【課題】鉛を含有せず、圧電特性が優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、第１電極と、前記第１電極上に形成され鉄マンガン酸ビスマスランタンを含む圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、結晶が（１１１）面に優先配向している。 （もっと読む）

【課題】 変位量の低下を抑制した強誘電体薄膜を形成することができる強誘電体薄膜形
成用組成物、液体噴射ヘッドの製造方法、及びアクチュエーター装置の製造方法を提供す
る。
【解決手段】 ＡＢＯ_３の化学式を有するペロブスカイト構造の強誘電体薄膜をゾル−ゲ
ル法により形成するための強誘電体薄膜形成用組成物であって、強誘電体薄膜を構成する
有機金属化合物と、水とを少なくとも含むゾルからなり、前記ゾルは、Ｂサイトを構成し
得る金属の総量をＸｍｏｌ／ｋｇとし、未反応水分量をＹｍｏｌ／ｋｇとしたとき、２Ｘ
＜Ｙ＜５Ｘを満たすようにする。 （もっと読む）

【課題】変位量の減少が抑えられたアクチュエーター装置およびその製造方法、このアクチュエーター装置を用いた液体噴射ヘッドの製造方法および液体噴射装置の製造方法を得ること。
【解決手段】上電極８０の第１層８１形成時におけるＰＺＴを含む圧電体層７０の温度が２５０℃以下なので、ＰＺＴの酸素欠陥の発生を抑えることができる。また、基板としての圧電体層７０の温度が２５０℃以下で、Ｉｒを含む第１層８１を圧電体層７０上に形成すると、第１層８１に圧縮応力が生じる。圧縮応力の生じた第１層８１に対して、引っ張り応力を有する第２層８２を形成することにより圧電体素子３００全体として撓みをなくすことができる。したがって、初期の撓みが少ないので、繰り返し変位することによる凸であった撓みの撓み量の減少を抑えることができ、変位量の減少が抑えられたアクチュエーター装置３１０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体の噴射量が確保され、噴射特性の低下を抑えた液体噴射ヘッドおよびそれを用いた液体噴射装置を得ること。
【解決手段】圧力発生室１２の容積を、振動板５６を介して変化させる圧電素子３００が、インク供給路１４の流路断面積を、振動板５６を介して変化させるので、圧力発生室１２の容積の変化に応じてインク供給路１４の流路断面積を変化させることができ、リザーバー１００と圧力発生室１２との間を流れるインクの流量を調節することができる。したがって、圧力発生室１２に充填されたインクを圧力発生室１２と連通したノズル開口２１から噴射する際に、インク供給路１４を通じてリザーバー１００に戻るインクの量を減少させることができ、インクの噴射量を確保でき、噴射特性の低下を抑えたインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】最適駆動式圧電メンブレンの製造方法を提供する。
【解決手段】上部電極フィルムＥtoｐと下部電極フィルムＥｂｏｔの間に置かれた圧電材料フィルム３０と、該圧電フィルムを担持する弾性フィルム２０とを含む薄膜多層を基板１０の上に構成するメンブレンの製造方法であって、少なくとも１つの変曲点が画定されるような形でフィルムの平面に対し平行な軸に沿って前記メンブレンの少なくとも１つの凹面／凸面曲率を決定することで、凹状部分と凸状部分またはその逆に対応する第１の領域と第２の領域を画定するステップと、圧電材料フィルムと、下部電極フィルムと上部電極フィルムとを含む薄膜多層を基板表面上に被着させるステップと、フィルム面に対して垂直な電場を内部に印加する第１のメンブレン領域と、フィルムの平面に対して平行な電場を印加する第２の領域とを画定するように電極フィルムのうちの少なくとも一方を構造化するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成され、第１圧電体３０の密度より小さい密度を有する低密度領域４０と、第１圧電体３０および低密度領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上に形成された第２電極６０と、を含み、第１圧電体３０および第２圧電体５０の少なくとも一方は、低密度領域４０に近づくにつれてシリコンの濃度が大きくなる分布を有する。 （もっと読む）

