【課題】安定した液滴吐出特性を有し、かつ、簡易なプロセスで、安価に得ることができるノズルプレートおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明に係るノズルプレート１００は、基板１０と、基板１０に形成され、液滴を吐出する吐出側の第１開口部２０と、第１開口部２０と連続して形成され、第１開口部２０より径が大きく、かつ、隅部３０ａを有する第２開口部３０と、隅部３０ａに沿って形成された樹脂からなるテーパ部４０と、第１開口部２０と、テーパ部４０が形成された第２開口部３０とを有するノズル孔５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出面およびノズル孔内壁が吐出液に浸食されず、耐久性に優れ、撥水性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して耐吐出液保護膜１３が形成され、耐吐出液保護膜１３の液滴吐出側の面１ａに凹凸を形成し、耐吐出液保護膜１３の凹凸面に沿って撥水膜１４をさらに形成した。そして、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて連続して保護膜１２を設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。ノズル孔１１の内壁１１ｃはノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄを境にして親水化処理されている。耐吐出液保護膜１３はＤＬＣからなる膜であり、耐吐出液保護膜１３の凹凸は高さが数十ｎｍから数μｍであり、撥水膜１４はフッ素含有有機ケイ素化合物からなる膜である。 （もっと読む）

【課題】 圧電層に作用する熱応力を緩和しつつ、製品毎の圧電アクチュエータの特性のバラツキを抑えることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッド１０は、流路ユニット１１と振動板２と圧電層５とを有する。流路ユニット１１には、一面が開口した圧力室１７とこの圧力室１７に連通するノズル１９とが形成されており、圧力室１７の開口１７ａを塞ぐように振動板２が流路ユニットの一面に固着されている。この振動板２の流路ユニット１１とは反対側の面である表面側には、圧電層５が設けられている。このような構成を有するインクジェットヘッド１０は、振動板２の表面とは反対の裏面における、前記圧力室と対応しない部分に複数の凹部８を形成する凹部形成工程と、振動板２の前記表面側における、前記圧力室１７に対応する部分及び前記凹部８に対応する部分を含む領域に、圧電材料のエアロゾルを噴き付けることによって前記圧電層５を形成する圧電層形成工程と経て製造される。 （もっと読む）

【課題】 封止剤の塗布作業を容易かつ確実に行うことができ、且つ圧電ユニットと配線ユニットとの対向する面間の隙間を適切に封止してインク漏れによる電気的ショートを防ぐことができる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 インクジェットヘッド６が備える配線ユニット１２は、基材１２ａにおける圧電ユニット１１との対向面に積層されて開孔７０ａ，７０ｂを通じて給電端子５０を圧電ユニット１１側へ露出させつつ他の部分を覆う絶縁性の被覆層７０を有し、該被覆層７０には、圧電ユニット１１の外周縁に対応する部分が切り欠かれることによって、基材１２ａと圧電ユニット１１との間に、圧電ユニット１１の外周縁に沿って外方へ開口した封止剤導入溝７３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の温度上昇によってインク温度が上昇し、安定したインク滴吐出特性が得られなくなる。
【解決手段】液滴を吐出するノズル５が連通する液室６の壁面を形成するダイアフラム部３８を有する振動板３と、振動板３の島状凸部３８と接着剤２７で接合された圧電素子１２の駆動圧電素子柱１２ａとを備え、接着剤２７には、接着剤２７の主たる接着成分よりも熱伝導率の低い材料からなる粒子２８が含有されることで、振動板３の凸部３８と圧電素子柱１２ａの接合部との間に、接着剤２７よりも熱伝導率の低い材料粒子２８が介在している。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドの小型化および液体のリフィル性能を確保しつつ、吐出エネルギー発生素子を備えた素子基板と、配線基板と、を適確に接続する。
【解決手段】インク流路４と対向する側のヒータボード１の表面上において、ボンディングパッド９の形成位置は、ヒータ２の形成位置よりも低くする。 （もっと読む）

