【課題】プレートを積層して形成される液滴吐出ヘッドにおいて、プレートの接合不良を防止する。
【解決手段】各個別通気路６０及び共通通気路６２とダンパプレートとの間に位置で、ダンパプレートを支持する支持上壁６３を、ダンパ室形成プレート３４に形成する。これにより、プール形成プレートと、ダンパプレートと、ダンパ室形成プレート３４とを接合する際に、各個別通気路６０及び共通通気路６２が形成された部分においても、十分に加圧することができ、各プレートの接合不良が生じない。 （もっと読む）

【課題】平滑な振動板を形成する。
【解決手段】周溝７２を形成することにより、圧力室５０となる空間の中央部に支柱７９を残す。そして、周溝７２に充填材７８を充填し、支柱７９及び充填材７８の表面に振動板を形成する。充填材７８は、支柱７９によって、支持されるので、振動板４８の形成後に熱処理を伴う工程が行われた場合であっても、その熱処理による縮み変形を起こしにくく、また、その他の変形を起こしにくくなり、シリコン基板７０の表面の平滑性や平坦性をより保てる。このように、支柱７９と充填材７８の両方を用いることにより、シリコン基板７０上に形成される振動板４８の平滑性や平坦性も向上する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子のクロストークを抑制することができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】 液体吐出装置１は、圧電素子２とキャビティ部３と変位伝達部４とを備えている。圧電素子２は、圧電体５と、この圧電体５を挟んで対向する複数の内部個別電極６及び内部共通電極７とを複数層にわたって有している。キャビティ部３は、液体１１を収容するための複数の液室１２を有している。これらの液室１２は、各内部個別電極６に対応する位置に形成されている。変位伝達部４は、圧電素子２とキャビティ部３との間に配置され、圧電体５の積層方向の変位を対応する液室１２内の液体１１に伝える。変位伝達部４は、各液室１２の底面を形成する底板部１８と、底板部１８と圧電素子１との間に配置された複数の壁部１９とを有している。各壁部１９は、各内部個別電極６に対応する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 メッキバンプとＴＡＢテープなどのリードとを電気的に接続するためのボンディングを行うときに、メッキバンプとリードにボンディングツールで圧力（衝撃）をかけるため、メッキバンプとオーバーラップしている保護膜の部分に衝撃が加わり、保護膜が破損してしまう場合があった。
【解決手段】 メッキバンプを保護膜の開口部つまり電極パッド部より狭い領域に形成し、メッキ下地層を保護膜の開口部より広い領域に残す。 （もっと読む）

