【課題】駆動耐久性及び信頼性の向上を図ることが可能な静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて該振動板６に変位を生じさせる駆動手段とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記個別電極５の前記振動板６との対向面にアモルファスカーボン膜７を設けるとともに、前記振動板６の前記個別電極５との対向面に絶縁膜８を設け、前記アモルファスカーボン膜７の表面に水素化アモルファスカーボン膜９を設けた。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの駆動エネルギーを低く抑えながら、共通液室の密閉性を確保しつつ、ダンパ効果を高めることができる液滴噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】流路ユニット２が、マニホールドプレート１４，１５と、マニホールドプレート１４，１５に積層されて共通液室２２に面するダンパ壁２８を有したダンパプレート１６とを備え、該ダンパプレート１６は、平面視でマニホールド孔１４ａ，１５ａに対応する位置にダンピング空間４１ａが形成された基材部４１と、該基材部４１に重ねられた樹脂部４２とからなり、該樹脂部４２は、少なくともダンピング空間４１ａの周辺のみを被覆するよう設けられてダンパ壁２８をなし、共通液室２２の平面視輪郭形状よりも小さく形成されてマニホールド孔１４ａ，１５ａ内に収容される。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、かつ変位特性が良好なアクチュエータの製造方法およびアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１００は、基板１０の上方に振動板２０を成膜する工程と、バッファ層３０を成膜する工程と、下部電極層４２を成膜する工程と、下部電極層４２をパターニングする工程と、パターニングにより残された下部電極層４２の上方、およびパターニングにより露出されたバッファ層３０の上方に、圧電体層４４を成膜する工程とを含むため、圧電体層４４は、全体的にグレインサイズが小さく均一であり、アクチュエータ１００は、高い信頼性を有することができる。さらに、上部電極層４６を成膜する工程と、圧電体層４４および上部電極層４６をパターニングする工程と、を含む。下部電極層４２をパターニングする工程は、下部電極層４２を、塩素系ガスと酸素系ガスとを含む混合エッチングガスを用いてエッチングする工程を有する。 （もっと読む）

【課題】高密度に配置された圧電素子に対して複雑な構造とすることなく、かつ、信頼性の高い電気接続を可能とする配線構造体及び接合方法並びに液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッド５０の圧電素子配設面５０ＡにはＦＰＣ１００が接合される。ＦＰＣ１００は、圧電素子５８の周囲を囲むカバー部１０８が設けられ、該カバー部１０８は圧電素子５８の運動を阻害しないように上部の空間を確保する機能と、該空間により外部環境から圧電素子５８を遮断して圧電素子５８の劣化を防止する機能と、インク導入路としての機能（開口１１２）を有している。ＦＰＣ１００側に複雑な凹凸形状を形成することで、ヘッド５０とＦＰＣ１００との接合を平面で行うことができる。開口１１２に代わりフィルタ構造を備える態様も好ましい。 （もっと読む）

【課題】供給口の内壁面に形成された保護層の剥離を抑え、かつ、インクが基板にまで容易に浸透するのを防ぐ。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１と、吐出口１１に連通するインク流路１９と、吐出口１１からインクを吐出させるエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子１３及び吐出エネルギ発生素子１３を駆動するための複数の機能層が積層されてなる駆動回路を有するシリコン基板１０と、シリコン基板１０及び複数の機能層を貫通して設けられインク流路１９にインクを供給するための供給口３と、供給口３の内壁面を覆って形成された保護層２ａと、を備える。複数の機能層の間、又は機能層とシリコン基板１０との間に、保護層２ａの一部が挟まれ、かつ、一部に穴が形成され、この穴の内側で、保護層２ａを間に挟む複数の機能層同士、又は機能層とシリコン基板１０とが接触される。 （もっと読む）

