【課題】インクジェット式記録ヘッドの低コスト化を可能としたインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１に形成された圧力発生室１０と、基板１の表面側に形成されて圧力発生室１０を覆う振動膜２０と、基板１の表面側であって振動膜２０を挟んで圧力発生室１０と対向する領域に形成された圧電素子３０と、基板１の表面側に形成されて圧電素子３０に接続する配線３４、３５と、ＩＣ素子５０（基板５１と、基板５１の表面に形成されたドライバ回路５２と、基板５１の表面側に形成されてドライバ回路５２に接続するバンプ電極５３と、を含む。）と、凹部４１ａを有する封止板４０と、を備える。バンプ電極５３は配線３４、３５に接合され、封止板４０は、ＩＣ素子５０と圧電素子３０とを凹部４１ａの内側に収納した状態で、基板１の表面側に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】低電圧印加で振動板の十分な変位量が得られる静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】電気分極したエレクトレット層１、絶縁層２、電極層３が順に積層された電極側部材１０の電極層３に、可撓性及び導電性を有する振動板２１が絶縁膜２５を介して変形可能に密接配置されており、振動板２１と電極層３との間に電圧を印加して振動板２１を変形させるようにした静電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】配線基板をアクチュエータに安定して接合、コンパクトに取り回せるようにし、アクチュエータから剥がれ難くする。
【解決手段】複数の圧力室及び圧力室に連通する複数のノズルを有する流路ユニットと、その表面に複数の圧力室に対応する複数の電極６５が複数配列して設けられたアクチュエータと、アクチュエータの表面を覆い、各電極に対応して設けられた導電性バンプ６６を介して接続される配線基板２３とを備え、一の列をなす複数の電極７０が、当該一の列と隣接する列をなす複数の電極７０と千鳥状に配列されており、列方向の末端位置に配置された電極６５に対応する前記導電性バンプ６６が、圧力室の中心線に対し、該列方向の中央寄りに偏位して設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数の金属板と樹脂板が予め接合されている積層部材を用いて振動板部材を構成する場合、相対的に精度が低くても速く（短時間で）形成し、時間がかかっても相対的に高精度に形成したいことがある。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル６が連通する複数の加圧液室７の壁面を形成する振動板１０を形成する振動板部材４と、振動板部材４の振動板１０を変位させる圧電素子部材２とを有し、振動板部材４は、振動板１０を形成する樹脂部材２１と、樹脂部材２１の両面に設けられた第１、第２の金属部材２２、２３とを含む少なくとも３層の積層部材２０からなり、第１、第２の金属部材２２、２３は異なる種類の金属材料から形成され、第１の金属部材２２はイオン化傾向が水素よりも大きい材料で形成され、第２の金属部材２３はイオン化傾向が水素よりも小さい材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド駆動部及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】上面に溝が形成された振動板と、上記溝の底面及び側壁を覆うように形成された第１電極と、上記溝を埋めるように上記第１電極上に形成された圧電体及び上記圧電体上に形成された第２電極を含むインクジェットヘッド駆動部を提供する。本発明によれば、薄膜圧電体及び振動板を備えて振動変位が大きく駆動電圧が低いインクジェットヘッド駆動部及びこれを製造する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】基板の機械的強度の低下を回避しつつ、十分な供給特性を有する液体の供給口を形成する。
【解決手段】液体吐出ヘッド用基板の加工方法であって、前記基板を提供し、前記裏面に対して液体を線状に吐出し、該液体に沿って該液体内を通過したレーザー光により前記裏面を加工することにより、前記裏面に凹部を設ける。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に３次元の微小構造を形成させる構造体において、その構造を効率的に形成することができる技術を提供する。
【解決手段】この発明は、ガラス基板からなりそのガラス基板の厚さ方向に形成される貫通孔を有する構造体の製造方法であって、以下の２つの工程からなる。第１工程では、ガラス基板１の貫通孔２の内周面の形成が予定される内周面予定領域３にレーザ光４を照射してそのレーザ光４の焦点を内周面予定領域３内において走査することにより、内周面予定領域３に変質領域５を形成する。第２工程では、ガラス基板１に対してエッチングを行い、変質領域５に係る部位を除去することにより変質領域５で囲まれていた中子６を抜き落として貫通孔２を形成する。 （もっと読む）

