【課題】 電気特性評価を行う際のコンタクト電極に削除しきれないとコンタクトが得られなくなる
【解決手段】 振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成する際には、下電極と圧電体層と上電極を順次積層して圧電素子を形成する。このとき、下電極の一部に平面での形状が先細りとなるコンタクト電極を形成しておく。下電極のパターニング後に圧電素子の素材を塗布して焼成し、更に不要部分をエッチングで除去する。コンタクト電極は下電極の一部に平面での形状が先細りとなるように形成されているため、このコンタクト電極の上に塗布される圧電体層の素材の膜厚はその幅によって変化する。すなわち、コンタクト電極の上に積層された圧電体層の素材は幅狭となるのに従って徐々に薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】目的とする形状で且つ良好な圧電特性を示す電気機械変換素子を容易に製造する。
【解決手段】第１の電極１２上に、ＰＺＴ前駆体溶液による塗膜１７Ｂを形成して乾燥膜１５とした後に、該乾燥膜１５の特定の領域にのみ選択的に熱分解温度以上の熱を加える。そして、乾燥膜１５の熱分解された領域である非晶質領域１５Ａを残し、この非晶質領域１５Ａ以外の領域をウェットエッチングによって除去する。そして、この第１の電極１２を表面改質して撥液化し（第５工程）、ＰＺＴ前駆体溶液の液滴１７Ａを吐出して親液領域２４ＡであるＰＺＴ薄膜１７上に選択的にＰＺＴ前駆体溶液による塗膜１７Ｂを形成する（第６工程）。そしてさらに、この塗膜１７Ｂを乾燥及び熱分解する（第７工程）。そして、上記第５工程、第６工程、及び第７工程を繰り返した（第８工程）後に第９工程を経ることによって、所望の厚みの電気機械変換膜１４を作製する。 （もっと読む）

【課題】液体中のゴミや異物を捕集した際のフィルターの目詰まりを防止し、ゴミ捕集後も液体流量の低下がなく安定した液体吐出が可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するための複数の吐出口、及び各吐出口に連通する液体流路を有する被覆樹脂層と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、及び該液体流路に連通する液体供給口を有する基板とを含むノズルチップを備える液体吐出ヘッドであり、該液体供給口と該液体流路との間にフィルター層が形成されており、該フィルター層が、液体流量を確保するための吐出口径以下の開口径を有する貫通孔と、液体中のゴミを捕獲するための先端を液体供給口側にして該貫通孔よりも液体供給口側に配置される先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体とを有するノズルチップを備えた液体吐出ヘッド。およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】従来の構造体より製造が容易な電気接点を有するプリントヘッドを製造する方法、及びプリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドを形成するための方法は、複数の圧電素子２０をダイヤフラム３６へ付着することと、ダイヤフラムを覆って侵入型層５０を計量分配することと、複数の圧電素子に物理的かつ電気的に接触するように侵入型層へ複数のパターン化された導電トレース８０を形成することを含むことが可能である。複数のパターン化されたトレースは、例えばフォトリソグラフィ、リフトオフプロセス、レーザアブレーション、他を用いて形成されてもよい。複数のパターン化された導電トレースと複数の圧電素子との間の電気連通は、これらの２構造体間の表面接触を介して、別個の導体を要することなく確立される。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を高精度に厚膜化することが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】第１の電極１２を形成する第１の工程と、白金と、該白金と全率固溶体を形成する金属元素と、の合金を主成分としてなる、パターニングされた第２の電極１４を形成する第２の工程と、第２の電極１４を疎水化する第３の工程と、酸化物を主成分とする電気機械変換膜１６の前駆体溶液の塗膜１６Ｂを形成する第４の工程と、塗膜１６Ａを、加熱により結晶化させて第１の電気機械変換膜１６_１を形成する第５の工程と、第３の工程、第４の工程、及び第５の工程を、この順に少なくとも１回以上繰り返すことによって、電気機械変換膜１６を形成する第６の工程と、電気機械変換膜１６上に第３の電極を形成する第７の工程と、を経ることによって電気機械変換素子を製造する。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の開口サイズが製造工程によって変動し難く、且つ、エッチングストップ層の除去にドライエッチングが不要なインク吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板１１の一方の面から、基板１１の途中部分まで伸びる凹部１１ａを形成する。凹部１１ａには、基板１１のエッチング液に対して不溶な埋め込み材料１３が埋め込まれる。ヒータ１２及び凹部１１ａを含むインク室が、基板１１の一方の面に形成される。基板１１の他方の面から凹部１１ａに向かってエッチングされ、インク供給口Ｂが形成される。埋め込み材料１３を可溶であって、基板１１に対してエッチング性を有さない溶媒を用いて、埋め込み材料１３が除去される。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の貫通によってダメージを受ける可能性を低減したインク吐出ヘッドの製造方法及びインク吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】板状の基板１１と、基板１１の一方の面に形成された絶縁膜１２ａと、絶縁膜１２ａに形成されたヒーター１３とが準備される。そして、基板１１の一方の面の一部であって、ヒーター１３から離間した第１領域に形成された絶縁膜１２ａが、基板の厚み方向に除去される。そして、耐インク性及び耐異方性エッチング性を有する第１保護膜１４及び第２保護膜１５が、基板１１の一方の面に形成される。 （もっと読む）

