【課題】振動板部に任意の寸法で精度良く高潤滑硬質膜を形成することが可能な静電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターの製造方法は、絶縁膜１９の振動板８に対応する表面位置に高潤滑硬質膜（ＤＬＣ膜２０）を形成する工程と、絶縁膜１９及び高潤滑硬質膜を保護するエッチング保護膜２１を形成する工程と、シリコン基板３’の振動板８形成面とは反対側面からエッチングを施す工程と、含んでいる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの圧電層を保護して損傷を防止するとともに、圧電層に液体が付着することによる電極間ショートや電極材料のマイグレーションを防止することも可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、ノズル２０が開口する液滴噴射面１３ａ、及び、ノズル２０に連通する圧力室１４を含むインク流路を有する流路ユニット４と、流路ユニット４に設けられるとともに、圧力室１４と対向するように配置された圧電層３１とこの圧電層３１に設けられた個別電極３２とを有する圧電アクチュエータ５を備えている。そして、流路ユニット４の液滴噴射面１３ａには、撥液性を有する撥液膜２２が設けられる一方で、圧電アクチュエータ５の圧電層３１の表面は、撥液膜２２と同じ膜材料で形成された保護膜３８によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】 コストの低減と作業性の向上とを図りつつ流路ユニットをグランド電位にすることができ、更に、空中配線や両面基板を採用する必要なく同電位配線を短絡させることのできる液体吐出装置と該液体吐出装置の製造方法とを提供する。
【解決手段】 液体吐出装置１００は、ＣＯＦ６４上の第１グランド線３１，７３に、独立して接続される第２グランド線８３，８６が第２ベースシート６５ａ上に形成されたＦＰＣ６５を備え、第２ベースシート６５ａが有する延設シート６５ｂ上には、第１，第２グランド線の接続箇所から更に延設された第２グランド線８５，８６同士が短絡されると共に流路ユニット１１に対して導通する接点たるバンプ８８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度が高い溝を容易に形成する。
【解決手段】振動板４０の圧力室２４と対向することとなる領域の搬送方向に関する両端部の外側に、走査方向に沿って延在した貫通孔４０ａを形成する（貫通孔形成工程）。振動板４０のいずれか一方の面に貫通孔４０ａを閉塞するように閉塞層７０を接合する（閉塞層形成工程）。振動板４０の上面、振動板４０の貫通孔４０ａの内壁、及び、振動板４０の貫通孔４０ａから露出した閉塞層７０の上面に跨って、薄膜６２を形成する（成膜工程）。薄膜６２の表面に、圧電材料を用いて、圧電材料の粒子を堆積させることにより圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。閉塞層７０を加熱して除去する（除去工程）。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の変位低下が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに変位低下を抑制することができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する液体流路が設けられた流路形成基板上に、第一電極と、鉛、ジルコニウム、及びチタンを少なくとも含有する圧電体膜を複数層積層してなる圧電体層と、第二電極とからなる圧電素子を備え、前記圧電体層の表面をＸ線回折広角法により測定した（１００）面半価幅が０．２６２度以下であると共に、各圧電体膜の焼成後の膜厚が１４０ｎｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】振動板の挙動を制御することが可能な静電アクチュエーターを提供する。また、この静電アクチュエーターを備えた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】可動電極となる振動板４と、振動板４にギャップＧを隔てて対向し、振動板４との間で電圧が印加される固定電極２２と、振動板４の固定電極２２との対向面に形成された絶縁膜１０と、固定電極２２の振動板４との対向面に形成された絶縁膜２３とを備え、絶縁膜１０又は絶縁膜２３のどちらか一方の一部がエレクトレット化されているものである。 （もっと読む）

【課題】振動板が周辺液室からの残留振動の伝播により自由振動を起こす薄膜タイプの圧電素子構成の液滴吐出ヘッドにおいて、異常吐出を防止するための制御方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔２０を有するノズル板２と、ノズル孔２０のそれぞれに連通するとともに、共通液室を介して連通された複数の吐出室１４を有する隔壁基板１と、吐出室１４の少なくとも一方の壁を構成する振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた電極８に密接し、かつ複数の吐出室に対応する複数のチャネルに分割され、圧電変位して振動板Ａを変位させる圧電素子Ｂと、を備えた液滴ヘッドの制御方法において、複数のノズル孔２０から液滴を吐出するとき、駆動チャネルを駆動させた際に発生した振動板Ａの自由振動により非駆動チャネルに対応する液室が拡張しないように保持する電位を非駆動チャネルに入力するように電圧源Ｖｓを制御装置Ｃｔｒによって制御する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル配置の高密度化と、圧電アクチュエータによる振動板の変位量の増大とを同時に実現することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】 圧電層１１０の中心部（圧力室１０６の中心部と重なる領域）には中央電極１１６が形成されている。中央電極１１６は、環状の上部電極１１４内に接しないように形成されている。中央電極１１６は、圧電層１１０の開口部１１０Ｈを通じて、下部電極１０８と電気的に接続されており、下部電極１０８を介して接地されている。上部電極１１４に負の電荷が印加されると、圧電層１１０は、下部電極１０８から上部電極１１４に向かう方向に分極するとともに、中央電極１１６から上部電極１１４に向かう方向に分極する。このため、上部電極１１４と中央電極１１６との間に縦方向の歪み（縦方向の変位）が発生するので、振動板１０４の撓み変位量が増大する。 （もっと読む）

