【課題】インク供給口を形成する工程を改善することによって、製品の生産性を向上させ、かつ、インク供給口を通したインクの供給を円滑にしたインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】前面にインクを加熱するためのヒーターが形成された基板を用意する段階と、基板の前面にインク流路を限定する流路形成層を形成する段階と、流路形成層上にノズルを持つノズル層を形成する段階と、流路形成層とノズル層の上部に第１保護層を覆う段階と、基板の背面に基板のエッチングのためのマスク物質を塗布する段階と、基板の側面を保護するための第２保護層を塗布する段階と、湿式エッチングで基板にインク供給口を形成する段階とを含む構成とし、ここで、マスク物質はタンタル、第２保護層はパリレンとすれば良い。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出エネルギーを発生する発熱抵抗体の抵抗値を最適に設定して、高品位な画像を記録することができるインクジェット記録ヘッド、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】発熱抵抗層７０４によって、シート抵抗値が異なる発熱抵抗体を同一基板上に形成する。 （もっと読む）

【課題】 個別液室として液体の粘性抵抗を排除する為に必要な容積を確保しつつ、振動板の変位に対して充分な剛性を得る個別液室の形状を構成する液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 吐出口に連通する個別液室と、該個別液室に対応して設けられた振動板と、液体を吐出する圧力を発生する圧電体素子と、を有し、前記個別液室内の液体を前記吐出口から吐出する液体吐出ヘッドであって、前記個別液室の断面形状において、前記個別液室の側壁は、前記振動板側から離れる方向に向かって、前記側壁の傾きが漸減するような曲率を持つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー変換効率が良い液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で液体の吐出方向を塞がないように支持し、該発熱体の気泡が発生する面を液体の吐出方向と平行となるように配置する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの各プレートを接合する接着層の不要な部分を除去する工程の低コスト化を目的とする。
【解決手段】流路プレート１４等のインクジェット記録ヘッド１０を構成するプレートの少なくとも一面に接着層３４を形成し、接着層３４に粘着シート４４を貼り付ける。その後、粘着シート４４を接着層３４から剥離することで、接着層３４のインク流路１４Ａ、インク室１４Ｂ等の開口部を覆う部分を除去する。 （もっと読む）

【課題】流路形成部材に体積変化が生じても、吐出口や流路に変形が生ずることの少ない液体吐出ヘッドを実現する。
【解決手段】液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子１が複数設けられた基板２上に、液体が吐出される複数の吐出口５ａと、液体が供給される液体供給口６ａとが設けられている。また、前記液体供給口６ａと前記吐出口５ａとを連通させる流路７が設けられている。そして、前記流路７を形成する流路形成部材は、樹脂によって形成され、一つの前記吐出口５ａに連通する前記流路７を形成している前記流路形成部材は、他の前記吐出口５ａに連通する前記流路７を形成している前記流路形成部材から独立している。 （もっと読む）

【課題】抵抗が比較的小さく、信頼性が高い金属配線を形成する。
【解決手段】第１の表面１０ａから反対側の第２の表面１０ｂに貫通する貫通穴１３と、第１の表面１０ａ上に形成されたアルミ電極１１と、第２の表面１０ｂと貫通穴１３の内周面とに跨って形成されアルミ電極１１に電気的に接続された金属配線１７とを有する。そして、金属配線１７は、貫通穴１３の内周面に形成された一部が、第２の表面１０ｂ側に形成された部分よりも厚くされている。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー変換効率向上させるとともに、消費電力を低減し、長時間安定動作可能にした液体吐出ヘッド及び該ヘッドを用いた記録装置を提供する。
【解決手段】 平板状の発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で支持して該平板状の発熱体の両面に気泡を発生させる液体吐出ヘッドであって、前記発熱体自体または発熱体の支持部を気泡の発生に伴う衝撃を緩和するように弾性変形させる。 （もっと読む）

【課題】圧電体の変位量のばらつきを抑制することができる液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】圧電体４６を圧力室５０の周壁（シリコン基板７２）より内側に設けると共に、下部電極５２を各圧電体４６毎に個別化して設け、下部電極５２の長手方向の一端部が圧力室５０の周壁に掛かる大きさとなるようにしている。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの端面が連通孔プレートやザグリプレートの端面よりはみ出さないようにすることで、ワイピング時や記録媒体のジャムによるザグリプレートの剥離を防止することを課題とする。
【解決手段】ノズルプレート１８に積層するザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも、ノズルプレート１８の外形を小さくする。このように、打ち抜き加工で、ノズルプレート１８をザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも小さくカットすることで、ノズルプレート１８にザグリプレート１６が成形されるプレート６４とプールプレート２０が成形されるプレート６６を積層して、エッチングによってザグリプレート１６及びプールプレート２０を成形すれば、プールプレート２０及びザグリプレート１６の端面からノズルプレート１８の端面がはみ出ることがない。 （もっと読む）

