【課題】インクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ及びその形成方法を提供する。
【解決手段】圧力チャンバの上部壁をなす振動板の上部に形成される下部電極と、下部電極上の圧力チャンバに対応する位置に形成され、その周辺部と前記下部電極との間に空間が形成された圧電膜と、前記圧電膜上に形成されて圧電膜に電圧を印加する上部電極と、を備える。一方、前記圧電膜は、周辺部に形成された空間の代わりにその側面が下部電極の上面に対して実質的に直角をなすように形成できる。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子柱を有する圧電素子部材を用いた液体吐出ヘッドにおいて、端部の圧電素子柱の変位が他の圧電素子柱と異なることによる、ノズル間での液滴の吐出特性のばらつきを低減できる画像形成装置の提供。
【解決手段】複数の圧電素子柱を配列した圧電素子部材を有し、端部の圧電素子柱に印加する共通駆動波形を生成する第２共通駆動波形発生部５４１Ｂと、端部以外の他の圧電素子柱に印加する共通駆動波形を生成する第１共通駆動波形生成部５４１Ａを備え、端部の圧電素子柱に印加する駆動電圧を端部以外の圧電素子柱に印加する駆動電圧よりも高く設定した。 （もっと読む）

【課題】酸化ジルコニウム層の亀裂や剥離等の破壊を低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上方に形成された酸化シリコンを主成分とする第１の層５０と、該第１の層５０上に設けられたジルコニウムを熱酸化することにより形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第２の層５６と、該第２の層５６上にスパッタリング法により形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第３の層５７と、該第３の層５７の上方に形成された圧力発生素子３００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位低下に伴う吐出特性の低下を抑制することが可能な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電素子６を駆動することにより圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動によってノズルから液体を吐出する記録ヘッドを備えたプリンタであって、圧電素子に対して圧電体層１５の分極方向に電界を印加することにより当該圧電素子を駆動してノズルから液体を吐出する第１のモードと、圧電素子に対して圧電体の分極方向と逆向きに電界を印加することにより当該圧電素子を駆動してノズルから液体を吐出する第２のモードと、を切り替え可能とした。 （もっと読む）

【課題】液体流路内に圧電材料の粒子が残存することを防止する。
【解決手段】まず、振動板３１と、流路ユニット４の一部を構成するキャビティプレート４１及びベースプレート４２の３枚のプレートを積層して金属拡散接合により接合する（第１接合工程）。次に、振動板３１の上面に、複数の圧力室１４を覆うように、ＡＤ法により圧電材料の粒子を振動板３１上に堆積させることにより圧電層３２を形成する（圧電層形成工程）。その後、圧電層３２、振動板３１、及び、プレート４１，４２を所定のアニール温度以上に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す（アニール処理工程）。次に、振動板３１、キャビティプレート４１、及び、ベースプレート４２の３枚のプレートにより形成されたインク流路内に流体を流し込み、インク流路内を洗浄することで、インク流路内に侵入した粒子を除去する（液体流路洗浄工程）。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位ばらつきを低減し、歩留りを向上させること。
【解決手段】液体を吐出するノズルに連通する圧力室が形成される基板に、圧電体および電極を有する圧電素子を形成し（ステップＳ２）、形成された前記圧電素子の静電容量と前記圧電素子のサイズとを実測し（ステップＳ４）、実測結果から前記圧電素子の変位量を予測し（ステップＳ６）、予測された前記圧電素子の変位量に基づいて、前記圧電素子の変位量を変更する加工処理の補正値を決め（ステップＳ８）、前記補正値を用いて前記加工処理を行うことで前記圧電素子間の変位量のばらつきを補正する（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】製作収率が向上され、各構成間の堅固な結合力に基づいて安定した品質を確保できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは、インクを貯留するリザーバ、リザーバにインクを供給する流入口、リザーバからインクが供給されるチャンバ、リザーバとチャンバを連結するリストリクタ、インクを吐出するノズル、及びチャンバとノズルとの間に介在されるダンパ部を含むインクジェットヘッドであって、ダンパ部の一部、チャンバ、リザーバ、及びリストリクタが形成されたシリコン材質の第１プレートと、チャンバをカバーするように第１プレートの上面に接合されたガラス材質の振動板と、第１プレートの下面に接合され、ダンパ部の一部が形成されたガラス材質の第２プレートと、第２プレートの下面に接合され、ノズルが形成されたシリコン材質のノズル板とを含む。 （もっと読む）

