【課題】吐出させる液体をより積極的に加圧して、メニスカスの振動を迅速に抑えるとともに、駆動周波数を高めることのできる液滴吐出ヘッドの駆動方法、及びその駆動方法を用いて液滴吐出ヘッドを駆動する液滴吐出装置を得る。
【解決手段】所定間隔で対向配置されている振動板２２と個別電極１１からなる静電アクチュエータに駆動電圧パルスを印加して静電気力を発生させ、振動板２２と個別電極１１を当接させる第１ステップと、振動板２２と個別電極１１の当接を解放して振動板２２を振動させ、これにより発生する液体圧力変動を利用して、液滴をノズル孔３１より吐出させる第２ステップとを有する液滴吐出ヘッドの駆動方法であって、第２ステップにおいて、液滴を吐出させた後に、振動板２２に、液体のメニスカスの残留振動と逆位相の振動を与えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高湿度環境下における信頼性に優れた圧電体素子、インクジェットヘッド、およびインクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】第１の電極層１３と、第２の電極層１６と、前記第１の電極層１３と第２の電極層１６との間に設けられ鉛を含有してなる圧電体層１４と、前記圧電体層１４の層間、前記第１の電極層１３と前記圧電体層１４との層間、前記第２の電極層１６と前記圧電体層１４との層間、のうち少なくとも一部に設けられた、水分を遮断するバリア層１５と、を備える。これにより、圧電体層１４中の鉛と水分との電気化学的な反応を止め、高湿度環境においても圧電体層１４の高い絶縁特性を維持することができるため、高湿度環境下における信頼性に優れた圧電体素子が得られる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの移動速度が変動した場合においても、液滴の飛翔曲がり等の吐出不良を抑制することが可能な、液体噴射装置、及び、その制御方法を提供する。
【解決手段】今回記録周期（吐出周期）Ｔｎの最後の画素パルスＰＸ２の終端と次回記録周期Ｔｎ＋１の最初の画素パルスＰＸ１の始端とを接続する吐出周期接続要素Ｐｃと、同一記録周期内の画素パルス同士を接続する画素接続要素Ｐｂとを駆動信号ＣＯＭ中に含ませ、画素接続要素の時間幅Ｗｂを、エンコーダパルス（位置制御信号）の出力間隔の変動に依らず一定とする一方、吐出周期接続要素の時間幅Ｗｃを、エンコーダパルスの出力間隔の変動に応じて変化するように構成し、吐出周期接続要素の時間幅の最大値が画素接続要素の時間幅に対して１．５倍以上となるように設定し、画素接続要素の時間幅を、圧力室内のインクの固有振動周期Ｔｃ以上に設定した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少なくとも３枚の基板の陽極接合を行う場合に、生産性が高く、加わる熱量を最小限に抑えてインクジェットヘッドに歪みが発生することを防止できる陽極接合法にて接合する工程を有するインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも３枚の基板を重ね合わせた後、少なくとも３枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】サーマルインクジェットプリントヘッドのトレンチ部分をエッチングする方法を提供する。
【解決手段】サーマルインクジェットプリントヘッド(10)のトレンチ部分(32)を、エッチングされる基板表面(34)の領域を正確に画定し、且つシリコンエッチング液に曝されることによる損傷から近接する液滴発生器の構成要素を保護する強靱なマスクを使用してエッチングする方法。本発明の方法は、基板(30)上に液滴発生器の構成要素を生成するためのパターン化された層においても使用される材料(40、54)の一部をマスクとして使用する。基板上へのマスク要素の配置は、液滴発生器の生成と同時に行われ、それによりシリコンエッチングマスクを作る時間と費用が最小限となる。 （もっと読む）

