【課題】ノズルプレートを、接着剤を用いることなく他の部材との接合させ、且つ、ノズルプレートを容易に製造する。
【解決手段】インクジェットヘッド３の流路ユニット３１は、上からキャビティプレート２１、ベースプレート２２、マニホールドプレート２３及びノズルプレート２４が互いに積層されて構成されている。ノズルプレート２４は、上から熱可塑性樹脂フィルム２５、金属製の補強板２６及び熱可塑性樹脂フィルム２７が互いに積層されることにより構成されている。熱可塑性樹脂フィルム２７には複数のノズル１７が形成されており、熱可塑性樹脂フィルム２５及び補強板２６には複数のノズル１７に連通する複数の貫通孔が形成されている。熱可塑性樹脂フィルム２５と熱可塑性樹脂フィルム２７とは同じ熱可塑性樹脂材料により構成されているとともにその厚みもほぼ同じになっている。 （もっと読む）

【課題】各ノズル内の増粘を防止することができるとともにノズル間の吐出ばらつきが生じないようにすること。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル５１（５１ａ、５１ｂ）にそれぞれ連通する複数の圧力室５２（５２ａ、５２ｂ）と、複数の圧力室５２に対して共通に設けられている共通流路５５と、を備え、共通流路５５と複数の圧力室５２との間には、各圧力室５２ごとに、共通流路５５から圧力室５２へインクを供給するインク供給流路５６と、圧力室５２から共通流路５５へインクを戻すインク循環流路５７とが配置されており、共通流路５５に開口しているインク供給口５６０およびインク循環口５７０は、同一の圧力室５２に通じているインク供給口５６０およびインク循環口５７０でのインクの圧力差を全ての圧力室５２において等しくさせる位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の剥離を防止することができる圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に下電極膜６０を形成する工程と、下電極膜６０上に第１の圧電体膜７１ａを形成する工程と、第１の圧電体膜７１ａ上にレジスト膜を所定形状に形成すると共にこのレジスト膜をマスクとして第１の圧電体膜７１ａ及び下電極膜６０をエッチングして所定形状に形成する工程と、レジスト膜を剥離する工程と、酸素を含む酸素雰囲気中で基板を熱処理することで第１の圧電体膜７１ａ上に残存する前記レジスト膜を除去する工程と、第１の圧電体膜７１ａ上に圧電体層７０を構成する残りの圧電体膜７１ｂ、７１ｃ、７１ｄを形成する工程と、圧電体層７０上に上電極膜８０を形成する工程と、を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】階段状の段差を、ガラス基板に、簡略化したプロセスで、安価に、精度良く形成
するガラス基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】ガラス基材２００をベークし、第１のレジスト膜２１０ａを設け、第１のレ
ジスト膜２１０ａに第１のレジストパターンを形成するとともに第１のアライメントマー
クを形成し、ガラスエッチングして第１段目の溝９ａを形成する第１の工程と、ガラス基
材２００をベークし、第２のレジスト膜２１０ｂを設け、第１のアライメントマークにあ
わせて、第２のレジストパターンを形成し、ガラスエッチングして第１段目の溝９ａより
も長手方向に大きい第２段目の溝９ｂを形成する第２の工程と、前記第１の工程から第２
の工程を順次繰り返して、ガラス基材２００に第２段目の溝９ｂから第ｎ段目までの溝を
形成する第３の工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法により圧電層を形成する際に、振動板に形成された凹部の表面に圧電層が形成されるのを容易に阻止できる、圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】まず、振動板３０の上面の、圧力室１４と対応する位置に凹部４０を形成する。次に、振動板３０の凹部４０に、振動板３０よりも弾性率が低く、且つ、流動性を有する低弾性材５０を充填する。そして、振動板３０の上面に、圧電材料の粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルを吹き付けて、圧電層３１を形成する。このとき、凹部４０に充填された低弾性材５０の表面には圧電材料の粒子が付着しないことから、低弾性材５０の表面を除く領域にのみ圧電層３１を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動周波数を低くすることなくインクの再沸騰を解消し、ヘッドの発熱を抑え、周囲の発熱体とのクロストーク、ヘッドを構成する基板と天板の剥がれを解消する記録装置を提供する。
【解決手段】液体を加熱して発泡させ、発生気泡を利用して液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、液体吐出口と、前記液体吐出口に連通して配置された液体を満たすための流路を形成した天板３０２と、表面に発熱体支持層３０４を形成した基板３０３と、前記発熱体支持層３０４上に配置される発熱体３０５と、前記発熱体３０５下部に位置する冷却部３０６を備え、前記基板３０３が隣接する発熱体３０５との間に断熱部３０７を有し、前記断熱部３０７は前記冷却部３０６を囲む前記液体で満たされるキャビティー３０８と前記キャビティー３０８を囲む熱伝導率が前記基板３０３よりも小さい断熱領域を有することを特徴とすることである。 （もっと読む）