【課題】圧電体素子の電極の厚さを一定にすることができる液滴吐出ヘッド、及びこれを備えた画像形成装置を得る。
【解決手段】第１共通電極４６と第２共通電極４９の間に、絶縁層４７を設けることで、エッチングにより第２共通電極４９を形成する場合に、オーバーエッチングにより、第１共通電極４６が削られることが防止される。このため、第１共通電極４６及び第２共通電極４９の厚さが部分的に薄くなることはなく、第１共通電極４６及び第２共通電極４９の厚さを一定にすることができ、さらに、共通電極の抵抗分布が変わることで、液滴吐出性能が悪化するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室への接着剤の流れ出しを防止して振動板の変位量を安定させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射ヘッドの製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレート２０と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が形成されていると共に前記ノズルプレート２０と接着剤５３０によって接合された流路形成基板１０と、前記圧力発生室１２に相対向する領域に振動板を介して設けられて当該振動板を振動させる圧電素子３００とを具備し、前記流路形成基板１０には前記ノズルプレート２０との接合面に凹部５００が設けられ、該凹部５００は前記ノズルプレート２０側から前記凹部５００の内側に向かって傾斜する壁面５１３ａを有し、前記凹部５００の傾斜する壁面５１３ａには複数の突起５２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】吐出効率の向上を目的として液体吐出ヘッドの内部に設けられた可動部材の繰り返し応力に対する耐久性を向上させる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置並びに液体吐出ヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】ヘッド（１０）は、液体を吐出するノズル（１２）と、ノズルと連通する液室（１４）と、液室を構成する壁（１５）に設けられ、液室内の液体を加圧するヒータ（１６）と、ノズル側の端部が自由端（２０Ａ）となるとともにノズルと反対側の端部が固定され、ヒータが設けられる壁と自由端が所定の間隔をおいて対面する構造を有する可動部材（２０）と、を備え、可動部材は、第１の層（２４）の両面に第２の層（２６）及び第３の層（２８）が積層された構造を有し、第２の層及び第３の層は第１の層よりも小さい応力を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッドを製造するための基板加工の際に、圧力吸収室の膜を一体に形成することにより製造工程を短縮することができ、マニホールドの側壁方向に圧力吸収室を備えることにより、マニホールドの圧力変化を容易に吸収して圧力チャンバの間のクロストークを防止し、優れた印刷品質を得ることができるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、第１基板に、第１基板を貫通し、インクが流入されるインレット及び第１基板の一面に陥入される圧力チャンバを形成する段階と、第２基板に、インレットと連通するマニホールド、マニホールドに隣接し、膜により区画される圧力吸収室、及び圧力チャンバと連通し、第２基板を貫通するインク流路を形成する段階と、第３基板に、インク流路と連通するノズルを形成する段階と、第１基板、第２基板、第３基板を順次積層し接合する段階と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スルーホールの位置精度を向上させるとともに、スルーホール周辺の機械強度を高めること。
【解決手段】スルーホールの形成方法では、シリコン基板１０１の第１の面においてスルーホールが形成される領域の周囲に、シリコン基板１０１よりも不純物濃度が高い第１の不純物領域１０２ａを形成し、シリコン基板１０１の深さ方向において第１の不純物領域１０２ａに隣接する位置に、第１の不純物領域１０２ａよりも不純物濃度が高い第２の不純物領域１０２ｂを形成する。そして、前記第１の面の上に、エッチングストップ層１０３を形成し、シリコン基板１０１の前記第１の面に対向する第２の面の上に、開口部を有するエッチングマスク層１０４を形成する。そして、前記開口部を通して、少なくともエッチングストップ層１０３が露出するまで、シリコン基板１０１をエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】発熱素子などのエネルギ発生素子を形成した基板と、天板とを接合して液路を構成する液体吐出ヘッドにおいて、液路全体の寸法のばらつきを抑え、安定した吐出性能を発揮できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】上記基板となる部分が形成された第１基体に、エネルギ発生素子の位置とあった第１基準を設ける一方、天板となる部分が形成された第２基体に、液路とつながる共通液室端部の位置とあった第２基準を設け、これらに基づいて第１および第２基体の位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】フィルタをノズルの近傍に設けると、流体抵抗によりインクを供給しにくくなり、ノズルの部分のインク内圧が低下して、吐出不良が発生する。
【解決手段】共通液室１０を形成するフレーム部材１７には流路部材１との間に供給路形成部材３０を介在させることで、共通液室１０内に、インク供給口１９側と個別液室６側を隔て、かつ双方を連通する複数の供給路３１が形成された供給路形成部材３０を設け、共通液室長手方向両端部の供給路３１ａの開口面積を中央部の供給路３１ｂの開口面積よりも小さくしている。 （もっと読む）

【課題】外気圧の変動に影響されることなく、常に所望の圧力が発生できる静電アクチュエータ、液滴の吐出を適切に行うことのできる静電式液体噴射装置を提案することにある。
【解決手段】静電式のインクジェットヘッド１は、インクノズル２１に連通した圧力室６と、大気開放された大気圧室１２を備え、圧力室６の底面には振動板５が形成され、この振動板５と個別電極４３の間に電圧を印加することにより、振動板５が静電気力により振動して、インク液滴の吐出が行われる。密閉室としての振動室４１は圧力補償室４９に連通しており、圧力補償室４９の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板１６が形成されている。変位板１６が変位することにより、圧力補償室４９の容積が増減し、これに連通している各振動室４１の内圧が外気圧に一致するように調整される。 （もっと読む）

