ａと、を有する、圧電体層５０と、第１の面と直交する方向から見て、第１の導電層４０の少なくとも一部とオーバーラップし、かつ、第１の部分５１の少なくとも一部を覆う第２の導電層６０と、第２の導電層６０の上に形成され、第１の方向に延びる第１リード配線７１と、第１リード配線７１の一部を覆うように形成された保護膜８０と、を含み、圧電体層５０は複数の第１の開口部５６を有し、圧電体層５０の第１の部分５１は、第１の開口部５６に挟まれた部分である。 （もっと読む）

【課題】信頼性を維持しつつ、小型化が可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１共通インク室３３Ａは、第２共通インク室３３Ｂに向かって内壁面を突出するようにして形成され、第１共通インク室内にインクを導入するインク導入口５１が開口した第１膨出室５２ａ及び第２膨出室５２ｂと、第２共通インク室の第３膨出室５２ｃに対向する位置の内壁面を共通インク室の内部に突出するようにして形成され、圧力発生室列設方向と交差する方向の流路幅を狭める第１絞り部５３ａと、を有し、第１絞り部の両側に配置される第１膨出室に開口した第１インク導入口５１ａ及び第２膨出室に開口した第２インク導入口５１ｂは、第１絞り部からの距離Ｘ１，Ｘ２が互いに異なる位置に形成されると共に、断面積が互いに異なるように形成された。 （もっと読む）