【課題】ケースとの接着面の平坦度を確保するとともに十分な接着圧力を得られる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１７と、圧力発生室２ならびにインク貯留室４が形成されて上記ノズルプレート１７に積層された流路形成部３０と、上記流路形成部３０に積層された振動板１１と、上記圧力発生室２に圧力を発生させる圧電素子６と、上記ノズルプレート１７と流路形成部３０と振動板１１を含む積層体が貼着されるケース部材２３とを備え、上記積層体のケース部材２３と貼着される領域において、上記積層体に、厚みを有するプレート部材としてダンパ室形成板２１を含めたことにより、ケース部材３２との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材３２と接着する際に十分な接着圧力を加えることができ、記録ヘッドとケース部材３２との接合強度を十分確保できる。 （もっと読む）

【課題】振動板部材の厚肉部にオーバハング部を有する場合、隣り合うオーバハング部が干渉して高集積化が阻害され、複数段のオーバハング部が設けられる構成にするとリードタイムが長くなり、更に圧電素子と接合する接着剤が振動領域に垂れるおそれがある。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル４が連通する複数の加圧液室６の壁面を形成する振動板部材２は、変形可能な振動領域（薄肉部）２ａに対応する圧電素子１２を連結する厚肉部（島状凸部）２ｂがオーバハング形状に形成され、厚肉部２ｂの薄肉部２ａとの付け根幅ｂがオーバハング部２ｂ１のエッジ幅ａよりも大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの振動板に延性層を形成する。
【解決手段】第１の工程として、第１の基板（１０または５０）の一方の面に、第１の基板の表面層である第１の接合層（３２または３１）よりも延性の高い延性層３３を形成し、延性層３３の第１の基板と反対側に、延性層３３よりも延性の低い表面層である第２の接合層（３１または３２）を備えた第２の基板（５０または１０）を接合する。第２の工程として、第１の工程の後、第１の基板および第２の基板の少なくとも一方（１１）に流体流路（１３、１４、１５）を形成すると共に、第１の接合層（３２または３１）、延性層３３、および第２の接合層（３１または３２）を備えた層構造を振動板３０とする。 （もっと読む）

【課題】薄い振動膜を有する圧電アクチュエータを単体で容易に製造できる。
【解決手段】まず、アニール処理工程での所定の温度よりも低い鉛からなる分離膜８１（基材）をステージ８０上に形成する。次に、圧電材料の粒子を分離膜８１の表面に堆積させることにより圧電層３２を形成する。続いて、ＡＤ法によりステンレスの粒子を圧電層３２の表面に堆積させることにより振動膜３１を形成する。次に、分離膜８１、振動膜３１及び圧電層３２を所定の温度に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す。このとき、分離膜８１はアニール処理工程で溶けて、振動膜３１及び圧電層３２はステージ８０から取り外され、振動膜３１及び圧電層３２を傾けて、溶けた鉛を除去する。その後、圧電層３２上の複数の圧力室１４と対向する領域に、複数の個別電極３３をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子と振動板から成る圧力発生部材（アクチュエータ）の曲がり方向を一様にして液体吐出量を増加させると共に、製造コストを上げたり集積度を低下させないように、圧力発生部材について工夫すること。
【解決手段】圧力室(15)と、この圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル(17)及び液体供給路(18)と、上記圧力室の一部を構成する振動板(14)、及びこの振動板と一体的に形成された電気機械変換素子(13)により構成され、上記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材とから成り、上記電気機械変換素子に電圧を印加することにより、上記ノズルから液体を吐出する液体吐出装置を前提として、
上記振動板(14)の一部の剛性を変えて、上記電気機械変換素子の曲がり方向が一様になるようにしたことである。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化に伴うノズル数の増大に対応する。
【解決手段】インク吐出装置１４は、一群のランド１０６ｂにアクチュエータ駆動電圧を付与するための第１フレキシブル基板Ｆ１と、他の一群のランド１０６ｂにアクチュエータ駆動電圧を付与するための第２フレキシブル基板Ｆ２とを備え、複数のランド１０６ｂは、ノズル列Ｌｎと同じ方向へ並んでランド列Ｌを成すように配置されており、第１フレキシブル基板Ｆ１は、ランド列Ｌに対して平行方向へ延びて形成された複数の第１接続配線Ｆ１ｂと、ランド列Ｌに対して直交方向へ延びて形成された複数の第１中継配線Ｆ１ｃとを有しており、第２フレキシブル基板Ｆ２は、ランド列Ｌに対して平行方向へ延びて形成された複数の第２接続配線Ｆ２ｂと、ランド列Ｌに対して直交方向へ延びて形成された複数の第２中継配線Ｆ２ｃとを有している。 （もっと読む）