【課題】インク吐出口を開口させたインクジェットヘッドマニホールドのインク吐出面の加工精度を向上させることで、インクジェットヘッドによる印刷品質を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの研磨装置７１は、水平面に沿って研削面７６ａを回転変位させつつ自転する砥石７６と、後にオリフィスプレート３が接合されるインクジェットヘッドマニホールド２を固定するためのヘッド固定部材７３と、ヘッド固定部材保持機構７４とを備える。上記のヘッド固定部材７３は、固定したインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面２ｅを摺接させる状態で砥石７６の研削面７６ａ上に載置される。また、ヘッド固定部材保持機構７４は、インクジェットヘッドマニホールド２の固定されたヘッド固定部材７３の重心位置を、砥石７６における研削面７６ａ上の回転中心から偏らせた位置で、ヘッド固定部材７３を自転可能に保持する。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を効率的に行うことができない。
【解決手段】アクチュエータ基板１上に構成された振動板２０及びこの振動板２０に空隙１４を介して対向する個別電極１２を備え、複数の空隙１４、１４間の隔壁部１５の下側に、隔壁部１５の長手方向に沿って個別連通路１６を設けるとともに、個別連通路１６と空隙１４とを連通する個別連通路孔１７を設け、更に各個別連通路１６が連通する共通連通路１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】歩留まりよく均一に加工することができるエッチング方法、デバイスの製造方法および圧電体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】イオン源１３からイオンビームを載置台１２上の基板１に向けて、機能層ＦＬの所望のパターン形状に対応する位置に所定の強度および照射時間で照射する。これにより、基板１上の機能層ＦＬの金属膜と圧電体層の原子や分子等の構成物質がイオンビームの衝突により飛散して除去され、機能層ＦＬが所望のパターン形状にエッチングされる。置台１２は内部を流通する冷媒によって冷却され、載置台１２に載置された基板１および基板１上の機能層ＦＬは載置台１２によって冷却されている。このように、機能層ＦＬを冷却することで、プラズマ化した反応ガスに含まれるＣｌ（塩基）が圧電体層を構成するＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）と反応して圧電体層に拡散する速度を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】誘電体層内の各部分におけるチタン含有率のばらつきが抑制され特性が良好な誘電体層を有する圧電素子の製造方法を提供すること
【解決手段】本発明にかかる圧電素子１００の製造方法は、基体１０の上方に下部電極２０を形成する工程と、下部電極２０の上方に複数の原料層が積層された前駆体層を形成する第１工程、および、前駆体層を結晶化させて層状部３１１を形成する第２工程の組を、１または複数回行い誘電体層３０を形成する工程と、誘電体層３０の上方に上部電極４０を形成する工程と、を含み、誘電体層３０は、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなり、前記Ａサイトは、鉛（Ｐｂ）を含み、前記Ｂサイトは、ジルコニウム（Ｚｒ）およびチタン（Ｔｉ）を含み、複数の原料層の平均チタン含有率は、下層の原料層の平均チタン含有率ほど小さい。 （もっと読む）

【課題】液体の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口ごとのばらつきが低減した液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】加圧加熱によってノズルプレート３４が膨張した状態で、ノズルプレート３４１に形成されたノズル開口３５１の位置と、樹脂フィルム接着材３２１Ｂに形成されたノズル開口３５１に対応した孔３２１の位置が合い、加熱圧着できる。温度が低下してノズルプレート３４，３４１が収縮してもノズルプレート３４，３４１と樹脂フィルム接着材３２Ｂ，３２１Ｂとは加熱圧着されているのでノズル開口３５，３５１と孔３２０，３２１との位置はずれない。したがって、インクの流路が確保され、インクの噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口３５ごとのばらつきが低減した記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ビームの分岐数を増やし、かつ０次光による影響を抑制するという相反する要求を両立した高スループットの製造技術を提供すること。
【解決手段】(１）基板(20)を、第１の領域(21)がレーザー光の光軸(a)と交わらず、前記第１の領域と隣り合う第２の領域(22)が前記光軸と交わる状態に配置すること、（２）前記レーザー光を光学素子に入射させることにより、前記光軸上に位置する０次ビーム(L0)と、各々が前記０次ビームよりも相対的に高いエネルギーを有しており前記光軸から離れて位置する複数の分岐ビーム(L1)と、を発生させ、前記複数の分岐ビームを前記第１の領域に照射し、かつ前記０次ビームを前記第２の領域に照射すること、を含み、前記複数の分岐ビームの各照射位置に対応して前記基板に前記複数の貫通孔(23)が形成される、微細構造体の製造方法である。 （もっと読む）