【課題】記録幅の大きい記録ヘッドであっても、安価かつ簡単に記録素子基板の配置精度が高く、インク漏れなどが生じない信頼性の高い記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを吐出するための複数の吐出口と、インクを吐出するための吐出エネルギを発生させる記録素子と、インクを前記複数の吐出口に供給するためのインク供給口が形成された複数の記録素子基板と、前記記録素子基板を保持し、前記インク供給口にインクを供給するための複数のインク導入口を有する支持部材と、前記支持部材と接合し、インクを貯蔵するためのインク貯蔵室を有するインク供給部材と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、前記支持部材は、前記インク導入口が形成された第１の部材と、該第１の部材と異なる材料であって、第１の部材を取り囲むように形成された第２の部材とにより一体的に形成され、前記記録素子基板は前記第１の部材と接着され、前記インク供給部材は前記第２の部材とのみ接合されている。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を招くことなく、エッチング時の水素ガス発生による振動板破壊を防いだ精度の高い静電型アクチュエータなどを提供すること。
【解決手段】ベース基板上に変形可能な振動板とこれに所定のギャップを介して対向する電極とを備え、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記ギャップは、前記ギャップと略同じ高さに形成された梁で囲まれ、前記梁は複数の層からなる静電型アクチュエータを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣの膨張収縮による不具合を回避し、電極接続部の信頼性が高く、圧電素子の連結によるヘッドの長尺化を可能とすると共に、構造が簡単で、安価な液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０をヘッド部１００、圧電素子２００、立体配線基板３００で構成するに際して、圧電素子２００の外部個別電極２３０及び外部共通電極２４０を互いに直交する２つの面に配置し、立体配線基板３００の個別接点部３４１及び共通接点部３５１を圧電素子２００の直交面に対峙する２つの面に配置し、圧電素子２００と立体配線基板３００とを組み合わせ、外部個別電極２３０と個別接点部３４１、外部共通電極２４０と共通接点部３５１とを当接させ、はんだ３７０、３８０で接合する。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの小型化と低コスト化をさらに進展できるようにしたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板１と、流路形成基板１の表面に形成された圧力発生室３と、流路形成基板１に形成されて圧力発生室３に連通するノズル開口部５と、流路形成基板１の表面側に形成されて圧力発生室３を覆う振動膜７と、振動膜７を挟んで圧力発生室３と対向する領域に形成された圧電素子１０と、流路形成基板１の表面であって圧力発生室３と並ぶ領域に形成されたドライバ回路９と、流路形成基板１の表面側に形成されて、ドライバ回路９と圧電素子１０とを接続する配線層２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】製造工程を簡単化でき、高精度にノズル孔を形成することが可能な構造を有するノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１であって、複数の基板を積層し接合した構成を有し、各基板１ａ，１ｂには、それぞれ基板毎に異なる内径のノズル部１１ａ，１１ｂが略垂直方向に貫通形成されており、ノズル部の内径が徐々に大きくなるように複数の基板１ａ，１ｂが積層され、断面階段形状のノズル孔１１が形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中において、エッチング液やエッチングガスのギャップへの侵入に起因する歩留まり低下を防止することが可能な静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】振動板と振動板にギャップを介して対向配置された対向電極とを有し封止されているアクチュエータ部を備えた静電アクチュエータの製造方法であって、ガラス基板３００に凹部３２を形成し、凹部３２内に対向電極３１を形成する工程と、ガラス基板３００の凹部３２内に、封止用の壁を低融点ガラス３５ａにより形成する工程と、ガラス基板３００とシリコン基板２００とを接合し、封止用の壁により、凹部３２を最終的にアクチュエータ部となる部分とそれ以外の部分とに分離するとともに、最終的にアクチュエータ部となる部分を封止する工程と、シリコン基板２００を薄板化して少なくとも振動板２２を形成し、アクチュエータ部を完成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】アライメントを行うことなく流路とノズルの位置ズレを防ぐとともに、流路が微細であってもエッチングムラを抑制してノズル孔を高精度に形成することができるノズル孔の形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】内部を貫通する流路１２を有し、少なくとも片面に前記流路の開口部１４ａ，１４ｂが形成されている流路基板１０と、前記流路に通じるノズル孔を形成するためのノズル基板２０を準備する基板準備工程と、前記流路基板の流路の開口部１４ｂが形成されている片面に、該開口部を塞ぐように前記ノズル基板を接合する接合工程と、前記流路基板の前記流路を介して、高圧流体とエッチング液を含むエッチング混合流体を前記ノズル基板に供給してエッチングすることにより、前記流路に通じるノズル孔２２を形成するエッチング工程と、を有するノズル孔の形成方法。 （もっと読む）

