【課題】高剛性、高変位の圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッド、その製造方法、並びに、その駆動方法、及び、画像記録装置を提供する。
【解決手段】上下に変位して、圧力室１１２の容積を拡縮させる圧電アクチュエータ１３４が、初期状態において、圧力室側に凸状に湾曲して形成される。圧電アクチュエータ１３４は、駆動電圧が印加されると、中立点を超えて、圧力室１１２とは反対方向に変位して、圧力室１１２の容積を拡大させ、駆動電圧の印加を停止すると、元の状態に復帰して、圧力室１１２の容積を縮小させる。 （もっと読む）

【課題】優れた熱曲げアクチュエータなどを提供する。
【解決手段】熱曲げアクチュエータは、駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、を含む。アクティブビームに電流が流れると、アクティブビームはパッシブビームに対して膨張し、その結果、アクチュエータの曲げが生じる。パッシブビームは、窒化シリコンから成る第１層と、二酸化シリコンから成る第２層と、を含む。第２層は、第１層とアクティブビームとの間に狭持され、第１層のための断熱をもたらす。 （もっと読む）

【課題】フィルタの一部が液導入部の隔壁によって遮られて僅かな異物の滞留によってフィルタ面積に対する機能しないフィルタ部の割合が大きくなって、圧力損失が大きくなり、液供給性が低下する。
【解決手段】ノズル４が連通する複数の液室６にそれぞれ通じる複数の液導入部８と、複数の液室６に液体を供給する共通液室１８と、液導入部８と共通液室１８との間に配置され、複数の液室６のノズル配列方向の全領域にわたって液体をろ過するフィルタ部２０を形成する振動板部材３とを備えて、複数の液導入部８の隔壁１０の一部に凹部１０ａが形成されることで、液導入部８は各液室６に対応する個別液導入部８ａと、振動板部材３のフィルタ部２０側の一部がノズル配列方向の全領域にわたって相互に連通する連通部８ｂとを有し、振動板部材３のフィルタ部２０には共通液室１８側に補強リブ２１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体を微小な液滴として吐出する場合に尾曳を抑えることが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】インクの吐出時における静的表面張力が２４ｍＮ／ｍ以上３０ｍＮ／ｍ以内であり、圧力発生室におけるインク粘度が１０ｍＰａｓ以上１７ｍＰａｓ以内であり、ノズルから吐出される液滴の飛翔速度が７ｍ／ｓ以上１１ｍ／ｓ以下となるように、圧力発生手段を制御することで、５ｎｇ以下の重量の液滴をノズルから吐出させることを特徴とする液体吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】成膜回数を減少させて生産性を向上させ、製造コストを抑えた圧電体薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】カルボン酸が溶媒と安定化剤の役目を果たすので、酢酸鉛および有機金属化合物に対するカルボン酸の比率を減少させて、コロイド溶液７１中の酢酸鉛および有機金属化合物の濃度を上げることを可能にできる。濃度の高いコロイド溶液７１を塗布する塗布工程（Ｓ２）と、コロイド溶液７１を乾燥して乾燥膜７２を得る乾燥工程（Ｓ３）と、乾燥膜７２を脱脂して無機膜７３を得る仮焼成工程（Ｓ４）と、無機膜７３を結晶化させる結晶化アニール工程（Ｓ５）を含む一連の工程によって得られる圧電体薄膜７０の膜厚を厚くできる。したがって、所定の膜厚を得るための成膜回数を減少でき、生産性が向上し、製造コストを抑えた圧電体薄膜７０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

