【課題】本発明は、加工対象物の厚さ方向における集光部の位置によらず適切な改質領域を形成することが可能であって、加工対象物の厚さ方向の全面にわたって略均一な切断面が得られるレーザ加工方法、レーザ加工装置、基材の分割方法、電気光学装置の製造方法、半導体装置の製造方法、及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるレーザ加工方法は、加工対象物の内部にレーザ光を集光させて改質領域形成し、形成された改質領域を利用して、加工対象物を分割するレーザ加工方法であって、加工対象物へのレーザ光の入射面から集光部までの距離に応じて、集光部におけるレーザ光の集光状態を、予め規定されており、少なくとも当該集光部を含む領域に改質領域を形成可能な所定の集光状態に調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッドの発熱体の集積度を向上させる。
【解決手段】 共通液室上に梁を形成し、該梁上および基板上に発熱体を形成する。エッチング誘導孔を形成し、結晶異方性エッチングを実施することにより、前記梁を形成する。 （もっと読む）

【課題】 埋め込み配線を作製する際の平坦化処理時に実施する研磨により、埋め込み配線が受けるディッシング量を最小限に抑止し、しかも、研磨する必要のある金属の量も最小限に留める。
【解決手段】 幅の広い埋め込み配線形成予定部に、島状にディッシング防止パターンを設け、さらに、その金属充填を２段露光を使用したパターン電気めっきとする。 （もっと読む）

【課題】 埋め込み配線を作製する際のディッシングを最小限に防止する。
【解決手段】 幅の広い埋め込み配線部分に、島状にディッシング防止パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】良好な特性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基体と、基体の上方に形成された下部電極と、下部電極の上方に形成され、ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層と、圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含み、圧電体層は、擬立方晶の表示で（１００）に配向しており、圧電体層の下面に水平な方向（Ｘ方向およびＹ方向）のペロブスカイト型酸化物の結晶１０の格子定数ａ，ｂは，圧電体層の下面に垂直な方向（Ｚ方向）のペロブスカイト型酸化物の結晶の格子定数ｃよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】スパッタ法などのエピタキシャル成長法或いは配向成長法よって好ましい圧電素子を作製する圧電素子製造方法及び液体吐出ヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０の上面１２に下部電極１４を成膜し、下部電極１４上にスパッタ法で圧電体膜１６を成膜し、圧電体膜１６の上面に上部電極１８を成膜する。その後、配線層が形成され、フレキシブルケーブル３４が接合される。この状態で、抗電界以上のＡＣ電界を印加した後に、下部電極１４をグランドとして上部電極１８に正電圧を印加して圧電体膜に電界を印加すると、下部電極１４から上部電極１８に向かう方向の圧電体膜１６の分極方向を反転し、下部電極１４をグランドとして上部電極１８に正電圧を印加して圧電素子２０を吐出方向に変形させることが可能となる。高温及び高圧をかけられないものが存在しても、圧電体膜の分極反転処理を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】溶解可能な樹脂により吐出液の流路パターンを形成し、被覆層を形成した後に溶解可能な樹脂を溶出する液体吐出ヘッドの製造方法において、流路壁の形状や厚さ分布の悪化を防止可能な簡便な方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が形成された基板と、この素子を駆動するための信号を伝達するための配線と、液体を吐出するための吐出口と、吐出口に連通する流路とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、基板上に溶解可能な樹脂により樹脂層を形成し、樹脂層に配線を形成するための第１のパターンを形成し、第１のパターンを利用して基板上に配線を形成し、樹脂層に流路を形成するための第２のパターンを形成し、第１及び第２のパターンが形成された樹脂層を被覆する被覆層を形成し、被覆層に吐出口を形成し、樹脂層を除去する。 （もっと読む）

【課題】吐出能力を確保しつつ、安定した吐出特性を得ることができ、また、ヘッドの高密度化及びクロストークの低減を図ることが可能な液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するための複数のノズル孔１１と、各ノズル孔１１に連通して設けられ液滴に圧力を加えるための圧力室２１と、圧力室２１に液滴を供給する液滴供給路と、液滴を吐出するための吐出圧力を圧力室２１に発生させる圧力発生手段とを有する液滴吐出ヘッドにおいて、複数のノズル孔１１を１列のノズル列構成とし、圧力室２１を、ノズル列におけるノズル孔１１の一個おきにノズル列に対して左右に分けて配置し、且つ、圧力室２１の幅の中心線上に、その圧力室２１に対応するノズル孔１１の中心が位置するように配置した。 （もっと読む）