【課題】沿面放電を防止することができ、信頼性が向上させることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータとして必要とされる厚み以上の所定の厚みを有し且つ一方の面に電極が形成された圧電基板の前記一方の面を、複数の前記圧電アクチュエータを形成するための所定形状に加工する加工工程と（ステップ１０２〜１０６）、前記圧電基板の一方の面と、電極が形成された圧力室形成基板の当該電極が形成された側の面とを接着剤により接着する接着工程と（ステップ１０８、１１０）、前記圧電基板の他方の面を、前記所定形状が現れるまで研磨する研磨工程と（ステップ１１２）、前記圧電基板の他方の面に、上部電極を形成する電極形成工程と（ステップ１１６、１１８）、を含む。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生しない液体噴射ヘッド及びその製造方法、並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通し隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設された流路形成基板と、当該流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室１２に相対する領域に設けられた圧電素子３００と、前記圧電素子３００へ前記圧電素子３００を駆動するための信号を送出する駆動回路を備え、前記隔壁１１の前記圧電素子３００が形成される側の面に形成された溝１８０の内壁に電子素子形成層１８が形成されると共に、当該電子素子形成層１８で溝部１７が構成されており、前記電子素子形成層１８により形成された電子素子が前記駆動回路に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低電圧の駆動回路を実現し、高解像度の印字特性を得ることができ、また高密度実装や低コスト化を図ることができる静電吸引型インクジェットヘッドを得る。
【解決手段】 熱毛細管現象を利用してインク液面をインク流路２の先端まで移動させることにより液面と対向電極１０の距離を接近させ、距離の２乗に反比例して増大するクーロン力によってインクを飛翔させる。インク供給部１のインク流路２を画素ごとの微細幅流路にすることにより、画像情報に応じて選択的にインク滴を飛翔させて印字を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路３を有する基板１の表面側に流路形成膜１０を形成する工程と、流路形成膜１０に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜１０上に振動膜３０を形成する工程と、振動膜３０をエッチングして犠牲膜を底面とする貫通孔ｈを形成する工程と、基板１を裏面側からエッチングしてリザーバ５を形成する工程と、流路形成膜１０をエッチングしてノズル開口部２２を形成する工程と、リザーバ５及び貫通孔ｈを介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、振動膜３０上に圧電素子５０を形成して貫通孔ｈを塞ぐ工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路３を有する基板１の表側に流路形成膜１０を形成する工程と、流路形成膜１０に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜１０上に振動膜３０を形成する工程と、振動膜３０上に圧電素子５０を形成する工程と、基板１を裏面側から犠牲膜が露出するまでエッチングしてリザーバ５を形成する工程と、リザーバ５を介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、流路形成膜１０にノズル開口部２２を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】２列以上のチャネル列を有するヘッドチップの後面に両面に配線が形成されたフレキシブル基板を接着する場合のフレキシブル基板の過度の撓みを抑制でき、接着剤不足や接着剤のチャネル内への流入を生じるおそれのないインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】チャネル列が２列以上形成されたヘッドチップの後面に接着されるフレキシブル基板３の配線は、２列に隣接するチャネル列のうちの一方のチャネル列の接続電極と電気的に接続する第１の配線３１と、他方のチャネル列の接続電極と電気的に接続する第２の配線３２からなり、第１の配線３１はフレキシブル基板３の接着面側に形成され、第２の配線３２はフレキシブル基板３の接着面と反対面側に形成され、該フレキシブル基板３を貫通して接着面側に突出しており、フレキシブル基板３の接着面には、第１の配線３１と第２の配線３２との間に、所定厚さを有する接着厚み調整部３５を形成した。 （もっと読む）

【課題】振動板の固定部での湾曲を抑えつつ、隣接する振動板間の表面形状を、配線を含めて平坦化することができない。
【解決手段】固定電極１２ａを形成する固定電極層１２と、空隙１４ｂを形成する犠牲層１４と、可変電極２３ａを形成する可変電極層２３が順次積層され、固定電極１２ａと可変電極２３ａとの間の犠牲層１４がエッチングで除去されて空隙１４ｂが形成され、振動板２０のノズル配列方向の端部部分（固定部）２０ａが固定電極層１４上に設けられるとともに、隣り合う振動板２０の間では、固定電極層１２がなく、固定電極層１２よりも抵抗率の低い材料からなる配線層５３ｂが形成され、配線層５３ｂが可変電極層２３に接続されている。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を構成する（１１１）面を保護しながら逃げ溝を異方性エッチングにより形成する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。また、このような異方性エッチングを実現するマイクロデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板に、基準孔よりも広い開口部１４１を有するマスク１４０を、前記開口部が前記基準孔３２に対向するように設けるマスク形成工程と、前記開口部を介して前記基板を異方性エッチングすることにより、前記基準孔の外周に接着剤の逃げ溝３３を形成する逃げ溝形成工程を備え、前記マスク形成工程では、前記マスクの前記開口部内の前記（１１１）面に対向する位置に、島状の補正マスク部を設け、前記逃げ溝形成工程で、当該補正マスク部１４２ａ、１４２ｃは、前記対象基板の異方性エッチングによりエッチングされ除去されることにより、前記基準孔の外周に逃げ溝が形成される。 （もっと読む）