【課題】安定した変位特性を有し、信頼性の低下を抑えたアクチュエーター装置の製造方法、このアクチュエーター装置を備えた液体噴射ヘッドの製造方法およびこの液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置の製造方法を得ること。
【解決手段】フォトリソエッチ工程の段階で、下電極６０が形成される領域を残して、振動板５２上の第１圧電体層７１が除去されるが、フォトリソエッチ工程後に、第１圧電体層７１、下電極６０および振動板５２にわたって、４ｎｍ以上、２０ｎｍ以下の厚みのチタン酸ジルコン酸鉛を含む第２圧電体層７２を形成する。第２圧電体層７２が、下電極６０に形成された第１圧電体層７１および第２圧電体層７２上に形成される第３圧電体層７３と同じチタン酸ジルコン酸鉛なので、第１圧電体層７１と第２圧電体層７２との界面付近および第２圧電体層７２と第３圧電体層７３との界面付近で組成不安定相を生じにくくできる。 （もっと読む）

【課題】振動板と流路形成基板との相対的な位置ずれの検査精度が低下してしまうという課題がある。
【解決手段】圧電振動子が接合されるための島部３８の周囲をエッチング処理し、島部３８より薄い層からなる薄膜部を有する振動板を形成する振動板エッチング処理工程と、島部３８に対応する領域に形成され、ノズル開口に通じる圧力室となるための空部を形成する隔壁４４と、振動板との相対的な位置の基準となる基準パターン４６（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）と、を有する流路形成基板をエッチング処理により形成する流路形成基板エッチング処理工程と、振動板と流路形成基板とを接合する接合工程と、を含み、流路形成基板エッチング処理工程では、隔壁４４と基準パターン４６とを形成するための一つのマスクパターンを用いて１回の露光処理により、隔壁４４と基準パターン４６とを形成する液体噴射ヘッド１の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】良好な変位量を得られる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１０００は、ノズル孔２８ａに連通する圧力室２０ａを有する基板２０と、下部電極１０と、前記下部電極１０の上方に形成されペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層１２と、前記圧電体層１２の上方に形成された上部電極１４と、を有し、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子と、を備える。前記圧電体層１２は、前記下部電極１０側に位置する第１圧電体層１２ａと、前記第１圧電体層１２ａと前記上部電極１４との間に位置する第２圧電体層１２ｂと、を有し、前記第１圧電体層１２ａの分極軸は、当該第１圧電体層の膜面内方向に優先的に向いており、前記第２圧電体層１２ｂは、擬立方晶の表示で（１００）に優先的に配向している。 （もっと読む）

【課題】各吐出口から均一の吐出量で液滴を吐出でき、かつ意図しない吐出口からの液滴吐出を防止できる印刷ヘッド及び吐出装置並びに印刷ヘッドの振動部形成方法を提供する。
【解決手段】
印刷ヘッド１の各圧力発生室９の上部にはそれぞれ異なる弾性部材５が配置され、各弾性部材５にはそれぞれ異なる圧電振動子４の端部が当接されている。弾性部材５は接着特性を有する樹脂からなり、各圧電振動子４の端部は弾性部材５の厚みを超えない範囲で弾性部材５に埋没した状態で接着されている。そのため、各圧電振動子４が振動すると弾性部材５を介して圧力発生室９内の吐出液に均一の押圧力が印加され、吐出口１０から吐出液が均一の吐出量で吐出される。また、各弾性部材５は各圧電振動子４ごとに分離されているので、圧電振動子４の振動が他の圧力発生室９に伝播するというクロストークの問題が生じない。 （もっと読む）

【課題】所望のばらつきの少ない液体噴射特性を有することが確認された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、及び製造工程において所望のばらつきの少ない液体吐出特性を有するか否かを簡易にかつ高精度に検査することができる製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズル開口２１にそれぞれ連通する圧力発生室１２と、各圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数の圧電素子３００と、複数の圧電素子からなる圧電素子群の圧電素子の並設方向の両外側に設けられた一対の検査用圧電素子とを具備し、検査用圧電素子の圧電体層が、その飽和分極の変動幅が５％以内であり、残留分極の変動幅が１５％以内であり、かつ、抗電界強度の変動幅が１５％以内である。液体噴射装置は、これを備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、検査用圧電素子３００Ａを用いて圧電特性を測定する測定工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 所望のばらつきの少ない液体噴射特性を有することが確認された液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及びその製造工程において所望のばらつきの少ない液体吐出特性を有するか否かを簡易にかつ高精度に検査することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、圧電素子の並設方向の両外側には、少なくとも第１電極からなる検査用パターンと、第１電極、圧電体層及び第２電極とをこの順で備えてなる検査用圧電素子とが設けられ、検査用パターンの前記第１電極のシート抵抗Ｒｓ１と検査用圧電素子の前記第１電極のシート抵抗Ｒ１とのシート抵抗比Ｒｓ１／Ｒ１と、検査用パターンの第１電極のシート抵抗Ｒｓ２と検査用圧電素子の第１電極のシート抵抗Ｒ２とのシート抵抗比Ｒｓ２／Ｒ２との差が、０．２０以内である。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置において、インク固化を抑制する。
【解決手段】圧力室11の一壁面を構成する、圧力室11と該圧力室に対応して配置される圧電素子20との間に介在する振動板15ａを絶縁体からなるものとし、その振動板15ａの圧力室11の内壁面側に導電層16を備える。 （もっと読む）