【課題】多ノズル化した液滴吐出ヘッドにおいて、液滴吐出用アクチュエータの駆動回路
の時定数を小さくして、液滴吐出動作の遅れを低減する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔１６が形成されたノズル基板５と、底壁が電
極として作用する振動板１１となっていて、液滴をノズル孔１６から吐出させる複数の吐
出室１２が形成されたキャビティ基板３と、第１の溝６ａ内に形成され各振動板１１にギ
ャップを隔てて対向し各振動板１１を駆動する複数の個別電極７、複数の個別電極７の駆
動を制御するドライバＩＣ２０、および第２の溝６ｂ内に形成されドライバＩＣ２０駆動
用の電力または信号を外部から入力する入力配線２５を有した電極基板２とを備え、電極
基板２の第２の溝６ｂが第１の溝６ａより深く形成されていて、入力配線２５の導体厚さ
が個別電極７の厚さより厚くなっている液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】従来技術では困難であった一方の開口部から他方の開口部まで同一径で、径が５０μｍ以下の微細径貫通孔を形成することを可能とする。また、孔の内部を外部から視認できるようにする。
【解決手段】本発明の一実施形態によれば、第１の樹脂基材１３の一平面に所望の微細径の金属線１９を所望のピッチで配設し、前記金属線１９が配設された第１の樹脂基材１３の一平面と、前記第１の樹脂基材と同じ材質からなる第２の樹脂基材１４の一平面とを、前記第１および第２の樹脂基材の材質を主成分とする接着剤を介して接着して一体化し、一体化された前記第１および第２の樹脂基材１５を所望の厚さに切断し、一体化された前記第１および第２の樹脂基材１７をエッチング液に浸漬して前記金属線１９を溶解すること、を備えることを特徴とする微細径貫通孔を有する樹脂基材１８の製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつノズル間の圧力干渉を防止することができる液滴吐出ヘッド及びその製造方法を得る。
【解決手段】底壁が振動板１３を形成し、液滴を溜めておく吐出室１１となる吐出室１１用凹部１１ａが複数形成され且つ各吐出室１１に共通のリザーバ１２となる第１リザーバ凹部１２ａが形成されたキャビティ基板１と、振動板１３に対向し、振動板１３を駆動する個別電極２２が形成された電極ガラス基板２と、吐出室１１内の液滴を吐出するノズル孔１１が複数形成されたノズル基板３とを備え、ノズル基板３と電極ガラス基板２との間にキャビティ基板１が挟んで接合された液滴吐出ヘッドであって、キャビティ基板１の第１リザーバ凹部１２ａと反対側の部分にはザグリが形成され、第１リザーバ凹部１２ａの底面が圧力を緩衝するダイヤフラム１５となっている。 （もっと読む）

【課題】 梁を記録ヘッド内共通液室に形成し、インクジェット記録ヘッド基板の変形を防止する。
【解決手段】 共通液室と、インクを加熱して気泡を発生させインクを突出させる発熱抵抗体を有する基板と、該基板上に設けられた吐出口を有するオリフィスプレートとを備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、該基板に基板を補強する金属よりなる梁が設けられていること特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】液体のリークが発生しにくく、しかも、プレート間からはみ出た接着剤が貫通孔の内壁面に付着しにくくする。
【解決手段】ノズル孔３が形成されたノズルプレート１３０と、ディセンダ孔５１が形成されたカバープレート１２９とが積層されている。ディセンダ孔５１の内壁面７０には、カバープレート１２９の厚み方向に細長い８つの溝７１が形成されている。溝７１は、ノズルプレート１３０から離れるほど幅の狭い先細形状を有している。溝７１は、カバープレート１２９とノズルプレート１３０との積層工程において両プレート間からはみ出した接着剤を毛管現象によって収容する。 （もっと読む）

【課題】異なる噴射特性が要求される２種類の液滴を噴射する構成のそれぞれに対して実際の特性を評価して、最適な駆動信号を決定する。
【解決手段】インクジェットプリンタは、ブラック及びカラーインクを噴射するノズルとノズルへのインク流路とを有する流路ユニットと、インク流路内の液体をノズルから噴射するための駆動部を有する圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータに駆動信号を印加するドライバＩＣとを備えている。このインクジェットプリンタの製造方法は、流路ユニットを製造し、圧電アクチュエータを製造する。ブラック及びカラーインクのそれぞれに対してノズルの径、インク流路の流路抵抗及び駆動部の静電容量を測定する。これらの測定結果からノズルランク、流路ランク及び静電容量ランクを決定し、これらのランクから駆動信号のパルス波形を決定する。 （もっと読む）