【課題】配向制御層をスパッタ法で形成するためにエッチング工程が必要になるとともに無駄な材料消費が生じる。
【解決手段】第１の電極上に電気機械変換素子を形成する素子形成領域の表面改質を行う工程と、素子形成領域に配向制御層となるゾルゲル液を第１の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、配向制御層を成膜する工程と、成膜された配向制御層上に電気機械変換膜となるゾルゲル液を第２の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、電気機械変換膜を成膜する工程と、成膜された電気機械変換膜上に第２の電極を形成する工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制すると共に、高密度化しても小型化可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板１１１と振動板１１２ａの間が隔壁１１２ｂにより隔てられる液室１１０を有するインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、圧電素子１２０が形成されており、共通電極１２１は、隔壁１１２ｂ上に延在し、振動板１１２ａ上に、絶縁膜１３２が積層され、開口部１３２ａを介して、個別電極１２３から共通電極１２１の一部を含む領域上に配線１４０が引き出され、絶縁膜１３２と配線１４０を含む領域との間に、配線１４０が引き出される開口部１３３ａが形成されており、配線１４０上にコンタクトホール１３４ａが形成される絶縁膜１３４が形成され、絶縁膜１３３及び１３４は、隔壁１１２ｂに隔てられる空間上の領域を除く領域にはない。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制し、高密度化して小型化が可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子１２０が形成されている振動板１１２ａ上に、第一の開口部１３１ａがある第一の絶縁膜１３１及び第二の開口部１３２ａがある第二の絶縁膜１３２が順次積層されており、第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、個別電極１２３から第一の配線が引き出され、第一の配線上に、第三の開口部１３３ａが形成されている第三の絶縁膜１３３が形成されており、第三の開口部を介して、第一の配線１４０と駆動回路を電気的に接続する第二の配線１５０が引き出され、第三の絶縁膜は液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、第二の絶縁膜の、第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が５〜４０ｎｍで、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が１００ｎｍ以上のインクジェットヘッド１００。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができる圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス膜形成用組成物は、ビスマス及び鉄を含む金属錯体混合物と、ポリエチレングリコールと、ターピネオールと、溶媒と、を含む。ポリエチレングリコールと、沸点の高いターピネオールとを含むことにより、鉄酸ビスマス系の圧電材料からなりクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。また、圧電特性の良好な圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。さらに、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】保護膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体層７０上方に第２電極８０を形成する工程と、塩素を含有するガスを第２電極に接触させて、第２電極の上面に凸部８３を形成する工程と、第２電極の上面の前記凸部が形成された面に保護膜１００を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】新たな製造工程を発生させずに製造可能であり、効率的に熱を逃がし、インクジェット記録ヘッドのチップ内の温度分布による吐出特性のばらつきを軽減させたインクジェット記録ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、および、画像形成装置を提供すること。
