【課題】圧電体におけるヒステリシス特性の２つの抗電界が両方とも正電界側とすることができ、かつ応力を生じさせることなく、膜厚を２μｍ超にすることができ、圧電特性に優れた鉛含有ペロブスカイト型酸化物膜、その作製方法、このような酸化物膜からなる圧電体を用いる圧電素子、およびこれを用いる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】鉛含有ペロブスカイト型酸化物膜は、（１００）および／または（００１）配向を主成分とし、かつ鉛を主成分とし、膜厚が、２μｍ超であり、ヒステリシス特性における２つの坑電界が、いずれも正であることにより、または、これに加えさらに、酸化物膜に含有されるカチオンのうちの鉛以外のカチオンに対する鉛のモル比を表す鉛量が、１．０７以上であり、Ｘ線回析のθ／２θ測定において実質的に不純物相を含まない。 （もっと読む）

【課題】変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、第１電極と、該第１電極上に形成されチタン（Ｔｉ）及びジルコニウム（Ｚｒ）を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第１電極とは反対側に形成された第２電極とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第１電極から１００〜５００ｎｍの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第１電極からの距離とし縦軸をＴｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）％とした際のＴｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）％の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が１０％以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が１０％以内である。 （もっと読む）

プリント液がポンピングチャンバからノズルを通して射出されるノズル速度に影響を与える１つ以上のパラメータが測定される方法が説明される。プリント液は圧電層の撓みによって作動されるポンピングチャンバに入れられる。１つ以上のパラメータの測定値に少なくともある程度は基づいて、圧電層作動電極の表面積が減じられる。電極表面積を減じることで圧電層の作動面積が減じる。
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【課題】圧電素子の絶縁性能の低下によって発生する吐出性能の低下を回避し、安定した液体吐出が維持される液体吐出ヘッド駆動回路及び液体吐出装置並びに液体吐出ヘッド駆動方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の絶縁抵抗２０６の抵抗値Ｒ_Ｐは、駆動電圧Ｖ_Ａ、モニタ抵抗器の抵抗値Ｒ_Ｍ、モニタ抵抗器の両端電圧Ｖ_Ｂが用いてＲ_Ｐ＝｛（Ｖ_Ａ−Ｖ_Ｂ）／Ｖ_Ｂ｝×Ｒ_Ｍと表され、Ｖ_Ｂを測定することで既知の駆動電圧Ｖ_Ａ、モニタ抵抗器の抵抗値Ｒ_Ｍを用いて圧電素子の絶縁抵抗値Ｒ_Ｐが求められる。絶縁抵抗値Ｒ_Ｐが低下すると圧電素子に実際に印加される電圧（Ｖ_Ａ−Ｖ_Ｂ）が低下してしまうので、圧電素子に実際に印加される電圧（Ｖ_Ａ−Ｖ_Ｂ）が一定の範囲内になるように駆動電圧Ｖ_Ａが調整される。 （もっと読む）

【課題】屈曲された脚部を有する配線基盤を用いることなく、配線基板と圧電素子との接触を抑制して液体噴射特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４に連通する圧力発生室２１が設けられた流路形成基板２２と、該流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧電素子４０と、前記流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧電素子４０に導通すると共に、前記流路形成基板２２と反対側の面に、傾斜した接続面４７を備える端子部４６と、前記端子部４６の前記接続面４７に電気的に接続され、前記圧電素子４０を駆動する駆動信号を供給する配線層５１が設けられた配線基板５０と、を具備し、前記接続面４７を、前記圧電素子４０側が当該圧電素子４０とは反対側よりも所定の基準面に対して高くする。 （もっと読む）

【課題】駆動信号に影響を与えることなく、駆動電流の検出を可能とする電流検出センサ基板、容量性負荷駆動装置、液体吐出ヘッド駆動装置及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】駆動信号を伝送する駆動信号線１３０の電流を検出する手段として電流検出部９２が設けられ、電流検出部９２は誘電体を介して駆動信号線１３０に近接配置された検出信号線１４７を含んでいる。駆動信号線１３０と検出信号線１４７は電磁界結合されているので、駆動信号線１３０に流れる電流の変化に対応して検出信号線１４７に誘導電流が誘起される。検出信号線１４７から取り出された検出信号は電圧変換部１５０によって電圧に変換され、さらに増幅部１５２によって増幅処理が施された後に判定部９６に送られる。判定部９６では検出信号に基づいて駆動信号線１３０の短絡及び開放の有無及び圧電素子５８の静電容量の変位の有無が判断される。 （もっと読む）