【課題】低コストでノズル孔加工ができるインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】フィルム状の樹脂材料にインクジェット法を用いたウエットエッチング法によりノズル孔を形成するエッチング工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔から吐出される液滴の飛翔方向性を含む液体吐出特性を改善する。
【解決手段】ノズル孔３が形成されたノズルプレート１３０の吐出面３１を光硬化性樹脂３４で被覆すると共にノズル孔３を光硬化性樹脂３４で充填する（ｂ）。そして、ＵＶ光を照射することによって、光硬化性樹脂３４が硬化した柱状硬化部３５を形成する（ｃ）。未硬化の光硬化性樹脂３４を除去した後（ｄ）、柱状硬化部３５が残された状態で、吐出面３１上に、ニッケルメッキ膜１５１及び撥水メッキ膜１５２を順次形成する（ｅ，ｆ）。その後、ノズルプレート１３０とカバープレート１２９とを接着剤を介して積層してから（ｇ）、柱状硬化部３５を除去する（ｈ）。 （もっと読む）

【課題】ノズル部材と流路部材とを一体形成したものは滴吐出効率、滴吐出性能の安定性が十分でない。
【解決手段】液体を吐出する複数のノズル４を有するノズル部材部分１Ａと、各ノズル１０４が連通する液室６を形成する流路部材部分１ＢとをＮｉ電鋳で一体形成するとき、ノズル部材部分１Ａを形成するときには低電流密度条件で電鋳を行うことで電鋳膜の結晶粒の粒径を緻密にして高硬度部材とし、流路部材部分１Ｂを形成するときには高電流密度条件で電鋳を行うことで電鋳膜の結晶粒の粒径が相対的に大きくしている。 （もっと読む）

【課題】疎水性のインク噴射面を有する印刷ヘッドを製造する優れた方法を提供する。
【解決手段】上記の方法は、（ａ）複数のノズルチャンバと、インク噴射面を少なくとも部分的に画定する相対的に親水性のノズル表面とを備えた、部分的に製造された印刷ヘッドを用意するステップと、（ｂ）ノズル表面に、アッシングによる除去に対して抵抗性を有する相対的に疎水性のポリマー材料の層を付着させるステップと、（ｃ）ノズル表面内に複数のノズル開口を画定するステップとを含み、これによって、相対的に疎水性のインク噴射面を有する印刷ヘッドを製造する。ステップ（ｂ）と（ｃ）は任意の順序で実行することができる。 （もっと読む）

【課題】 下部アドレッシング構造の圧電アクチュエータの信頼性を向上させること。
【解決手段】 絶縁性基板３１の上面を、凹部３６及び凸部３７を有する凹凸面に加工する工程（Ａ）、絶縁性基板３１の凹部３６に個別電極として下部電極膜３２を成膜して、下部電極膜３２の上面と絶縁性基板３１の凸部３７の上面とで段差のない平坦面を形成する工程（Ｂ）及び（Ｃ）、平坦面上に圧電体膜３３を成膜する工程（Ｄ）、圧電体膜３３上に上部電極膜３４を成膜する工程（Ｅ）を含む。基板の一方の面に、凹凸膜を成膜し、この凹凸膜の凹部に下部電極膜３２を成膜して、下部電極膜３２の上面と前記凹凸膜の凸部の上面とで段差のない平坦面を形成してもよい。また、基板上の下部電極膜３２が形成されていない領域に、下部電極膜３２の厚みと同じ厚みを有する段差吸収膜を成膜して、この段差吸収膜の上面と下部電極膜３２の上面とで段差のない平坦面を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔外周部に段差を有し、かつ、撥液性を有するインクジェットヘッドを簡単かつ低コストに製造する方法、当該製造方法により製造されたインクジェットヘッドおよび当該インクジェットヘッドを備える電子機器を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造方法は、ノズルプレート１１の液滴吐出側面１１２に第１のプラズマ重合膜１７１を形成する工程と、第１のプラズマ重合膜１７１のノズル孔１１１の外周部に対応する部位１７３ａにマスク１８を設置し、当該マスク１８以外の第１のプラズマ重合膜１７１に第２のプラズマ重合膜１７２を形成する工程と、マスク１８を除去して当該マスク１８の設置部位に段差を形成する工程と、少なくとも段差を覆うように撥液膜を形成する工程とを有する。 （もっと読む）