【課題】圧電素子群の電極と配線部材の端子とを接合する接合部の接合強度を十分に確保し、組立ての際に配線部材の剥離を防止するができる圧電素子ユニットの製造方法、圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】圧電素子群２１における固定板２２を固定する面とは反対側となる配線接続面３８に半田接合領域４０を設定すると共に、該半田接合領域４０よりも圧電素子群２１の後端側にレジスト塗布領域４２を設定し、半田接合領域４０にフレキシブルケーブルの個別配線端子を半田接合する際に、レジスト塗布領域４２に塗布したソルダーレジストを溶融させて、フレキシブルケーブルを配線接続面３８に接合した。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのヘッド部材とノズルプレートの接着での接合に際しヘッド部材とノズルプレートの位置合わせが容易にでき、且つ接着剤のノズルの吐出口への流れ込みを容易に検出可能とし不具合品の排除を容易にできる、高品質で生産性の高いインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ノズルプレートは、複数のノズルの列の両端に少なくとも一か所ずつのダミーノズルを有し、前記ダミーノズルは貫通していない孔であり、且つダミーノズル直径をｒ、インクチャネルの前記ノズルの並び方向の幅をａ、インクチャネル壁の幅をｂとしたとき、ａ＜ｒ＜（ａ＋ｂ）の関係であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を複数のチップに良好に分割することができ、その際に、各チップの割れや割れカスがチップに付着するのを防止することができる基板分割方法を提供する。
【解決手段】基板のチップとなる各領域１０１の境界線上に基板の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射して、レーザ光照射側の表層のみに連結部１０２を残して基板に所定幅で脆弱部１０３を形成し、その後、この基板に外力を加えることにより脆弱部に沿って基板を分割して複数のチップとする。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の形成が基板材料に依存することなくガラス基板にも適用でき、低コストのもとで静電アクチュエータの駆動の安定性および駆動耐久性の向上を図る。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて該振動板６に変位を生じさせる駆動手段とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記個別電極５の対向面に、トリメトキシシランを原料ガスとして用いたシリコン酸化膜からなる絶縁膜７を設ける。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ヤング率の変動にほとんど影響を与えず応力緩和できるため、構成膜の膜厚比を変えることなく内部応力のバランスを変更でき、高精度、高密度、高い信頼性、かつ高い量産性を持った静電型アクチュエータを得ることができ、比較的容易に低電圧でインク吐出効率が高く、高画質印字が可能となる。
【解決手段】 本発明の静電型アクチュエータは、静電力で変位する振動板と、該振動板に犠牲層除去孔を用いて犠牲層プロセスで形成された空隙を介して対向する下部電極とを有している。そして、本発明の静電型アクチュエータにおける振動板は、構成元素以外の元素をイオン注入され、残留応力が緩和されている応力調整膜を、少なくとも１層含む積層膜で構成されていることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッド、効率的な液滴吐出ヘッドの製造方法及びこの液滴吐出ヘッドを備えた耐久性及び吐出性能に優れた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】プレート積層体Ｓの積層方向に隣接する任意の２枚の流路プレートである第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂのそれぞれが、プレート積層体Ｓの積層方向に突出した突状部（バリ、変形）１７に対向する領域に、突状部１７との当接を回避し得る逃げ溝１８を有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】撥水膜形成前の液滴吐出面への酸化膜形成を、安価な設備で、一度に大量に処理することができ、製造コストを下げることができるノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】２段形状で連通されたノズル孔１１をエッチング加工によってシリコン基材１００に形成する工程と、シリコン基材１００の大径孔１１ｂ側の面１００ａに支持基板１２０を貼り合せる工程と、シリコン基材１００の小径孔１１ａ側の面１ｂを薄板化して小径孔１１ａの先端部を開口し薄板化加工面１ｂを形成する工程と、薄板化加工面１ｂに湿式酸化洗浄で酸化膜１０４ａを形成する工程と、薄板化加工面１ｂの酸化膜１０４ａ上に撥水膜１０６を形成する工程と、支持基板１２０をシリコン基材１００より剥離する工程とを含むものである。この場合、湿式酸化洗浄がオゾン水洗浄よりなるものである。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の倒れ、チッピングなどが生じることなく、歩留まり良く、多数のノズルを有する長尺圧電アクチュエータを得ることができない。
【解決手段】圧電アクチュエータ２０は、複数の圧電素子１２ａがスリット（溝）３０で分けられて形成された３個以上の圧電素子部材１２が少なくとも１列に並べて配置され、これら３個以上の圧電素子部材１２のうち、両側の圧電素子部材１２を除き、隣り合う圧電素子部材１２の両端部にはスリット３０の少なくとも一部が形成されている。 （もっと読む）

印刷ヘッド本体と、印刷ヘッド本体を形成するための方法とが記載される。印刷ヘッド本体は、本体部分と、ノズル部分とを含む。本体部分は、インクチャンバを含む。ノズル部分は、本体部分の中のインクチャンバと流体的に接続するノズルを含み、第１のシリコン層と、第２のシリコン層と、第１と第２のシリコン層との間に形成されるヒータとをさらに含む。ノズルは、第１および第２のシリコン層を通って延在し、インクチャンバと流体的に接続する。
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【課題】積層精度及び吐出特性に優れた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数枚のプレート２〜７のそれぞれの互いに対応する位置に形成された複数の基準孔に、位置決めピンを嵌合することによって、積層、形成された液滴吐出ヘッド１において、複数枚のプレート２〜７のそれぞれは、複数の基準孔として、互いに対応する位置に、中心が一致するように形成された複数の位置基準孔９ａと、互いに対応する位置に形成された複数の積層基準孔９ｂとを有するように構成し、積層基準孔９ｂは、３辺以上の直線の辺によって構成され、位置基準孔９ａは、１つが円形の第１の位置基準孔９ａ_１で、残りが長円形の第２の位置基準孔９ａ_２となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトで高性能なインクジェットヒータボード構成を提供する。
【解決手段】 貫通電極および、インクを供給するためのインク供給口をヒーター近傍に形成する。 （もっと読む）