【課題】流路ユニット周囲の外気との熱の交換を可能な限り抑制して、液体流路内の液体との熱交換を効率よく行うことで、前記液体の温度調整を速やかに行うことが可能な液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド６は、ノズル２８を含む流路ユニット１０と、ノズル２８からインクを噴射するための噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ３０とを備え、流路ユニット１０に含まれる流路構造体１２には、循環路４０が形成されている。流路ユニット１０に含まれるノズルプレート１１が、上下方向において循環路４０の一部と重なっている。流路構造体１２は、ノズルプレート１１と圧電アクチュエータ３０に比べて熱伝導率が高い。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成部材の撥水層の耐久性及び撥水性のいずれも両立して向上することができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】ノズル板３は、ノズル基材３１の液滴吐出側の面に撥水層３２が形成され、撥水層３２は、フッ素樹脂層からなり、単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体又はコポリマー（分子鎖）が絡み合った層３２ｃで構成され、これらの単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体の層３２ｃがいずれもノズル板３の表面に露出した状態で形成されている。 （もっと読む）

【課題】屈曲された脚部を有する配線基盤を用いることなく、配線基板と圧電素子との接触を抑制して液体噴射特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４に連通する圧力発生室２１が設けられた流路形成基板２２と、該流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧電素子４０と、前記流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧電素子４０に導通すると共に、前記流路形成基板２２と反対側の面に、傾斜した接続面４７を備える端子部４６と、前記端子部４６の前記接続面４７に電気的に接続され、前記圧電素子４０を駆動する駆動信号を供給する配線層５１が設けられた配線基板５０と、を具備し、前記接続面４７を、前記圧電素子４０側が当該圧電素子４０とは反対側よりも所定の基準面に対して高くする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの低コスト化を可能としたインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１に形成された圧力発生室１０と、基板１の表面側に形成されて圧力発生室１０を覆う振動膜２０と、基板１の表面側であって振動膜２０を挟んで圧力発生室１０と対向する領域に形成された圧電素子３０と、基板１の表面側に形成されて圧電素子３０に接続する配線３４、３５と、ＩＣ素子５０（基板５１と、基板５１の表面に形成されたドライバ回路５２と、基板５１の表面側に形成されてドライバ回路５２に接続するバンプ電極５３と、を含む。）と、凹部４１ａを有する封止板４０と、を備える。バンプ電極５３は配線３４、３５に接合され、封止板４０は、ＩＣ素子５０と圧電素子３０とを凹部４１ａの内側に収納した状態で、基板１の表面側に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】樹脂層及び金属層からなる振動板部材を使用する液体吐出ヘッドにおいて、滴吐出特性のバラツキを低減することができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】振動板部材２は、振動板領域２Ａを形成する樹脂層２２上に島状凸部２Ｂなどを形成する金属層２１を析出させ、金属層２１をエッチングして島状凸部２Ｂを形成したものであり金属層２１は、樹脂層２２側と反対側の面（金属層２１の表面）側の結晶粒の大きさ（結晶粒径ａ）が、樹脂層２２側の面（金属層２１の樹脂層界面）側の結晶粒の大きさ（結晶粒径ｂ）よりも大きく（ａ＞ｂの関係に）形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板の厚みばらつきが低減されて厚みが高精度化され、さらに共通電極を容易に取り出すことができる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】複数の積層された基板１、２、３に、少なくとも、液滴を吐出する複数のノズル孔３０と、各ノズル孔３０のそれぞれに連通する吐出室１３と、吐出室１３の底壁に形成された振動板１２と、各吐出室１３と連通され吐出室１３に液体を供給するリザーバ１４と、振動板１２と対向配置されて振動板１２を駆動する個別電極２１とが形成され、積層された基板１、２、３のうちの一の基板１がシリコン製の基板であって、少なくとも吐出室１３を形成した基材と、この基材の底面に接合した振動板１２とを備え、基材が（１１０）面方位のシリコン単結晶基材１０からなり、振動板１２が（１１１）面方位のシリコン単結晶基材１１からなる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの実装密度が高集積化しても圧電振動子の加工性を確保しつつ、かつ振動板のコンプライアンスも十分に確保することで、高速印刷かつ高密度なオンデマンド型のインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インク滴を吐出させるノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