【課題】変位量を向上させることができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッドの圧電体膜(17)は、キャビティ(Ca)の第１方向の略中央部に配置され、圧電体膜の前記第１方向の幅(Wp1)は、前記キャビティの前記第１方向の幅（Wc1)より小さく、前記圧電体膜の前記第１方向の両側に前記キャビティの形成領域であって、前記圧電体膜の形成領域とならない第１領域(腕部20)を有し、下部電極(15)は、前記第１領域に配置された開口部(OA1)と、前記開口部と交互に配置される橋部(BA)と、を有する。かかる構成によれば、前記圧電体膜の形成領域と前記キャビティの形成領域とが重ならない第１領域の下部電極が抜かれた構成となり、変位量を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、振動板の変位を抑制することなく振動板の変位量を効率的に増大できる変位アクチュエータ、この変位アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係る変位アクチュエータ２５においては、圧電体（能動素子）２а、２ｂを、振動板短辺方向の変位断面において、振動板１の各端２３а、２３ｂから直近の変曲点２１а、２１ｂまでの領域内及び振動板の変曲点２１аからこれに相隣る他の変曲点２１ｂまでの領域内の少なくとも一方の領域内に設けている。 （もっと読む）

【課題】吐出液が保護膜を浸食して下地のシリコンが溶出することがない、シリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、ノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃを経て液滴吐出側の面と反対側の面１ｂまで耐吐出液保護膜Ａが連続して形成され、耐吐出液保護膜Ａは陽極酸化により形成された酸化膜１２である。シリコン製ノズル基板１の製造方法は、シリコン基材１００に凹部１１０を形成する工程と、凹部１１０よりも大きい径の貫通孔５０ａを有する支持基板５０を凹部１１０と貫通孔５０ａとが同軸上になるようにして貼り合わせる工程と、凹部を形成した側の面と反対側の面１００ｃを薄板化して凹部１１０を開口させる工程と、シリコン基材１００を陽極酸化して連続した酸化膜１２を形成する工程と、支持基板５０を剥離する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動板の絶縁膜や電極基板の個別電極の耐久性や信頼性を向上させることができ、基板積層の際のアラインメントも容易になる静電アクチュエータを得ること。
【解決手段】シリコン基板２のガラス製の電極基板３との接合側面に、ダイヤモンドライクカーボン膜９ｂとＳｉＯ₂膜を成膜し、シリコン基板２と電極基板３とを密着させて陽極接合し、シリコン基板２と電極基板３とから構成される隙間１７に、エッチングガスまたはエッチング液を導入して、隙間１７に対面する先に成膜されたＳｉＯ₂膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの小面積化を可能としたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インク液の供給を受ける圧力発生室１０と、圧力発生室１０に連通するノズル開口部６２と、圧力発生室１０に面する振動膜２０と、を備え、圧力発生室１０内の圧力変化によりインク液をノズル開口部６２から吐出するインクジェット式記録ヘッド１００であって、ノズルプレート６０の圧力発生室１０を挟んで振動膜２０と対向する領域に形成されたドライバ回路６４、を備える。このような構成であれば、圧力発生室１０とドライバ回路６４とが断面視で縦方向（即ち、厚さ方向）に重なるように配置されているので、記録ヘッド１００の面積を小さくすることができ、その小型化が可能となる。また、ドライバ回路６４で生じた熱が流動するインク液によって奪われ易いので、放熱が容易である。 （もっと読む）

【課題】静電型アクチュエータの大気開放孔（疎水剤導入孔）の封止性が完全でない場合でも、空隙内の疎水剤濃度の経時的な低下を防止して耐久性劣化を防止する。
【解決手段】振動板２０と固定電極１３ａの空隙側１５ａの表面に疎水膜を形成し、空隙１５ａ中に疎水基を有する疎水剤の蒸気を封入するとともに、空隙１５ａを連通する連通路５３に接して液体の疎水剤を保持する疎水剤保持部５２を設け、空隙１５ａ内における疎水剤の蒸気の封止が僅かに不完全であっても液体の疎水剤を保持した疎水剤保持部５２より疎水剤の蒸気が供給されて、空隙１５ａ内の疎水剤濃度の低下を防止して静電型アクチュエータの耐久性が劣化することを防ぐ。 （もっと読む）