【課題】微細化適正・高生産性・ダメージレス化を両立させる機能膜の加工方法、及びそれを利用したインクジェト記録ヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 例えば、基板（例えば振動板２００）上に凸状パターン２０４を形成し（図１（Ｃ）参照）、凸状パターン２０４上及び凸状パターン２０４の非形成領域上に機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）を形成した後（図１（Ｄ））、凸状パターン２０４上に形成された機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）を凸状パターン２０４が少なくとも露出するまで研磨する（図１（Ｅ）参照）。これにより、微細化適正・高生産性・ダメージレス化を両立させつつ、凸状パターン２０４の非形成領域に沿った機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）の加工を施すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 いくつかの基板除去技法を組み合わせて、各基板除去工程の特徴を利用できるようにする。
【解決手段】 基板３００の厚みの大部分の中を通ってブラインド形状４１２を形成するステップであって、ブラインド形状４１２は少なくとも１つの側壁表面４１６および底面４１８によって画定されるものである、ブラインド形状を形成するステップと、ブラインド形状４１２にウエットエッチレジスト材料を被着するステップと、底面４１８の少なくとも一部から前記ウエットエッチレジスト材料を除去するステップと、基板３００の前記厚みを通して貫通形状３０５を形成するほど十分に、少なくとも底面４１８を通して基板３００をウエットエッチングするステップとを含んでなる方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】目的とするインク流路を正確に形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層（流路となる構造）とそれを被覆するネガ型レジスト層とを少なくとも用いたインクジェットヘッドの製造において、流路となる構造を、一般式（１）で表されるポリメタクリレート共重合体系樹脂とメラミン系の縮合性架橋剤とを有する分子間架橋型のポジ型感光性樹脂組成物の、電離放射線の照射による主鎖の崩壊反応により形成する。
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【課題】 ハンドリング性を低下させることなく、平面サイズの小さい凸部を高密度に形成する。
【解決手段】 フレキシブルプリント基板５０を製造するには、まず、ベースフィルム４６に周囲よりも厚みが小さい肉薄領域５３を形成する。次に、ベースフィルム４６の下面に、肉薄領域５３と対向する位置に形成された端子部４８ａを含む導体パターン４７を形成する。次に、パンチ９１によって肉薄領域５３をベースフィルム４６の上面側から押圧し、ベースフィルム４６に凸部５１及び凹部５２を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートの製造工程の簡略化を図るとともに、より微細な凹凸を低コストで形成することができるノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴を吐出するためのノズル孔の周囲に微小な凹凸が形成されたノズルプレートの製造方法であって、前記凹凸の凸部または凹部に対応した凸部２０２Ａ１を有する型２０２Ａを用いて、前記凹凸の凸部とほぼ同パターンのマスク２０５を基板１０５の表面に形成する第１の工程と、マスク２０５を用いて基板１０５をエッチングすることにより、基板１０５の表面に微小な凹凸を形成する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

微細加工されたデバイス、および微細加工されたデバイスを形成するための方法が記載される。シリコン（６８０）を含む薄膜が、シリコン・オン・インシュレーター基材（６８５）をシリコン基材に接着させることによって、シリコン本体（２５）の上に形成される。シリコン・オン・インシュレーター基材の、ハンドル層（６９５）および絶縁体層（６９０）は、取り除かれ、シリコン本体に接着されたシリコンの薄膜を残し、その結果、膜と本体との間には、絶縁体物質の介在層は残らない。圧電性層は、膜に接着される。
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流体吐出装置（１０３）は、第１の表面を有する基板（１１５）と、第１の表面上に形成される流体吐出器（２０１）と、流体吐出器の周囲に形成される発射室（２０２）を画定し、且つ発射室上のノズル（１０５）を画定するカバー層（１２４）とを備える。カバー層は少なくとも２つのＳＵ８層によって形成される。

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記載の実施形態はスロット付き基板に関するものである。例示的な一方法は基板材料（４０６）を基板（３００）から除去して、基板（３００）を貫通する流体ハンドリングスロット（３０５）を形成する。この特定の方法はまた、少なくとも部分的に、除去により発生する破片（５００）を取り除くように基板（３００）の流体ハンドリングスロット（３０５）近傍を機械的に調整する。 （もっと読む）