【課題】固定用プレートからインク吐出面までの距離が一定にする。
【解決手段】インクジェットヘッドを製造するには、まず、ヘッド本体１３及びリザーバユニット９０を形成する。次に、リザーバユニット９０の下面に紫外線硬化性樹脂を塗布する。次に、治具１０５の平面１０６ａとインク吐出面４ａとが当接するように、平面１０６ａ上にヘッド本体１３を載置する。そして、リザーバユニット９０のインクリザーバと流路ユニット４のインク流路とを連通させつつリザーバベースプレート９２の長手方向両端部と壁１０７の上面１０７ａとが対向するように、リザーバユニット９０をヘッド本体１３及び治具１０５に対して位置決めし、流路ユニット４の上面上に紫外線硬化性樹脂を介してリザーバユニット９０を積層する。次に、リザーバベースプレート９２の下面と壁１０７の上面１０７ａとを当接させた状態で紫外線硬化性樹脂を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出量の変動を吸収して安定した吐出及び高品質な印字が可能で、簡易かつ安価な液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート２を、ベース樹脂プレート２ｃと感光性樹脂プレート２ｄとが積層された樹脂プレート積層体から構成するとともに、液体供給路１２に対応する領域の少なくとも一部に、感光性樹脂プレート２ｄの一部を除去してベース樹脂プレート２ｃからなるダンパー部１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】各ノズルにおいてインクの吐出特性を安定化させることができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】流路プレートユニット５２を、圧力室プレート２８（第１流路プレート２８）と、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６で構成された第２流路プレート５６と、に分け、圧力室プレート２８と振動板３０を接合した状態で、振動板３０の表面に圧電素子から構成されている圧電プレートを接合する。そして、圧力室１４の位置に合わせて該圧電プレートを個々の圧電部材群４２に個別化することで、圧電部材４２と圧力室１４は正確に位置決めされる。また、振動板３０をハーフエッチングすることで、振動板３０の肉厚を薄くして振動板３０の変形量を増大させ、インクの吐出特性を安定化させると共に、向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】複数のヘッドが形成された積層構造体から簡単に個々のヘッドに分割することができ、電極取り出し部の後端部にシリコンの壁ができないようにした液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】振動板５及び電極取り出し部１４が形成される第１の基板１と、第１の基板と重ねられる第２の基板２とを接合し、第１の基板と第２の基板とが重なった部分に複数の分割ラインを設け、個々のヘッドに分割する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、第１の基板に対し分割ラインに沿ってレーザ光を照射することにより分割ライン上の材料を変質させ、第１の基板に対し、変質した分割ラインに沿って電極取り出し部をパターニングし、電極取り出し部の一部はエッチングしない非エッチング領域として第１の基板をウェットエッチングし、第１の基板と第２の基板を、変質した分割ラインに沿って個々のヘッドに分割し、ヘッドの分割後に非エッチング領域をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの接合安定性を向上させ、接合不良及び剥離を最小限に止める。
【解決手段】基板（Ｓｉウエハ）に素子３が設けてあり、その素子３を囲むように複数列の溝４が設けてある。これら二枚の基板を減圧環境下で接合する。溝部は接合後に減圧空間４となる。従来接合に寄与していない接合不良を防止するための凹部を減圧空間することにより第一の基板１と第二の基板２が大気圧で押され、実質的に接合力が増える効果が得られ接合の安定化を実現させたものである。 （もっと読む）

【課題】ザグリ孔に対応させてノズル孔を精度良く形成する。
【解決手段】導電性のザクリプレート５２にプレス加工などにより複数のザクリ１１２を形成し、ザクリプレート５２を支持基板１５０に固定してザクリ１１２に非導電性の第１樹脂１５２を充填する。その後、ザクリプレート５２上にＮｉを電鋳成長させてノズルプレート５４を形成する。その際、電鋳時間を調整することで、ザクリ１１２の内側に所定の径のノズル１１０が形成される。その後、ザクリプレート５２から支持基板１５０を離脱し、第１樹脂１５２を溶液処理により溶解剥離することで、ザグリ付ノズルプレート５０が形成される。 （もっと読む）

【課題】インクチャンネルで生じる圧力波の残留振動を均一に抑制することができ、インクの吐出が安定するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、チャンネル溝４に隔てられるようにチャンネル壁１４が形成されたベース部材１と、カバー部材２とを備える。チャンネル壁１４とカバー部材２とが接合されている面の延長上に広がり、圧力波を減衰するための間隙部７を備える。少なくとも間隙部７に配置されている有機保護膜６を備える。間隙部７は、チャンネル壁１４が延びる方向にほぼ垂直な方向において、ベース部材１に配置された有機保護膜６の表面とカバー部材２に配置された有機保護膜６の表面との距離がほぼ一定になるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの複数のノズルの信頼性の向上のため、ノズルの周辺に、その端面がノズルを囲むように凸部を設ける場合、凸部のノズルを囲む端面とノズルプレートの表面とで形成される凹部のワイピング方向の終端部にインクが滞留するのを防止することが可能で、吐出安定性に優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】凸部９を、ノズル２ａを囲む端面９ｄとノズルプレート２の表面とで形成される第１の凹部９ａ、ワイピング方向に延伸する第２の凹部９ｃ、並びに第１の凹部９ａ及び第２の凹部９ｃを連結する第１の液体流路９ｂ、に対して相対的に凸の部分から構成する。 （もっと読む）