【課題】振動板の凹部の表面に形成された圧電層を容易に除去することのできる、圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】まず、振動板３０の上面の、圧力室１４と対応する位置に凹部４０を形成する。次に、振動板３０の凹部４０に、振動板３０よりも弾性率が低く、且つ、流動性を有する充填材５０を充填する。そして、振動板３０の上面に圧電層３１を形成した後に、振動板３０、圧電層３１、及び、充填材５０を含む積層体６０を、充填材５０の熱分解温度以上に加熱する。これにより、充填材５０を熱分解させて、その表面の圧電層３１とともに除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズルヘッドにおいて、圧電素子が発生する圧力による応力によりダイヤフラムが損傷することを防ぐ。
【解決手段】ノズル２０４から液滴を吐出するノズルヘッド１２であって、ノズル２０４と、開口部を有する液室２０２とが形成されたチャンバ部１０２と、液室２０２の開口部を少なくとも覆うダイヤフラム１０４と、ダイヤフラム１０４を挟んで液室２０２の開口部と対向する圧電素子１０６とを備え、ダイヤフラム１０４は、液室２０２の開口部と圧電素子１０６との間において圧電素子１０６の圧力を受ける被押圧部３０２と、被押圧部３０２よりも薄く、かつ、被押圧部３０２の周囲を囲む薄厚部３０４と、被押圧部３０２と薄厚部３０４との間を曲面で繋ぐことにより、圧電素子１０６に押圧された被押圧部３０２と薄厚部３０４との間に生じる応力を分散する曲面部３０６とを有する。 （もっと読む）

【課題】発熱体素子で発生した熱エネルギーを効率良く発泡のエネルギーに変換可能なインクジェット及びその作製方法を提供する。
【解決手段】発熱体素子１０６を形成した面と反対の基板面より貫通エッチングを行い、液体供給路１０５を作成すると同時に発熱抵抗素子１０６を内壁面より浮かせた状態に支持することにより、ヘッド本体や基板への熱の散逸を防止することができ、発熱体素子１０６で発生したエネルギーを効率よく発泡エネルギーに変換することができる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が良く、安定した吐出が可能で、高精細化に対応可能な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】発熱体素子１０４を流路の内壁面より浮かせた状態で支持し、基板に形成した貫通孔１０６を介して発熱体と外部回路を接続するための配線１１１を形成する。流路内に電極棒および電極等を配置しないので液体の流れを妨げず、常に安定した吐出が可能である。また、複数化した場合に発熱体素子１０４を高密度で配置することができるので、高精細化に対応することが可能であり、さらには作製コストを低くすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】消費電力の小さい液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の液滴噴射装置の製造方法は、振動板３０の流路ユニット２と反対側の面において、振動板３０に直交する方向から見て、前記圧力室１４の中心を通る分割線により分割された二つの領域における一方の領域内に凹部３６を形成する凹部形成工程と、その後に圧電材料の粒子を堆積させて圧電層３１を形成する圧電層形成工程と、さらにその後に圧電層３１の凹部が形成されていない領域に対応する位置に第一電極を形成する第一電極形成工程とを備えるので、振動板３０の剛性を小さくすることができ、消費電力を抑えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 補強プレートとヘッドユニットとを接着する接着層の厚さを精度良く制御することができる液滴噴射装置を実現する。
【解決手段】 キャビティプレート３１の長手方向の側縁から突片３１ｊ，３１ｊがそれぞれ側方に突出形成されている。各突片３１ｊは、基部３１ｋを境界にしてヘッドユニット３０の背面５０ａの側に折り曲げられ、背面５０ａの上に突出部を形成する。ヘッドユニット３０に補強プレート６０を接着するとき、接着領域に突出部が介在されているため、接着層の厚さを突出部の厚さに制御することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電性能とともに耐電圧性能に優れた結晶構造の圧電体薄膜を用いて高性能で信頼性の高い圧電体薄膜素子を得ること。