【課題】高粘度インクがノズルプレート上で移動しやすく、高粘度インクをノズルプレート上から除去しやすくすることにより、ワイピングにより正常なインク吐出ができる状態に回復させることを容易にする。
【解決手段】予め粗面化処理（酸素プラズマ処理又はサンドブラスト処理）により表面粗さ（Ｒａ）０．０１〜０．１とされたノズルプレート２１表面に、フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としてプラズマＣＶＤ法により０．５μｍ以下のプラズマ重合膜を形成し、その皮膜上にフッ素樹脂を塗布し、撥インク膜を形成する。プラズマ重合の原料となるフッ素含有化合物としては、パーフルオロアルカン、パーフルオロアルケン、パーフルオロエーテルが好ましい。ノズルプレート２１の基材は、ガラス転移点（Ｔｇ）１００℃以上の樹脂又は金属からなることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 後端にチャンネル溝内部を満たす導電性樹脂を備えるインクジェットヘッドにおいて、導電性樹脂とチャンネル壁との間のクラック発生を防止する。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、チャンネル壁３に隔てられる複数のチャンネル溝４を前端と後端とを結ぶように形成されたベース部材１と、このベース部材１の、複数のチャンネル溝４を有する側の面に対向するようにベース部材１と接して配置されたカバー部材２と、チャンネル溝４の内面の少なくとも一部に配置された駆動電極としての電極５と、この電極５と電気的に接続されるように、後端においてチャンネル溝４の内部を満たすように配置された導電性樹脂２６とを備える。ただし、チャンネル溝４の深さは前端におけるよりも後端における方が浅くなっている。 （もっと読む）

【目的】 吐出口の数が多くても吐出液滴の着弾位置精度の大幅な向上を図ることができるインクジェットヘッドを提供すること。
【構成】 それぞれ液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部が設けられた第１基板１２と、該第１基板１２と接合することにより前記吐出エネルギー発生部の各々に対応したインク路と該インク路に連通した共通インク室とを形成する壁部を有する第２基板１４とを備え、該第２基板１４は、前記インク路を形成する第１壁部と前記共通インク室を形成する第２壁部とを備えており、前記第１基板１２と前記第２基板１４との接合部が前記第１壁部と前記第２壁部とであるインクジェットヘッド１１において、接合部の摩擦係数が０．３以上となるように表面処理する。 （もっと読む）

【課題】良好な電気接続が得られる接続端子を備えたインクジェットプリンタヘッドに好適な電気回路基板を提供する。
【解決手段】先ずチップ基板２１上に駆動回路２７、抵抗発熱部２８、共通電極２９、個別配線電極３１、接続端子３２等を形成し、続いてシール隔壁３３−１、インク加圧室３４を作る区画隔壁３３−２及び３３−３を形成し、同時に区画隔壁３３−２に連設してこれと同一材料で支持部材３５を形成する。更にインク供給溝３６とインク給送孔３７を形成する。この後これらの上にオリフィス板２２を積層し、接続端子３２に対応する位置にボンディング用孔２５をエッチングした後、右端部で隣接のチップ基板と切り離す。オリフィス板２２は支持部材３５に支持されるため垂れて接続端子３２に接触することがなく、熱伝導等でエッチングレートを低下させることがなく、エッチング残渣が発生せず、接続端子３２は良好な電気接続性を維持する。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ重合（ＣＶＤ）によって撥インク被膜を形成して、長期に亘る安定した吐出を保証できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ■予め粗面化処理により表面粗さ（Ｒａ）０．０１〜０．１とされた表面に、フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としたプラズマ重合（ＣＶＤ）により膜厚０．５μｍ以下の撥インク膜が形成されたノズルプレートを有するインクジェットヘッド、■フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としてプラズマ重合（ＣＶＤ）により形成された皮膜上に、フッ素樹脂が塗布されて撥インク膜が形成されたノズルプレートを有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）