【課題】ヘッド用基板内に温度分布が生じるのを抑えて、記録品位の向上を図る。
【解決手段】絶縁性材料からなる絶縁層が設けられた基板を用意する工程と、絶縁層の上または絶縁層から離れた上方に、導電性材料からなる導電層を形成する工程と、を有する。また、導電層によって、吐出ヒータ５０１を駆動するための電流を吐出ヒータ５０１に供給する導電配線と、導電配線とは電気的に分離された、ヘッド用基板１００を加熱するための熱を発生するサブヒータ５１１，５１２と、を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、記録媒体に筋状の印刷むらの生じにくい印刷装置を提供することである。
【解決手段】 ｎ個（ｎは２以上の整数）の液体吐出孔からなる液体吐出孔群と、ｎ個の加圧部とを備え、前記液体吐出孔が２次元的に、一方方向に等間隔ｄで、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されている複数の液体吐出ヘッドと、搬送手段と、一つの前記液体吐出ヘッドから吐出される液滴に前記一方方向に平行な１ラインを形成するように前記加圧部を制御する制御部とを有し、前記複数の前記液体吐出ヘッドは、前記一方方向と直交する方向に並べられ、１ラインを形成するために前記加圧部に送られる吐出信号のなかで、最初の吐出信号が送られてから、２番目以降に送られる吐出信号までの時間の差を小さい方から順にΔＴ_２〜ΔＴ_ｍとしたとき、前記制御部は、異なる前記液体吐出ヘッドではΔＴ_２〜ΔＴ_ｍのうちの少なくとも１つを異ならせる。
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【課題】ダミー流路による排気性能を損なわずダミー流路と個別流路との干渉を避けやすい構成とした上で、液体吐出ヘッドをノズル配列方向に小型化する。
【解決手段】複数のノズル４８が列をなして開口するノズル開口面４９を有した流路ユニット２１に、液体導入流路４２、共通液室４３、共通液室４３内の液体をノズル４８に供給する個別流路４７、及び個別流路４７とは独立しており共通液室４３に連通してノズル開口面４９に開口するダミー流路５９を形成する。共通液室４３は液体導入流路４２からノズル配列方向に延在する上流領域５３と、上流領域５３の先端部から液体導入流路４２側へと折り返してノズル配列方向に延在する下流領域５４とを有している。下流領域５４の末端部にダミー流路５９を連通させ、ノズル開口面４９においてダミー流路５９の開口を、液体導入流路４２側の末端に位置するノズル４８に対して液体導入流路４２側に配置する。 （もっと読む）

【課題】コストアップを招くことなく、圧電アクチュエータの変位劣化を回復させ、耐久性を向上させる。
【解決手段】 振動板上に下部電極、圧電体、及び上部電極からなる圧電素子を備え、前記振動板が圧力室の一壁面を構成する圧電アクチュエータのメンテナンス方法であって、
前記圧電素子の非駆動状態のときに、前記振動板が前記圧力室とは反対側に凸状となるように前記圧力室の内圧を高める加圧工程を含むことを特徴とする圧電アクチュエータのメンテナンス方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インク流路に連通した複数の圧力室において生じる局部的なインク供給不足を低減できるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数列のインク流路の間に複数の記録素子からなる素子列を配置したヘッドについて、次の配置条件に基づいて記録素子を左右のインク流路のいずれかに連通する。（イ）外側インク流路４ｂに隣接する素子列の一部の圧力室を隣接する内側インク流路４ａに連通し、残りの圧力室を外側インク流路４ｂに連通する（ロ）内側インク流路４ａの両側に対向配置された圧力室は、一方のみ内側インク流路４ａに連通するか、いずれも連通しない（ハ）各インク流路には駆動タイミングの異なる記録素子を連通し、駆動タイミング毎の数をほぼ同数に設定する（ニ）各インク流路に連通する記録素子のうち当該インク流路に隣接する素子列の駆動タイミングの異なる記録素子の数をほぼ同数に設定する。 （もっと読む）

【課題】好適なプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】圧力チャンバ３３と、ノズル流路６６と、ノズル開口部２２とを画定するモノリシック半導体本体２６を有するプリントヘッド。圧力チャンバには、約５０ミクロンまたはそれ以下の厚さの圧電層７６を含む圧電アクチュエータ２８が対応付けられている。半導体本体は、複数の流路開口部を有するフィルタ／インピーダンス構成３２も画定する。半導体本体は研磨ＳＯＩウエハーであることが好ましい。別の態様において、表面のＲａが約０．０５ミクロンまたはそれ以下であるか、または少なくとも１つの表面に空隙充填材を含む圧電層を有するプリントヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】絶縁抵抗値の低下による駆動回路等の故障を回避し、絶縁異常の判断を継続することができる液体吐出ヘッド駆動回路及び液体吐出ヘッド駆動回の保護方法を提供する。
【解決手段】コモン線１１６とグランド間に設けられたモニタ抵抗器１５６によって、コモン線１１６に流れるコモン電流Ｉ_Ｒがモニタされる。圧電素子５８の絶縁抵抗５８Ｂが低下するとコモン電流Ｉ_Ｒが増加し、基準値を超えるとコモン電流制限部１５２が動作してコモン電流Ｉ_Ｒを制限する。コモン電流Ｉ_Ｒの制限範囲は圧電素子５８の絶縁異常を判断できる範囲であり、モニタ抵抗器１５６や駆動回路１００が過負荷にならない範囲である。圧電素子５８の絶縁抵抗５８Ｂが正常範囲で低下したときに絶縁異常の判断を継続しつつモニタ抵抗器１５６や駆動回路１００の過負荷による破損を回避する。 （もっと読む）