【課題】液体に吐出圧を発生させる圧電駆動部の圧電膜をハイアスペクトで効率よく作製する。
【解決手段】液体を吐出する吐出口に連通する液室２を備えた基板１の表面に振動板１０を形成し、その上に、下電極２１、圧電膜２２、上電極２３を順次成膜する。圧電膜２２は、微粒子を搬送ガスに混入し、ノズルから吹き付けるエアロゾルデポジション法によってマスキングを行うことなく成膜する。次いで、上電極２３および圧電膜２２をマスクまたはレジストを用いて所定の形状にパターニングする。 （もっと読む）

【課題】 ＦＭーＢＴＪにおいて、ヒータに電力を供給するＡＬ配線の上下電極接続を行うスルーホール（ＴＨ）に関し、上下電極の接続抵抗低減、及びＴＨの形成寸法を縮小出来るＴＨ配線構造を提案する。
【解決手段】 インクを吐出する複数の発熱抵抗体を備え、発熱抵抗体に電力を供給する配線が層間絶縁膜１０４を挟んで上下に形成され、スルーホール１２３にて接続されている配線を備えたインクジェット記録ヘッド用基板において、層間絶縁膜１０４の上下に形成された上下電極の接続個所である、スルーホール１２３で上電極の少なくとも一部が、スルーホール１２３の外周部の層間絶縁膜１０４上に形成されていない上下電極接続形態を少なくとも一部有するスルーホール構成とする。 （もっと読む）

【課題】共通液室を通じて生じる相互干渉をレイアウト上の制約なく効率的に抑制することができない。
【解決手段】流路基板１と、この流路基板１の下面に接合した振動板２と、流路基板１の上面に接合したノズル板３とによって液滴を吐出するノズル４が連通する加圧液室６、加圧液室６に液体を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７、複数の加圧液室６に記録液を供給する共通液室８を形成し、共通液室８にダイアフラム部１９を介して隣り合うバッファ室１８をフレーム部材１７に形成し、バッファ室１８と外部とを連通する連通路２０を設けた。 （もっと読む）

【課題】流路プレートに流路や圧力室を効率良く加工する。
【解決手段】レーザー光源２８から出射されたレーザー光を透明基板２６の内部に集光して、空洞部３２及び孔部３４を、透明基板２６の内部に形成する。そして、孔部３４からエッチング液を供給することで、空洞部３２と孔部３４がエッチング液によってエッチングされて拡大され、圧力室及び流路が形成される。このように、レーザー光によって透明基板２６の内部にエッチング液が流れ込む空洞部３２と孔部３４を形成し、エッチングによって空洞部３２と孔部３４を拡大することで、加工効率を落とすことなく、透明基板２６に圧力室、振動板及び流路を加工できる。 （もっと読む）

【課題】電極ガラス基板とシリコンキャビティ基板との間に形成されるギャップ内を封止する第１封止を、電極ガラス基板とシリコンキャビティ基板とを陽極接合すると同時に実行するようにした液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、キャビティ基板１と、電極部（個別電極８、リード部１０及び端子部１１）が形成されたガラス基板２と、ノズル基板３とを備え、ガラス基板には、個別電極８及びリード部１０を形成するための複数の凹部９と、端子部１１を形成するための凹面２６とを形成し、封止材で形成された凸部（第１封止部）を、凹面２６側の凹部９内におけるリード部１０上に設けた。 （もっと読む）