インクを含むインク容器と前記インクが印刷媒体上に吐出するために前記インクが通る出口を持つインクジェットプリンタ装置であり、前記装置はミクロ流体アクチュエータを含み、前記アクチュエータは：（ｉ）前記流体が流入する入口チャンネル；（ｉｉ）前記流体が前記入口チャンネルから受け入れられるチャンバ；（ｉｉｉ）前記チャンバから前記流体を受けとる出口チャンネルであり、かつ前記流体を前記チャンネルから流通させて、前記流体の、前記入口チャンネル、前記チャンバ及び出口チャンネルからの流通路を形成する出口チャンネル；（ｉｖ）前記チャンバの壁の一部を形成し、かつ前記チャンバ内の流体圧に応じて変位するフレキシブル膜；及び（ｅ）前記流通路内の少なくとも第一のバルブを含み、前記バルブが作動される場合に、前記流通路を通る前記流体の流れが変更され、前記チャンバを流通する前記流体圧が変化し、それにより、前記フレキシブル膜を変位させ、前記フレキシブル膜の変位により、前記インク容器から前記インクが吐出又は吐出されない、インクジェットプリンタ装置。

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【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの詰まりを抑制することができる液体噴射ヘッド及びこれを用いた信頼性の高い液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射する各ノズル２１に連通する複数の個別流路及び複数の個別流路が接続する共通流路１３が形成された流路形成基板１０と、個別流路に圧力を発生させる圧力発生素子とを備え、個別流路を区画する隔壁１１が共通流路に臨み、隔壁の共通流路側の端部１６が平面視において曲線形状となるように構成されている。液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】コストを削減し、設計分野の自由度を高め、工程を自由化する流体分注サブアセンブリを提供する。
【解決手段】流体分注サブアセンブリは、トランスデューサ１７の動作により作用されるように配置された膜２０と、前記膜２０の動作により作用されるように配置された本体圧力チャンバ１３と、前記膜２０と前記本体圧力チャンバ１３の間に配置された接着剤付着層６８とを備える。 （もっと読む）

【課題】配線部材と圧電アクチュエータとを接合する際に、溶融した導電材料のはみ出しを少なくするとともに、圧電アクチュエータと配線部材との距離を設けることができる配線ユニットの接合構造を提供すること。
【解決手段】ＣＯＦ５０の基材５１の一方の面にはランド５２が設けられ、ランド５２に対応する位置で、第１突出部１０１ａと、それよりも突出量が低い第２突出部１０１ｂとを有する突出部１０１が配置された板状部材を、基材５１の他方の面側から一方の面側押圧させた状態で両者を接着接合させることにより、突出部に対応するランド部５２には、第１凸状電極部５２ａとそれよりも突出量が低い第２凸状電極部５２ｂとが形成され、この第２凸状電極部５２ｂ上に導電性材料４６が塗布される。 （もっと読む）

【課題】高精度が求められる難しい工程を必要とせずに初期変形をなくし、必要量のインクを吐出することができるインクジェットヘッドを提供することである。
【解決手段】圧力室１９の側壁となる基板１０と、圧力室１９の上壁となる振動板とを有し、該振動板の変形動作により圧力室１９内のインクを吐出させるインクジェットヘッド２３において、振動板は、下から順に、弾性層２０、拡散防止層１０ａ、下電極密着層１３、下電極１４、圧電層１５、上電極密着層１７、上電極１８が積層されてなり、弾性層２０は、圧力室１９内の拡散防止層１０ａの下に形成され、拡散防止層１０ａより厚く、その残留応力は拡散防止層１０ａの残留応力より小さい構成とする。 （もっと読む）

【課題】高精度が求められる難しい工程を必要とせずに初期変形をなくし、必要量のインクを吐出することができるインクジェットヘッドを提供することである。
【解決手段】振動板の変形動作により圧力室２０内のインクを吐出させるインクジェットヘッド２３において、振動板は、下から順に拡散防止層１０ａ、下電極密着層１３、下電極１４が積層されてなる下層と、該下層の上に積層された圧電層１５と、圧電層１５の上に積層され、下から順に上電極密着層１７、上電極１８、弾性層１９が積層されてなる上層とからなり、拡散防止層１０ａの残留応力が弾性層１９の残留応力より大きい場合、ヤング率に層厚方向の断面積を乗じて算出される剛性に関して、上層の剛性が下層の剛性よりも大きく、圧電層１９の剛性が下層の剛性よりも大きい構成とする。 （もっと読む）

