【課題】液滴吐出ヘッドでは、液滴の微細化がさらに進むと、空気抵抗などにより液滴を目標位置に正確に飛ばすことが難しくなり、液滴の直進飛行安定性を十分に確保することが困難となるという課題がある。
【解決手段】圧力室に接続され、液滴を吐出する貫通部が形成されるノズルプレート１０と、ノズルプレート１０の貫通部の内側に位置する、プレスなどの工程で製造された液滴誘導部１３を備える液滴吐出ヘッドを、液滴吐出装置に搭載する。液滴吐出ノズルプレート１０内に液滴誘導部１３が設けられているため、液滴は液滴誘導部１３に導かれるように流れる。そのため液滴の直進飛行安定性を確保することが可能とする液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で効率良く圧電素子及び圧電素子周辺を加熱し、安定した液滴の吐出の可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電素子６０と圧電素子６０の一方の側に設けられる上部電極６４と圧電素子６０の他方の側に設けられる下部電極５８とを有する圧電素子６０と、一方の側に圧電素子６０の下部電極５８が設けられるＴＥＯＳ膜５４と、ＴＥＯＳ膜５４の他方の側に設けられるＬＯＣＯＳ膜４４と、ＴＥＯＳ膜５４とＬＯＣＯＳ膜４４との間に形成される第１の電気配線５２と、第１の電気配線５２と下部電極５８とを接続する第２の電気配線５６と、を有する圧電素子基板７１に、発熱抵抗体３７が設けられたインクジェット記録ヘッド３２とする。そして、それを備えたインクジェット記録装置１０とする。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れた非鉛系の圧電体を用いた圧電体素子、該圧電体素子を有する液体吐出ヘッド及び超音波モーターを提供する。
【解決手段】基板上に、圧電体及び該圧電体に接する一対の電極を有する圧電体素子であって、前記圧電体が、式（１）
（Ｂｉ，Ｂａ）（Ｍ，Ｔｉ）Ｏ₃ （１）
（式中、Ｍは、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｓｃ、Ｉｎ、Ｇａ、Ｙｂ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｎｂ、Ｔａ及びＷから選ばれる１種の原子又は２種以上の原子の組合せを示す。）で表されるペロブスカイト型酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】洗浄時に密着層がダメージを受けない液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出するための吐出口と、吐出口と連通している個別液室と、個別液室内の液体に加圧する圧力発生素子と、一対の電極とを備え、少なくとも一方の電極と圧力発生素子との間に密着層を有し、密着層の外周部分は密着層の中央部分とは異なる材質からなる、液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】集束超音波による液滴吐出ヘッドにおける液面の開口部を広くし、液体の蒸発および漏洩を抑制し、しかも高速の液滴吐出を可能にする。
【解決手段】液体１４を保持する液体保持手段１４ｂと、液体と音響的に接続した圧電素子１１を備える超音波発生手段と、圧電素子から発生する超音波を集束させる超音波集束手段１２と、液体保持手段の一部に設けられ、集束された超音波が液体の液面から液滴を吐出する吐出口１６と、を備えた液滴吐出ヘッド２０において、吐出口１６は網目構造体に形成され、超音波の波長をλとすると網目厚さｄが（２／３）λ未満および網目開口幅ｗが（１／２）λ以上になっていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】絞り孔に接着剤が流れ込みにくくする。
【解決手段】インクジェットヘッドは、９枚のプレートが接着剤で接着積層された流路ユニットを有している。これら９枚のプレートに含まれるアパーチャプレート２４は、大気に連通しており、隣接した４つのアパーチャ列１１２ａ〜１１２ｄを構成するアパーチャ１２と当該アパーチャ１２に隣接した連絡孔１２ｄを囲うような形状を有する溝６５ｃと、４つのアパーチャ列１１２ａ〜１１２ｄを構成するアパーチャ１２に囲まれた位置に形成された溝６５ｅとを有している。アパーチャプレート２４に隣接するベースプレート２３は、隣接する３つの列１２３ａ，１２３ｂ間に形成された溝７５ｅ，７５ｆを有している。溝７５ｅ，７５ｆは、溝６５ｃ，６５ｅの一部とそれぞれ対向しており、アパーチャプレート２４のこの対向領域に貫通孔６７，６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル圧電素子ギャップを精密に制御して印字の安定性をより向上し高密度記録を行うことができる、ホットメルトインクを用いたインクジェットなどに用いる液滴噴射装置の製造方法、液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開孔１０を有するノズル形成部材１と、該ノズル形成部材１と所定の間隔のノズル圧電素子ギャップ１４をもって前記ノズル開孔１０の各々と対向してインク中に設けられた複数の圧電素子を有する液滴噴射装置の製造方法であって、少なくとも、ノズル形成部材１にノズル開孔１０を形成する工程、ノズル形成部材１上に犠牲層３を形成する工程、前記犠牲層３上に形成されかつノズル形成部材１上に固定端１２が接合された圧電素子を形成する工程、前記犠牲層３をエッチング除去しノズル圧電素子ギャップ１４を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつノズル間の圧力干渉を防止することができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法等を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０は、ノズル基板１と、吐出室３１を有するキャビティ基板３と、リザーバ２３となるリザーバ凹部２３ａを有するリザーバ基板２とを少なくとも備え、リザーバ凹部２３ａの内面全体とリザーバ凹部２３ａの開口の周囲にリザーバ凹部２３ａよりも深さが浅く形成された浅い凹部２３ｃの底面とに、成膜により形成された樹脂薄膜１１１を有し、浅い凹部２３ｃの底面に成膜された樹脂薄膜１１１は、リザーバ凹部２３ａを囲むように周状に切断されており、リザーバ凹部２３ａの底面に成膜された樹脂薄膜１１１の一部は圧力変動を緩衝するダイアフラム部１００となっている。 （もっと読む）