【解決手段】共通液室を形成する複数のフレーム基板のうち、駆動ＩＣ近傍に設けられたフレーム基板が前記駆動ＩＣと接触しており、さらに、前記フレーム基板の前記共通液室部の壁面間に、共通液室部のインクに放熱するための梁部材が少なくとも１つ、フレーム基板と一体的に形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド、および、係るインクジェット記録ヘッドを備えたインクカートリッジ、インクジェット記録装置、画像形成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】より高い放熱性を有するインクジェット記録ヘッド、および該インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、は、インクに熱を加えて該インクが吐出するための圧力をインクに付与するインク吐出部２と、インク吐出部２を第一面３ａに備え、第一面３ａとは反対側の第二面３ｂに少なくとも一つの凹部９を有する基板３と、インク吐出部２から基板３へ伝えられた熱を外部へ放出する放熱部材８であって、凹部９の形状に合わせて形成された凸部１０を有し、凸部１０が凹部９に埋め込まれた状態で第二面３ｂに接合された放熱部材８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】微細なバリ等の塵埃を発生させず、少ない工数で製造可能な流路部材１を提供する。
【解決手段】流入口７を有する流入部２と、流路１９を構成する流路部３と、流路１９を横切るフィルター９を構成するフィルター部４と、流路１９に連通する流出口１０を有する流出部５と、流路１９を閉塞する閉塞部６が積層して接合して流路部材１を構成した。これにより、金型成形の際に形成されるパーティングラインから微細なバリが分離し脱落してノズルを詰まらせるという課題を解決することができる。また、接合工程や洗浄工程を減少させて量産性に優れた流路部材の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】外部マニホールドを備えた高密度インクジェット印字ヘッドアセンブリの製造方法。
【解決手段】インクジェット印字ヘッドの形成方法は、ダイアフラム３６に複数の圧電素子２０を付着させるステップと、ダイアフラムと複数の圧電素子との上に誘電性充填層を供給し、圧電素子を封止するステップと、誘電性充填層を硬化させ、隙間層５０を形成するステップと、次に、複数の圧電素子の上面から隙間層をプラズマエッチングによって除去するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】液体噴射時のクロストークを防止することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する主圧力室２０を隔壁３７によって複数区画し、当該圧力室の開口面を封止する作動面（弾性膜１６）を圧電素子１８によって変形させて当該圧力室内のインクに圧力変動を生じさせることで当該圧力室に連通するノズルからインクを噴射させる記録ヘッドにおいて、ノズル形成基板１５には、主圧力室とノズルとを連通する副圧力室３６が、複数の主圧力室にそれぞれ対応してノズル列設方向に複数形成され、副圧力室のノズル列設方向の幅は、主圧力室の同方向の幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】突き当て治具への突き当てによる他の部材との位置合わせ精度が向上したシリコンチップの製造方法、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、及びマイクロポンプを提供する。
【解決手段】厚みの異なる複数の基板の積層体であるシリコンウェハ３０を複数のシリコンチップに分離するためのダイシングライン２６上の、少なくとも各シリコンチップ２４Ａに対応する領域毎に、該シリコンウェハ３０を厚み方向に貫通した貫通孔２２を設ける貫通孔形成工程と、貫通孔２２の形成されたシリコンウェハ３０を、ダイシングライン２６に沿ってダイシングブレードによって切断する切断工程と、を備える。そして、貫通孔２２は、シリコンウェハ３０を構成する複数の基板の内の最も厚い第１基板（保護基板１６）における幅が、該複数の基板の内の該第１基板以外の基板（液室基板１４）における幅より狭い。 （もっと読む）

【課題】高密度化と高速化された圧電吐出式の液滴吐出ヘッド及びその製造方法の提供。
【解決手段】深さｄ１、幅ｗ１の第一溝１０を圧電材基板１に形成し、第一溝１０の内側面１１に第一電極５１を形成し、深さｄ２、幅ｗ２の第二溝２０を、第一溝と対応するように圧電材基板１に形成し、第一溝及び前記第二溝の内側面を絶縁性材料３で被覆し、深さｄ３、幅ｗ３の第三溝３０を、第一溝と対応するように圧電材基板１に形成し、第三溝の内側面に第二電極５２を形成する。これにより上記の壁２およびこの側面上の複数の電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッド１から吐出された液滴やその飛沫がクーロン斥力により飛散し、記録品質が低下することを防止する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１を、吐出用の液体を充填するチャンネル２と、充填された液体に圧力を加える圧電素子３と、チャンネル２に連通しその液体を吐出するノズル４と、ノズル４の近傍に設置され、液体に接触する内部電極５と、この内部電極５の電圧を設定する電圧設定部６とにより構成し、被記録媒体の帯電状況に応じて電圧設定部６が内部電極５に対して電圧及び極性を設定できるようにした。 （もっと読む）