【課題】 近年、チップの小型化及び高密度化が進んでおり、ヘッド用基板の面積を大きくすることなく、ヘッド用基板の加熱を行う発熱部を、ノイズを発生させること無く設けることが求められている。
【解決手段】 エネルギーを発生する素子が複数配列された素子列を有する基板と、素子の駆動制御を行う駆動回路と、駆動素子に共通して接続し、素子列に沿って設けられた信号線と、基板の加熱を行うための熱を発生する発熱部を有しするヘッド用基板であって、発熱部は、基板の面に垂直な方向に関して、信号線と重ならないように設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】成膜する膜の組成及び基板サイズによらず、面内方向の組成等の膜特性を高度に均一化することが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】基板ＢとターゲットＴとを対向させて、プラズマを用いた気相成長法により基板Ｂ上にターゲットＴの構成元素を含む膜を成膜するに際して、ターゲットＴの表面から基板Ｂ側に２〜３ｃｍ離れた位置のプラズマ空間のプラズマ電位Ｖｓ（Ｖ）の基板Ｂの面内方向のばらつきを±１０Ｖ以内に調整して、成膜を行う。ターゲットＴの表面から基板２０側に２〜３ｃｍ離れた位置におけるガス圧力の基板Ｂの面内方向のばらつきを±１．５％以内に調整して、成膜を行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】低コストでノーマルピッチ構造における相互干渉の発生を抑制できる液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、画像形成装置を提供することを目的としている。
【解決手段】圧電素子と、圧電素子に電界が印加される活性領域２５１と電界が印加されない不活性領域２５２、２５３とを形成するように配置された内部電極２５０とが積層されて構成されたアクチュエータ１６０を備え、不活性領域２５２、２５３に活性領域２５１と不活性領域２５２、２５３とを分離させる溝２６０を内部電極２５０を切断しないように形成した。 （もっと読む）

【課題】単一のインクジェット記録ヘッドにおいて、記録液の液滴の大きさおよび量を変えて吐出可能であり、高速記録と高密度および高品位記録とをともに達成し、しかも低コスト化や構成の小型化および簡略化を図る。
【解決手段】１枚の第１プレートＨ１２００上に、２つの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１１０１が搭載されている。ブラックインクが供給されてこれを吐出させる第１の記録素子基板Ｈ１１００では、記録素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７との間の距離が長く、収容されるインク量が多いため、大ドットでベタ印字などが効率よく行える。カラーインクが供給されてこれを吐出させる第２の記録素子基板Ｈ１１０１では、記録素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７との間の距離が短く、収容されるインク量が少ないため、小ドットで高精細な高品位記録が可能である。 （もっと読む）

【課題】加熱部の形成容易に行えると共に共通流路内のインクを効率的に加熱するインクジェットヘッドおよびそれを用いた記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくともインクを吐出するノズルと、ノズルからインクを吐出する圧力を発生する圧力室と、圧力室に繋がり圧力室にインクを供給する共通流路１０Ａ、１０Ｂと、圧力室のノズルとは反対側の開口部を覆うように形成された下部電極と、下部電極に積層された圧電体１３と、下部電極および圧電体１３を挟んで圧力室に対向するように圧電体１３に積層された上部電極１１と、共通流路１０Ａ、１０Ｂを加熱するように上部電極１１と同一の層として同一の材料により設けられた加熱部２Ａ、２Ｂと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの低コスト化を可能としたインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１に形成された圧力発生室１０と、基板１の表面側に形成されて圧力発生室１０を覆う振動膜２０と、基板１の表面側であって振動膜２０を挟んで圧力発生室１０と対向する領域に形成された圧電素子３０と、基板１の表面側に形成されて圧電素子３０に接続する配線３４、３５と、ＩＣ素子５０（基板５１と、基板５１の表面に形成されたドライバ回路５２と、基板５１の表面側に形成されてドライバ回路５２に接続するバンプ電極５３と、を含む。）と、凹部４１ａを有する封止板４０と、を備える。バンプ電極５３は配線３４、３５に接合され、封止板４０は、ＩＣ素子５０と圧電素子３０とを凹部４１ａの内側に収納した状態で、基板１の表面側に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子など複数個の容量性負荷の容量を検査する方法を提供し、かかる検査機能を具備した容量性負荷駆動装置並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】給電ライン(104)とグランド(106)の間に複数個の容量性負荷(102)が並列に配置されてなる容量性負荷群の各容量性負荷のそれぞれに対応して設けられたスイッチ素子（PZ_SW1〜ｎ）を制御して、複数個の容量性負荷のいずれかについて選択的に直流電圧を印加して当該選択に係る容量性負荷の充電を行うことにより、当該容量性負荷の充電特性を示す情報を取得する。充電時にはスイッチ素子（SW_2）を介して電流規制抵抗（R_i）を挿入し、充電電流を絞ることで充電電圧の上昇カーブを緩やかにして測定精度の向上を図る。また、スイッチ素子(SW_3)を介して接続される基準容量性負荷(C_Ref)の充電特性を示す情報との比較から各容量性負荷の容量を求めることができる。 （もっと読む）