【課題】低電圧で駆動する圧電体素子を提供する。
【解決手段】この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして圧電体層（４１）における（００１）方位の柱状結晶粒における結晶軸方向が下部電極（３２）面の法線方向と所定角（５度から２０度）をなすように設定されている。このような構造の圧電体素子は、低電圧において従来品並みの圧電特性を示しそれ以上の電圧で従来品より高い圧電特性を示す。低電圧駆動をさせる圧電体素子として最適である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上のＩＴＯ配線の厚さを、対向するシリコン基板表面の絶縁膜より厚くでき、しかもＩＴＯ配線とシリコン基板との等電位接合を精度良く行う。
【解決手段】シリコン基板１の内側部分にＳiＯ₂層４１を形成し、シリコン基板１のＳiＯ₂層４１が形成された側の表面に絶縁膜１１を形成し、シリコン基板１の絶縁膜側のガラス基板等電位接点凸部２４に対応する表面部分をＳiＯ₂層４１が現れるまでエッチングしてシリコン基板等電位接点凹部２４Ａを形成する工程と、この等電位接点凹部２４Ａの底部の一部をエッチングしてシリコン基板１を露出させる工程と、シリコン基板１とガラス基板２とを、等電位接点凹部２４Ａと等電位接点凸部２４とを密着させ、等電位接点凹部２４Ａのシリコン基板露出部と等電位接点凸部２４とを電気的に導通可能な隙間状態として陽極接合する。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー変換効率向上のため流路内に発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で位置した液体吐出ヘッドにおいて、発熱体に加わる発泡衝撃を軽減し、耐久性を向上させる。
【解決手段】 発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で流路を塞がないように支持し、この支持部をヒンジ構造とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の振動領域を規定して圧電素子の変位特性を均一化し、液体噴射特性を均一化することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０上に振動板を介して設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００とを具備し、前記流路形成基板１０の前記圧電素子３００側の面には、振動規制層５０が設けられていると共に、該振動規制層５０には、前記圧力発生室１２の短手方向で圧力発生室１２よりも幅狭の開口部５１を設け、振動規制層５０の開口部５１側の端部５２を前記圧力発生室１２の内側に突出して設ける。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の耐久性及び信頼性を向上したアクチュエータ装置の製造方法及びその製造方法によって形成されたアクチュエータ装置を備えた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】シリコン基板の一方面側に設けられた酸化シリコン膜及びこの上に設けられた酸化ジルコニウム層を含む振動板と、この振動板を介して、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するアクチュエータ装置の製造方法において、前記酸化シリコン膜の表層部を３０ｎｍ〜１００ｎｍの厚さだけ除去する表層部除去処理する処理工程と、処理後の酸化シリコン膜上にジルコニウム層を設け、これを熱酸化して酸化ジルコニウム層とする酸化工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高精度のインクジェットヘッドを歩留まりよく作製する。
【解決手段】 流路基板とオリフィスプレートを接着剤を用いた接合を行わず、一体的に形成する。すなわち、流路基板裏面に設けた金属層をエッチングマスクとしてドライエッチングにより流路を形成、その後、金属層をシード層としてオリフィスプレートを電鋳法により形成する。 （もっと読む）

【課題】凹凸が形成された部材を接着剤を介して他の部材に固定する工程において、凹部の底面に接着剤が付着した状態で他の部材に固定した場合に生じ得る問題を抑制する。
【解決手段】シート１０２上に接着層１０５を形成する。次に、インク分配部８０のアンダープレート８３の凹部８３ａの底面８３ｄと接着層１０５の表面１０５ａとの間に隙間１０６を確保しつつ凸部８３ｂ，８３ｃを接着層１０５に接触させる。次に、凸部８３ｂ，８３ｃを接着層１０５の表面１０５ａに沿ってＸ及びＹ方向に移動させる。そして、凸部８３ｂ，８３ｃに付着した接着剤を介して、流路ユニットの表面にインク分配部８０を固定する。 （もっと読む）

【課題】 段差部を有する基板に対して、被接合部材をより確実に接合することが可能な基板部材と、この基板部材を備えた液滴吐出ヘッド及び、この液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置、さらに、この基板部材を製造する基板部材製造方法を得る。
【解決手段】 隔壁樹脂層１１９、１１８上に、隔壁樹脂層１１９、１１８を構成する樹脂よりも熱収縮率の大きな材料で構成された接着樹脂層１２１が積層される。圧電素子基板７０上で圧電素子４６等によって生じた凹凸の段差部９１４が隔壁樹脂層１１９、１１８によって平坦化される。さらに、熱収縮率の高い材料で構成された接着樹脂層１２１が積層されていることで、天板４１の接合性が、接着樹脂層１２１を有さない構成と比較して高くなる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつ吐出室深さを確保しながらクロストーク防止に十分なリザーバ体積を確保することが可能な液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】複数のノズル孔１１を有するノズル基板１と、ノズル孔１１の各々に連通する複数のノズル連通孔２１と、ノズル連通孔２１の各々に連通し、室内に圧力を発生させて各ノズル孔１１より液滴を吐出する吐出室２２を構成する複数の吐出室用凹部２２ａと、吐出室用凹部２２ａに供給する液滴を溜めるリザーバ２４と、各吐出室用凹部２２ａとリザーバ２４とを連通する複数の供給口２３とが形成された流路基板２と、流路基板２の吐出室用凹部２２ａ内に圧力を発生させる振動板３１を有する振動板基板３と、振動板３１を変形させて吐出室２２に圧力変化を与える圧力発生手段とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】製造プロセス及び製造コストを抑制した上で、段差を有する基板の段差下面の金属膜を確実に除去することができる配線形成方法及びその配線を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】リザーバ形成基板３０の表面全体に金属膜９２，９３を形成する工程と、段差上面７１の金属膜９２，９３の表面にレジスト膜９４を形成する工程と、レジスト膜９４を第１マスクとして段差下面７２の金属膜９２，９３を除去する工程と、レジスト膜９４をパターニングして形成した第２マスクを用いて、段差上面７１の金属膜９２，９３をエッチングすることにより配線を形成することを特徴とする。 （もっと読む）