室にインクを供給するインク供給路と、前記圧力発生室の一面を封止する振動板と、前記圧力発生室を前記振動板に設けられた凸部を介して加圧する縦振動モードを有する圧電振動子とを有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記振動板上の凸部は前記圧電振動子が複数個形成されていて、前記複数個の凸部の振動板との境界稜線領域内の平面積が、前記圧電振動子が前記凸部に当接する端面の長手方向の長さを最大としたときに形成される１個の凸部前記平面積に対し６０％〜８０％であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プラズマ状態を安定させ、かつ、好適な成膜条件によって、良質な膜を成膜できる成膜装置および成膜方法、これらによって成膜した圧電膜、および、この圧電膜を用いる液体吐出装置を提供することにある。
【解決手段】真空容器と、ターゲットホルダと、基板ホルダと、ターゲットホルダと基板ホルダとの間に、プラズマ中のイオンを補足するために、基板ホルダのターゲットホルダ側の外周を取り囲むように設けられたアノードとを有し、アノードは、板状部材を１枚または複数枚重ねたものであり、真空容器内にガスを導入し、ターゲットホルダと基板ホルダとの間に、電圧をかけてプラズマを生成し、成膜用基板上に成膜材料の薄膜を形成することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子部材に対して１枚のＦＰＣを接合するとき、圧電素子部材間で段差による接合不良を低減する圧電型アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電型アクチュエータ１は、複数の圧電素子柱が形成された圧電素子部材２がベース３部材上に柱並び方向に沿って、所定の隙間１０を置いて、複数並べて配置された２列の圧電素子部材列を有し、各圧電素子部材列の各圧電素子柱に1枚のフレキシブル配線基板であるＦＰＣ３が直接接続され、圧電素子柱に直接接続されるＦＰＣ３の先端部分（接続部分）には、複数の圧電素子部材２、２間（隙間１０）に対応してくさび形状の切り込み５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の金属板と樹脂板が予め接合されている積層部材を用いて振動板部材を構成する場合、相対的に精度が低くても速く（短時間で）形成し、時間がかかっても相対的に高精度に形成したいことがある。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル６が連通する複数の加圧液室７の壁面を形成する振動板１０を形成する振動板部材４と、振動板部材４の振動板１０を変位させる圧電素子部材２とを有し、振動板部材４は、振動板１０を形成する樹脂部材２１と、樹脂部材２１の両面に設けられた第１、第２の金属部材２２、２３とを含む少なくとも３層の積層部材２０からなり、第１、第２の金属部材２２、２３は異なる種類の金属材料から形成され、第１の金属部材２２はイオン化傾向が水素よりも大きい材料で形成され、第２の金属部材２３はイオン化傾向が水素よりも小さい材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔が高密度に配置された液体噴射ヘッドおよびこれを有するプリンタを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１０００は、第１基板１０と、第１基板の上方に形成された第２基板２０と、第２基板に形成された複数の圧力室２６と、第２基板に形成され、各圧力室にインクを貯留するためのリザーバ２２と、圧力室の上方に形成された振動板３０と、振動板の上方であって、各圧力室に対応する位置に形成された圧電素子４０と、圧電素子と電気的に接続された内部配線７０と、ノズル孔５２を有するノズルプレート部材５０と、を含み、圧力室は、該圧力室の水平方向の一端においてリザーバと連通し、該圧力室の水平方向の他端においてノズル孔と連通している、ユニットヘッド１００を複数含み、複数のユニットヘッドは、上下方向に積層され、各ユニットヘッドは、平面視において、それぞれ重なっていない配線接続領域８０を有し、内部配線と外部配線とが、配線接続領域で電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣの膨張収縮による不具合を回避し、電極接続部の信頼性が高く、圧電素子の連結によるヘッドの長尺化を可能とすると共に、構造が簡単で、安価な液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０をヘッド部１００、圧電素子２００、立体配線基板３００で構成するに際して、圧電素子２００の外部個別電極２３０及び外部共通電極２４０を互いに直交する２つの面に配置し、立体配線基板３００の個別接点部３４１及び共通接点部３５１を圧電素子２００の直交面に対峙する２つの面に配置し、圧電素子２００と立体配線基板３００とを組み合わせ、外部個別電極２３０と個別接点部３４１、外部共通電極２４０と共通接点部３５１とを当接させ、はんだ３７０、３８０で接合する。 （もっと読む）

【課題】振動板の強度を向上して信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエータを提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、流路形成基板１０上に設けられ変形可能に構成された振動膜を少なくとも一枚備える振動板５０と、振動板５０を変形させて圧力発生室１２内の圧力を変動させる圧力発生部材とを具備し、振動膜は、振動膜の両側表面の少なくとも圧力発生室１２に対向する部分に、内部応力が主成分領域５４に比べて大きい圧縮応力である圧縮応力領域５３を備える。 （もっと読む）