【課題】圧力室の長手方向の幅が小さくとも従来と同等の吐出量が得られる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１には、液体に圧力を加えるための直方体形状の圧力室３と、電界を印加されることで変形する圧電素子８ａからなる圧電板８であって圧力室３の一壁面を形成する圧電板８と、圧電板８に電界を印加するための電極１２と、が具備されている。圧電板８には、圧力室３の長手方向に沿って、長方形状の２つの穴１０が並列に具備されており、且つ２つの穴１０に挟まれた圧電板８の部分に電極１２が具備されている。圧電素子８ａの分極方向ｐは、圧力室３の長手方向と平行に配されている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射特性を向上すると共に、複数のノズル開口から液体を均一な液体噴射特性で吐出して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動板５５と、振動板５５側を駆動部とし、該駆動部とは反対側を非駆動部とする振動子１１を備えた振動子ユニット１０と、前記振動子１１の前記非駆動部側を固定する固定板１４と、前記固定板１４を固定するケース５８と、該ケース５８の前記振動板５５側の一部を切り欠いて、マニホールド５３に対応する領域に空間を形成したコンプライアンス空間６２と、前記ケース５８に埋設されて、前記固定板１４と接すると共に、一部が前記コンプライアンス空間６２に露出する金属材料からなる補強部材７０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートの振動を抑制し、吐出特性の低下を抑制した液体噴射ヘッド及
び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口２１が形成されたノズルプレート２０と、ノズ
ル開口に連通し、個別流路を構成する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、
流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた圧電素子３００
とを具備すると共に、圧電素子を保護する保護基板３０と、個別流路に連通され液体を貯
留するマニホールド１００とを具備し、マニホールド１００に液体を導入するための液体
導入孔１２２に相対向して、前記マニホールドを画成するマニホールド部材１１０が設け
られ、かつマニホールド部材は前記ノズルプレートとは離間して設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動板と圧電素子の電極との界面剥離を抑制しつつ、圧電素子の歪みエネルギーを振動板の変形に効率よく使うことができる液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る液滴噴射ヘッド６００は、第１振動板２ａと、第１振動板２ａ上に形成された第２振動板２ｂと、第２振動板２ｂ上に形成された第１導電層１０と、第１導電層１０上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０上に形成された第２導電層２０と、を有する圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、第２振動板２０は、ヤング率が２３０ＧＰａ以上２７０ＧＰａ以下である酸化ジルコニウムからなる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートの振動を抑制し、吐出特性の低下を抑制した液体噴射ヘッド及
び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口２１が形成されたノズルプレート２０と、ノズ
ル開口に連通し、個別流路を構成する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、
流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた圧電素子３００
とを具備すると共に、圧電素子を保護する保護基板３０と、個別流路に連通され液体を貯
留するマニホールド１００とを具備し、マニホールド１００に液体を導入するための液体
導入孔１２２に相対向して、前記マニホールドを画成するマニホールド部材１１０が設け
られ、かつマニホールド部材は前記ノズルプレートとは離間して設けられている。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる、圧電方式のインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に設けられ、シリコン基板２との対向方向に振動可能な振動膜５と、振動膜５上に設けられた圧電素子６と、振動膜５に対してシリコン基板２側に振動膜５に臨んで形成され、インクが充填される加圧室６２と、振動膜５を貫通して形成され、加圧室６２と連通し、加圧室６２から送出されるインクを吐出するノズル６４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液室よりも大きな駆動部を有する場合に駆動部が振動板部材に接することなく、流路のコンプライアンスを低下することなく、滴吐出特性を向上するとともに、流路板と振動板の接合信頼性も確保できる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】振動板部材２には、液室長手方向におけるノズル４に連通する側の液室６の端部に対向する位置を含み、駆動部である駆動圧電素子柱１２Ａに面する側に島状凸部２ｂと同じ厚みの厚肉部２ｄが形成され、圧電素子柱１２Ａには振動板部材２の厚肉部２ｄに対向して溝部１２ｄが設けられている。 （もっと読む）