【解決手段】圧電体薄膜層１４は、成膜工程を例えば２回に分け、途中に混入異物除去の洗浄工程を組み込んで形成した。大部分の領域が所定膜厚の形成領域１６となるが、一部の領域（異物が除去された領域）が所定膜厚よりも薄い膜厚の形成領域１７となる形で成膜される。所定膜厚の形成領域１６では柱状結晶が膜厚方向に連続的に形成され、優れた圧電特性が得られる。所定膜厚よりも薄い膜厚の形成領域１７では、結晶粒界が不連続領域１９を挟んで不連続となり、結晶粒径の大きい領域では粒界密度が低減される。この結晶粒界の不連続構造によってリークパスが途切れるので、耐電圧特性が向上する。トータルの領域として優れた圧電特性と耐電圧特性とを具備する結晶構造の圧電体薄膜１４による圧電体薄膜素子１０が得られる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を容易にすることができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００は，基板１０の上方に弾性板１２を形成する工程と、弾性板の上方に下部電極２２を形成する工程と、下部電極の上方に圧電体層２４を形成する工程と、圧電体層の上方に上部電極２６を形成する工程と、基板に開口部を形成する工程と、基板を被覆するように基板の下面側から保護層１６を形成する工程と、保護層の形成後、開口部を埋めるように犠牲層を形成する工程と、犠牲層の下方、および、保護層の直接下にノズル形成層１８を形成する工程と、ノズル形成層をエッチングによりパターニングしてノズル孔６０を形成し、犠牲層を露出させる工程と、犠牲層をエッチングにより除去して、圧力室６４を形成する工程と，を含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつノズル間の圧力干渉を防止できる液滴吐出ヘッドを歩留まり良く製造することが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドは、ノズル孔を有するノズル基板と、吐出室を有するキャビティ基板と、リザーバ２３となる凹部２４を有し且つノズル孔に連通するノズル連通孔２１が貫通形成されたリザーバ基板とを少なくとも備え、更にリザーバの壁の一部に圧力変動を緩衝するダイアフラム部が設けられたものであり、シリコン基板２００にリザーバ２３となる凹部２４を形成する際の酸化膜のフォトリソグラフィープロセスにおいて、シリコン基板２００のリザーバ２３となる凹部２４の形成面とは反対側の面全体に保護フィルム２２０を貼り付けて反対面を保護するようにし、保護フィルム２００の貼り付けを、減圧環境下で行うようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】インクによる腐食やショートを効果的に防止する。
【解決手段】第１の基板の第２の基板側と反対側の第１の面上に設けられた第１保護層であって、第１保護層の側面はインク供給口の側面内壁と同一面を構成する第１保護層と、インク供給口の側面内壁の全面及び第１保護層の側面の少なくとも一部を覆うように設けられた第２保護層と、を備えていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】同一のノズル列におけるノズル開口間の吐出特性の差を低減させることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】圧力室と共通インク室１７とを備え、圧力室に対応して設けた振動板などの圧力発生源の動作によって液滴を吐出する記録ヘッドであって、共通インク室１７を区画形成している区画壁の一部を、他の部分よりも薄肉に構成してノズル列方向に長尺なダイヤフラム部２８とし、該ダイヤフラム部２８の面上にノズル列方向に長尺な島状の梁部２９を形成した。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を効率的に行うための共通連通路の開口断面積が十分大きくない。
【解決手段】１つのアクチュエータ基板１上に構成された、変形可能な振動板１１及びこの振動板１１に空隙１３を介して対向する電極１４を備え、複数の空隙１３が個別連通路１５Ａを介して連通している共通連通路１５を有し、共通連通路１５及び個別連通路１５Ａの一部は、電極１４を形成する電極形成層２４及び空隙１３を形成する空隙形成層２７と、電極形成層２４より下側のシリコン基板２１上の絶縁層２２が取り除かれて形成されている。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータの発生圧力を向上させるとともに、駆動の安定性および駆動耐久性の向上を図ることができる静電アクチュエータの絶縁構造を得る。
【解決手段】基板上に形成された固定電極５と、この固定電極５に所定のギャップを介して対向配置された可動電極６と、固定電極５と可動電極６との間に静電気力を発生させて該可動電極６に変位を生じさせる駆動手段とを備えた静電アクチュエータにおいて、固定電極５または可動電極６の少なくとも一方の対向面に、原子層堆積法によりＨｆ_xＡｌ_yＯ_z膜からなる絶縁膜７を形成する。 （もっと読む）

【課題】ノズルヘッド内に適切にフィルタ部を設ける。
【解決手段】ノズルから液滴を吐出するノズルヘッド１２の製造方法であって、圧電素子準備工程と、液滴を吐出するノズル３０２と、ノズル３０２へ供給する液体を外部から導入する導入口３０８とを有するチャンバ部１０２を準備するチャンバ部準備工程と、圧電素子２０６が発生する圧力を伝えるダイヤフラム２０２であって、チャンバ部１０２の導入口３０８の少なくとも一部を覆う位置に形成されるフィルタ部４１８とを有するダイヤフラム２０２を形成するダイヤフラム形成工程と、ダイヤフラム２０２を挟んでチャンバ部１０２と対向する位置に圧電素子２０６を設置し、かつ、ダイヤフラム２０２をチャンバ部１０２に固定する組立工程とを備え、ダイヤフラム形成工程は、エッチング加工によりフィルタ部４１８を形成する。 （もっと読む）