【課題】流路部材に用いた部品の高精度な接合が行え、安定した吐出特性が得られる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズルと、複数の流路部材とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路部材の少なくとも２層以上は金属プレートで形成され、かつ前記金属プレートに加工された位置合わせ用の穴は周辺部が低剛性となるよう加工されている。 （もっと読む）

【課題】中間層に樹脂層を含み、複数の金属層を有する少なくとも３層の積層部材を使用した流路形成部材における樹脂層部分で気泡の滞留が発生する。
【解決手段】振動板部材２は、金属層からなる第１層２１と、中間層である樹脂層からなる第２層２２と、金属層からなる第３層２２とを順次積層した３層構造の積層部材で形成され、共通液室８から加圧液室６にインクを供給する供給口となる貫通穴９が形成され、貫通穴９を構成する第２層２２の穴１０２は、インクの流れ方向下流側の開口の大きさが、第３層２３の穴１０３の開口より大きく、インクの流れ方向上流側の開口の大きさが、インクの流れ方向上流側に配置される第１層２１の穴１０１の開口より小さい形状である。 （もっと読む）

【課題】圧電体を用いない新規なアクチュエータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ１００は、変形可能な基板１０と、前記基板１０の上方に設けられ、開口部２２を有する磁石体２０と、前記基板１０の上方に設けられ、かつ、前記磁石体２０を取り囲むように配置されたコイル３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】液滴噴射面の噴射口周囲領域を確実に保護するとともに、液滴噴射面から脱落しにくい保護構造を備えた、液滴噴射装置、及び、その製造方法を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッドは、液滴を噴射するノズル５４の噴射口５４ａが配置された液滴噴射面３ａを有し、この液滴噴射面３ａの噴射口５４ａの近傍位置には、液滴噴射面３ａに開口し、且つ、その液滴噴射面３ａよりも奥部における孔径が開口部よりも大きい、充填孔６６が形成されている。そして、この充填孔６６内に流動性材料が充填されるとともに、充填孔６６の開口部から一部突出した状態で流動性材料が固化することにより、液滴噴射面３ａから突出した凸部６５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、インク滴を吐出させるための圧力損失を無くすことができ、駆動電圧を低減できるインクジェットヘッド、およびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】インクジェットヘッド１１は、基板１２の表面に圧電部材１５、および枠部材１３を接着し、枠部材１３の端部および圧電部材１５の複数の圧力室２４を区画する複数の壁２５の端部にカバー部材１４を接着することで形成される。カバー部材１４は、圧電部材１５の複数の圧力室２４にそれぞれ対向する位置に複数のノズル２２を有する。カバー部材１４は、ＰＩフィルム４２と補強のための金属箔４４を貼り合せて形成され、金属箔４４には、ＰＩフィルム４２のノズル２２を露出する開口４６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】流路抵抗の小さいフィルタを製造する。
【解決手段】インクジェットヘッド３を製造する際に、まず、キャビティプレート２１の貫通孔９ａとなる部分の上面に、紫外線硬化樹脂の液滴Ｌを吐出し、紫外線を照射して着弾した液滴Ｌを硬化させる。次に、ＡＤ法によりキャビティプレート２１の上面に振動層４１を成膜する。次に、振動層４１の上面に共通電極を形成するとともに振動層４１の上面の貫通孔９ａと対向する部分にマスクＭを配置する。次に、ＡＤ法により振動層４１の上面に圧電層４２を成膜し、その後、マスクＭを除去する。次に、キャビティプレート２１の一部を除去して、貫通孔９ａ及び圧力室１０を形成する。この後、圧電層の上面に個別電極を形成し、作製された積層体を８５０℃程度で加熱して、圧電層４２のアニールと、個別電極及び共通電極の焼成とを行う。 （もっと読む）

【課題】 振動板表面に均一な保護膜を備え、作動特性の優れた静電型アクチュエータの提供。
【解決手段】 振動板電極２２を含み表面に保護膜２６を形成した振動板２０と、この振動板２０に空隙１４ａを介して対向配置された固定電極１２とを備え、前記空隙１４ａに連通する連通路５６と、前記連通路５６を大気中に開放する第一の開放孔５５ａ及び第二の開放孔５５ｂと、第一の開放孔５５ａを封止する第一の封止部材５８ａと、第二の開放孔５５ｂを封止する第一の封止部材５８ａとは異なった材質の第二の封止部材５８ｂとを備えたことを特徴とする静電型アクチュエータ２。 （もっと読む）