【課題】繰り返し駆動による変位量の低下を抑制して、繰り返し駆動した際のインク吐出量の低下を抑制し、安定した印刷品質を維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドのバイアス電圧の設定方法、液体噴射ヘッドの駆動方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を具備する液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子を駆動させる制御部１１７と、前記圧電素子の駆動情報を記録する記録部１１４と、前記圧電素子に駆動電圧とバイアス電圧とを供給する電源供給部１２０と、を備え、前記制御部１１７が、前記記録部１１４に格納された前記圧電素子の前記駆動情報に基づいて、前記駆動電圧を負方向にシフトさせる前記バイアス電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】ヒートシンクが組み込まれた装置を小型化するとともに、当該装置の組立作業性を向上する。
【解決手段】ヒートシンク保持部材６４は、一方面にドライバＩＣ１１４ａ，１１４ｂが配設されている配線基板Ｇと、ドライバＩＣ１１４ａ，１１４ｂにおける配線基板Ｇ側とは反対側の面に当接された第１ヒートシンク６６とを保持するものであり、ベース部１７０と、ベース部１７０から突出して形成され、ドライバＩＣ１１４ａ，１１４ｂが配線基板Ｇの一部と共に載置される部品支持部１７２，１７４と、ベース部１７０から部品支持部１７２，１７４と同じ方向へ突出して形成され、互いに近接または離間する方向へ弾性変形可能に構成されたヒートシンク支持部１７６ａ〜１７６ｄとを備え、ヒートシンク支持部１７６ａ〜１７６ｄのそれぞれは、互いに近接または離間する方向から第１ヒートシンク６６に係止される第１ヒートシンク保持部を有している。 （もっと読む）

【課題】製品寿命の長期化及び製品の信頼性向上を図ることができると共に、従来よりも長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２１に連通する圧力発生室１１に液体を供給するリザーバー１３を有するリザーバー形成基板１０と、圧力発生室１１に対向して設けられた圧電素子３５と、リザーバー１３に対向する位置に樹脂材料で構成された振動部１６を有する振動部材１５と、圧電素子３５を収容する空間からなると共に外部空間に連通された圧電素子収容部４３及び振動部１６に対向する領域に設けられた空間部４２を有するケース４０と、圧電素子収容部４３と空間部４２とを連通させる連通路４６と、空間部４２を大気開放させる大気開放孔４４と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】温度変化による圧電アクチュエータの駆動特性の変動を抑制する。
【解決手段】流路ユニット３１の上面に接合された振動板４１の上面における圧力室１０と対向する部分には、振動板４１よりも線膨張係数の小さい圧電材料からなる圧電層４３が配置されている。また、振動板４１の上面における、圧力室１０の縁の近傍と対向する部分に位置する、変形部４１ａにより形成される領域と拘束部４１ｂにより形成される領域とにまたがった領域には、圧力室１０の全周にわたって、振動板４１及び圧電層４３よりも線膨張係数の大きい材料からなる高膨張層４２が配置されている。高膨張層４２は、振動板４１の上面の高膨張層４２よりも上方に突出しており、その突出量は、圧電層４３の厚みよりも大きくなっている。また、高膨張層４２の上面にはＦＰＣ４５が接合されている。 （もっと読む）

【課題】密着性を向上して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０に設けられた絶縁体膜５５を有する振動板と、該振動板上に設けられた第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０からなる圧電素子３００と、を具備し、前記絶縁体膜５５は、酸化ジルコニウム層に酸化ハフニウムが含まれたものである。 （もっと読む）

Ｐｂ_{１．００＋ｘ}（Ｚｒ_０．５２Ｔｉ_０．４８）_{１．００−ｙ}Ｏ_３Ｎｂ_ｙ（式中、ｘ＞−０．０２且つｙ＞０）の組成を有する圧電アクチュエータが記載される。この圧電材料は、アクチュエータにバイアスを印加した際に良好な屈曲作用を呈することができるペロブスカイトを有しうる。
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