【課題】ばらつきの少ない、寸法精度の高いオリフィスプレートが作製でき、これを用いて吐出安定性の良好な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出させるための複数のノズル１０３と、該ノズル１０３の各々と連通する複数の連通部と、を有し、複数の個別液室と連通する共通液室１０５と、前記個別液室と前記共通液室１０５とを繋ぐ複数の供給口と、の少なくとも一方を更に有する液体吐出ヘッドに用いられるオリフィスプレート１０６であって、該オリフィスプレート１０６は、第１及び第２のＳｉ層間にＳｉＯ₂層１０１を有するＳＯＩ基板からなり、前記ノズル１０３は、前記ＳＯＩ基板における第１のＳｉ層１００に層厚方向に形成され、前記共通液室１０５と前記供給口の少なくとも一方と、前記連通部とは、前記第２のＳｉ層１０２に層厚方向に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異物による目詰まり等の吐出不良を確実に防止することができ、歩留まり及び信頼性を向上してコストを低減する。
【解決手段】絶縁膜５３を貫通部５１を封止するように形成する工程と、流路形成基板に圧電素子を形成すると共に、絶縁膜５３上に隔離層１９０を形成して突出部１９１を形成する工程と、リザーバ形成基板３０を流路形成基板に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングすることにより、圧力発生室及び連通部１３を形成すると共に、絶縁膜５３を露出して突出部１９１を露出する工程と、連通部１３側に露出された絶縁膜５３を除去する工程と、流路形成基板の前記圧力発生室、連通部１３の内面及び隔離層１９０上に、耐液体性を有する材料からなる保護膜１６を形成する工程と、隔離層１９０上の保護膜１６を剥離して除去する工程と、隔離層１９０を除去することによりリザーバ部３１と前記連通部１３とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡易な工程で製造できるインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インクが供給されるインクフィードホール１１１が形成された基板１１０と、基板上に積層され、インクフィードホールから供給されたインクが充填される複数のインクチャンバ１２２が形成されたチャンバ層１２０と、チャンバ層上に積層され、複数のビアホール１３５及びインクが吐出される複数のノズル１３２が形成されたノズル層１３０と、を備え、インクフィールドホールは基板を貫通し、ノズルはノズル層を貫通することにより形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータ部から上下電極を高低差なしに引き出し、配線基板の接続を不良なく行うことのできる構造を提案し、高集積化されたインクジェットヘッドに欠陥なく駆動回路からの信号を供給して高精細な画像を形成できるインクジェットヘッド、ならびにインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 振動板４上に圧電アクチュエータ部８を設け、圧力発生室２に対応する領域外の振動板４上に接合層１０の厚膜部１１が設けられ、圧電層６表面から接合層の厚膜部１１の一部にまたがって表面が平坦な平坦領域３１を有し、上電極７は平坦領域３１上を介して厚膜部１１上へ引き出され、圧電アクチュエータ部８から接合層厚膜部１１に至る領域の一部に、接合層１０の厚さが振動板４の面内方向に漸増する接合層傾斜部１２を設けられ、下電極５は、接合層傾斜部上１２を介して厚膜部１１上へ引き出される転写によるインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】インクのリフィル速度を落とさずに、サテライトを低減する。
【解決手段】 本発明のインクジェット記録ヘッドは、平板形状のヒータ１と、発泡室１０と、発泡室１０にインクを導くための供給路９と、発泡室１０に連通する吐出口４がヒータ１と対向する位置に形成された流路構成基板３とを有する。ヒータ１は、熱エネルギを発生する、吐出口４に対面する第１の面１ａおよびその反対側の面である第２の面１ｂを有する。また、ヒータ１は、第１の面１ａから吐出口４が開口している発泡室１０の天面までの距離が第２の面１ｂから発泡室１０の底面までの距離よりも短くなる位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】広角のテーパ形状を有するノズルを形成でき、且つ、吐出安定性を向上できること。
【解決手段】（Ｂ）透光性基板２２の一方の面に、Ｒ形状の開口部５１ｂを有する非透光性のＲ形状開口層３２を形成し、（Ｃ）透光性基板２２のＲ形状開口層３２が形成されている面に、感光性材料２４を付着させ、（Ｄ）透光性基板２２上のＲ形状開口層３２をマスクとして用いて、透光性基板２２の裏面に対して斜め方向から光を入射させつつ、透光性基板２２を回転させて、感光性材料２４を露光することにより、感光性材料２４中にテーパ形状の感光部２５を形成する。その後、感光性材料２４を現像して、テーパ形状の感光部２５を残し非感光部を除去し、テーパ形状の感光部２５を型として用いて、Ｒ形状開口層３２上に、Ｒ形状の開口部５１ｂに連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成し、テーパ形状の感光部２５および透光性基板２２を除去する。 （もっと読む）