【課題】均一な膜を備えたＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】膜によって覆われる凹部を有するＭＥＭＳベースデバイスに関する。凹部の上の膜は、高均一性のエピタキシャル層である層のスタックによって形成されているため、非常に均一である。ハンドル層等のスタックの不要な層は、所望の厚さの膜を達成するために、デバイスの完成前に除去される。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエーターにおける静電力による発生圧力を向上させながら、リーク電流の低減、絶縁耐圧の確保、接合強度の確保及び薬液耐性の確保を可能とする静電アクチュエーター並びにそれを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】キャビティ基板２の振動板４側に成膜されている振動板側絶縁膜６を、酸化タンタルＴａ₂Ｏ₅を材質とする振動板側絶縁膜第１層６１、酸化アルミニウム（アルミナ）Ａｌ₂Ｏ₃を材質とする振動板側絶縁膜第２層６２、及び、酸化シリコンＳｉＯ₂を材質とする振動板側絶縁膜第３層６３の３層による積層構造とした。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットの電気的短絡を防止するために流路ユニットとアクチュエータユニットとの間に介在させる部材をできるだけ薄く且つ平らに形成する。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造において、吐出口及び圧力室を含むインク流路が形成された流路ユニット１０ａと、各圧力室に対応するアクチュエータを複数有すると共に複数の圧力室に跨って配置されるアクチュエータユニットとの間であって、アクチュエータユニットにおける圧力室の開口を覆う部分に、ニッケル膜５１及び貴金属膜５２からなる保護膜５０を介在させる。シリコンウェハー２００の平滑面２００ａ上に保護膜５０を形成した後、シリコンウェハー２００に支持させたまま保護膜５０を流路ユニット１０ａ上に載置し固定する。その後、シリコンウェハー２００を保護膜５０から剥離し、保護膜５０におけるシリコンウェハー２００が剥離された面に、アクチュエータユニットを接着する。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を抑制すると共に流路形成基板の破壊を抑制して耐久性を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０は、個別流路に連通する第１壁面１０Ａと、第１壁面１０Ａと相対向する第２壁面１０Ｂとを有し、第２壁面１０Ｂは積層板の端部よりもリザーバー１００側に突出して設けられ、流路形成基板１０の積層板の端部と第２壁面１０Ｂとの間には、積層金属層１９０の下地層９１が設けられており、積層金属層１９０の金属層９２は、第２壁面１０Ｂよりも突出することなく設けられている。 （もっと読む）

【課題】変位特性を低下させることなくコストを低減することができるアクチュエーター装置を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備し、圧電素子が、第一電極６０と、第一電極上に形成された圧電体層７０と、圧電体層の第一電極とは反対側に形成された第二電極８０とを具備し、第一電極が、圧電体層側から、導電性酸化物層６２とクロムを主成分とするクロム層６１とがこの順で積層されてなる。 （もっと読む）

【課題】圧電層に作用する圧縮応力を緩和し、圧電層の見かけ上の圧電特性の低下を抑制する。
【解決手段】まず、振動板４０の一表面に、エアロゾルデポジション法により圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。そして、圧電層４１が形成された振動板４０を所定の温度（例えば、９００℃）で加熱する（加熱工程）。その後、加熱された圧電層４１が形成された振動板４０を環境温度まで冷却し（冷却工程）、圧電層４１の表面に複数の個別電極４２をそれぞれ形成する（電極形成工程）。続いて、個別電極４２を覆うように圧電層４１の上面に、ＡＤ法により圧電層形成工程で用いた粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルと同様のエアロゾルを噴きつけて絶縁層６０を形成する（噴きつけ工程）。 （もっと読む）

【課題】振動板部に任意の寸法で精度良く高潤滑硬質膜を形成することが可能な静電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターの製造方法は、絶縁膜１９の振動板８に対応する表面位置に高潤滑硬質膜（ＤＬＣ膜２０）を形成する工程と、絶縁膜１９及び高潤滑硬質膜を保護するエッチング保護膜２１を形成する工程と、シリコン基板３’の振動板８形成面とは反対側面からエッチングを施す工程と、含んでいる。 （もっと読む）