【課題】積層構造のインクジェットヘッドにおいて、樹脂部材の耐インク性を向上させ寸法精度を確保する。
【解決手段】薄膜基板を積層して形成されたインクジェットヘッドであって、金属粒子１６０を混ぜた樹脂接着剤１５６によって接合され積層された薄膜基板と、前記積層された薄膜基板によって形成される流路内に露出した前記樹脂接着剤１５６の部分に形成された金属膜１５８と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドを提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】より一層のアクチュエータの変位量増大及びクロストークの抑制を実現しつつ、圧電層を挟む２種類の電極間のショートや放電を確実に防止可能な、圧電アクチュエータによる液体移送技術を提供すること。
【解決手段】圧電層の圧力室と反対側の面の、複数の圧力室と対向する領域の全域に導電層３３が形成されており、この導電層３３が、圧力室の中央部と対向する領域を取り囲むように形成された第１環状溝４０により部分的に除去されて、第１環状溝４０の内側に個別電極３２が形成されている。さらに、圧電層の圧力室と反対側の面の、圧力室の周縁部と対向する領域であって第１環状溝４０よりも外側の領域に、導電層３３と圧電層の両方を貫通する第２環状溝４１が、圧力室の周縁に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】 チャンネルの高密度化を実現しつつ、各チャンネル間での剛性差を抑制して吐出特性の均一化を図ることができる液滴吐出装置の提供。
【解決手段】 インクジェットプリンタヘッド（液滴吐出装置）１は、複数の圧力室３０と、該複数の圧力室３０にそれぞれ接続して並列して設けられた複数の絞り通路３２とを備え、並列方向最端の圧力室３０（３０ａ）を除く各々の圧力室３０（３０ｂ）は、その隣の圧力室３０に接続する絞り通路３２と、平面視において少なくとも一部が重なって位置し、絞り通路３２の並列方向の延長上に、最端の圧力室３０（３０ａ）と平面視において少なくとも一部が重なる疑似通路３２ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数のヘッドが形成された積層構造体から簡単に個々のヘッドに分割することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２枚以上の基板が接合され、該基板のうち第１の基板１は振動板５を有する流路及び共通電極１５がヘッドごとに形成されたシリコン基板からなり、第２の基板２は振動板５に対して所定の間隔を隔てて対向配置される個別電極８がヘッドごとに形成されたガラス基板からなり、複数の分割ラインに沿って個々のヘッドに分割する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、各々の分割ライン上には、第１の基板１のシリコン部分と第２の基板２のガラス部分とが接合された状態で存在するように、共通電極１５及び個別電極８を配置形成し、各分割ラインに沿って第１の基板１の内部にレーザ光を照射することにより材料変質部を形成し、第２の基板２側から応力を加えて個々のヘッドに分割する。 （もっと読む）

【課題】複数の貫通口が形成されていても配線パターンや保護膜等の形成が容易にできる基板の製造方法と基板、及び液滴吐出ヘッドの製造法と液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】複数の貫通口４２、４４、１１２を有する基板７０に対して配線パターン９０を形成する基板の製造方法であって、貫通口４２、４４、１１２に充填材料８６を埋め込んで基板７０の表面を平坦化してから配線パターン９０を形成する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に階段状の溝を安価に、精度良く形成すること。
【解決手段】ホットエンボス成形技術によりガラス基板２００に階段状又は傾斜状の凸部２０１を形成する工程と、凸部２０１の形成部分を少なくとも開口したエッチングマスクでガラス基板表面を覆い、ガラス基板表面をエッチングして凹部９を形成する工程と、凹部９の底面に個別電極１０を設ける工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】圧力室の開口寸法精度を向上させ、インク吐出特性を安定させる。
【解決手段】ヘッド本体は、流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に固定されたアクチュエータユニット２０とからなる。流路ユニット４は、貫通孔２１ａが形成された上キャビティプレート２１と、上キャビティプレート２１に連続して積層され貫通孔２１ａと連続することで圧力室１０を構成する貫通孔２２ａが形成された下キャビティプレート２２とを有している。上キャビティプレート２１は、下キャビティプレート２２よりも厚みが薄い。 （もっと読む）