【課題】低電圧で、大きい変形量を得る。
【解決手段】ヘッド駆動時において、インクを吐出する圧力室１４Ａａにおいて、第２の領域Ｓ２に駆動電圧を印加して第２の領域Ｓ２を圧力室１４Ａａとは反対方向に凸に変形させる第１の駆動工程を行った後、第２の領域Ｓ２に駆動電圧を印加せずその第１の領域Ｓ１に駆動電圧を印加して第１の領域Ｓ１を圧力室１４Ａａの方向に凸に変形させる第２の駆動工程を行う。一方、インクを吐出しない圧力室１４Ａａにおいて、第２の領域Ｓ２に駆動電圧を印加して第２の領域Ｓ２を圧力室１４Ａａとは反対方向に凸に変形させるとともに、第１の領域Ｓ１に駆動電圧を印加して第１の領域Ｓ１を圧力室１４Ａａの方向に凸に変形させる第１の駆動工程を行った後、第１の領域Ｓ１および第２の領域Ｓ２にともに駆動電圧を印加しない第２の駆動工程を行う。 （もっと読む）

【課題】同一基板に形成された複数の圧電素子と温度検知素子を備え、かつ小型化、コストダウンしたアクチュエータを提供する。
【解決手段】基板の表面に複数の変位素子が設けられ、該変位素子が各々独立して作動するアクチュエータ６と、前記基板に設けられた温度検知素子７と、該アクチュエータ６に接する導電性液体９が満たされる液体加圧室１１と、該液体加圧室１１に連通する液体吐出口とを具備し、前記基板に設けられた変位素子を変位させ、前記液体加圧室１１の容積を増減させるによって前記導電性液体９を前記液体吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記温度検知素子７が前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室１１に満たされる前記導電性液体９と、それらに挟まれた圧電体と、で構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動板のスリットと桁部のスリットとについて高精度の位置合わせの必要がなく、さらに位置ずれの大きい場合でもそれらの接合部分の剛性に差が発生せず、さらに隣接クロストークを大幅に低減する。
【解決手段】複数枚のプレート材および振動板１５が接合されて流路ユニット１１が構成され、前記プレート材のうち前記振動板に隣接するキャビティプレートに、圧力室１４Ａａとなる複数のキャビティが配列状態で形成され、振動板１５の上側に圧電層１２Ａが形成されている。圧力室１４Ａａの配列方向において隣り合う圧力室１４Ａａの間に位置する桁部１４Ａｂは、振動板１５側の部分の幅寸法Ｗ１より反振動板側の部分の幅寸法Ｗ２が小さく形成されるとともに、振動板１５側の部分の中央部に、凹溝部１４Ａｂａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】積層体の表面に孔の開口が形成されている場合にも、かかる積層体のプレート同士を拡散接合によって均等に接合する。
【解決手段】積層体１０５の下面に共通インク室２３が開口している。このような積層体１０５に含まれている金属板同士を拡散接合する際に、加圧用治具５１及び５２を用いて上下から圧力を印加する。加圧用治具５２は基部５４と、基部５４から突出した突出部５３とを有している。加圧用治具５２が積層体１０５の下面に当接する際、突出部５３が共通インク室２３内に進入し、突出部５３の上面が共通インク室２３の天井面に当接する。これによって、積層体１０５内の金属板に均等に圧力が印加されるので、加圧接合によって均等に金属板が接合される。 （もっと読む）

【課題】圧力室（キャビティ）間の桁部において隣の圧力室へのリークを検査する。
【解決手段】キャビティユニットは、圧力室１４Ａａが開口するキャビティプレート１４Ａと、このキャビティプレート１４Ａの圧力室１４Ａａの開口を密閉する振動板１５およびベースプレート１４Ｂとを備える。キャビティプレート１４Ａと振動板１５との間およびキャビティプレート１４Ａとベースプレート１４Ｂとの間に、隣接する圧力室１４Ａａを区画する桁部１４Ａｂに対応して検査溝３１ａが形成され、各検査溝３１ａに、空気の供給が可能である共通の連通溝３２ａがそれぞれ連通している。 （もっと読む）

【課題】振動板部材のようにダイヤフラム部分や共通液室のダンパー部を構成する厚みの薄い部分がある部材に製造工程中でブリッジ部に有する構成としたとき、ブリッジ部を除去するときのブリッジ部周辺の変形が顕著になって接合不良を生じることがある。
【解決手段】ノズル板、流路部材２、振動板部材３を積層して接合することで液室ユニットが構成され、振動板部材３は、製造工程中で外周にブリッジ部６１を４箇所に有しており、このブリッジ部６１を除く振動板部材３の外形形状と流路部材２の外形形状は平面的に見て略同じである。 （もっと読む）