【課題】装置の小型化を図る。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル３８ａに夫々対応する複数の圧力室４１が設けられた流路ユニット１７と、圧力室４１内のインクに移送圧力を与えるべく流路ユニット１７に重ねられたアクチュエータ１８と、流路ユニット１７に重ねられたフレーム１３とを備え、流路ユニット１７は、アクチュエータ１８が重ねられた側の幅狭部２６と、幅狭部２６の反対側にあって幅狭部２６よりも幅寸法が広い幅広部２７とを有し、フレーム１３は、アクチュエータ１８及び幅狭部２６を囲むように幅広部２７の外側部分２７ａに重ねられている。 （もっと読む）

【課題】マトリクス状に配置されたノズルと長大化したインク供給路とを有していても良好な液体吐出特性を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクが導入される第１の本流リザーバ７１及び第１の本流リザーバ７１からインクが供給される複数の支流リザーバ７２を備えるインク供給路７０と、支流リザーバ７２に連通してマトリクス状に配置された一群のノズル３４と、第１の本流リザーバ７１を加熱する第１の加熱部材９１と、各支流リザーバ７２を加熱する第２の加熱部材９２とを具備し、第１の加熱部材９１と第２の加熱部材９２とは別々に加熱され、且つ、各支流リザーバ７２は他の支流リザーバ７２と別々に加熱され、第２の加熱部材９２は、ノズル３４の利用状況に応じて支流リザーバ７２の加熱状態を変更するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータのベース部材と圧電素子間で導通をとり、駆動特性を安定化する。
【解決手段】圧電素子群５の長さ方向の両側面以外の圧電素子部材１４の他の３面に下地層の上に半田層を成膜して個別電極１８と共通電極１９及びベース部材６との接合層２０を同時に形成する。この圧電素子部材１４の接合層２０をベース部材６に半田接合し、圧電素子部材１４とベース部材６間で導通をとり、共通電極１９に個別電極１８からの電流が集中しても安定した吐出特性を得る。 （もっと読む）

【課題】 複数の個別電極に電気的に接続される駆動装置の製造コストを抑制可能な記録ヘッド及びインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 インクジェットヘッド１は、ノズル８に連通する複数の圧力室１０を備えた流路ユニット４と、複数の圧力室１０に夫々対応して設けられた複数の個別電極３５を有し、圧力室１０の容積を変化させるアクチュエータユニット２１と、複数の個別電極３５と電気的に接続され、アクチュエータユニット２１を駆動するドライバＩＣ８０とを備えており、互いに異なる数の個別電極３５で構成された複数の個別電極３５の組に、複数の同一のドライバＩＣ８０ａ，８０ｂが夫々電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】流路抵抗の低減により吐出性能が改善されたノズルを備えたインクジェットヘッドを製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、流入口が形成される第１プレートを加工する工程と、チャンバ及び流入口が形成される第２プレートを加工する工程と、第２プレートの上面に第１プレートを接合する工程と、リストリクタ及びリザーバが形成される第３プレートを加工する工程と、ノズルが形成されるようにフェムト秒レーザを照射して第４プレートを加工する工程と、第３プレートの下面に第４プレートを接合する工程と、第２プレートの下面に第３プレートを接合する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動回路を複雑化することなく、３滴以上のマルチドロップを着弾位置ずれを抑えて安定吐出可能なインクジェット記録装置の提供。
【解決手段】一印刷周期内に印加される少なくとも３つの駆動パルスのうち、最初に印加される第１パルスの待機時間がＡＬ（ＡＬは圧力室の音響的共振周期の１／２）の２倍よりも長く４倍よりも短く、最後に印加される最終パルスの待機時間が前記ＡＬの偶数倍であり、前記第１パルスと前記最終パルスの間に印加される各中間パルスの待機時間が前記ＡＬの１倍以上２倍未満であり、各駆動パルスにおける膨張パルスの電圧は互いに実質的に等しく、かつ、収縮パルスの電圧は互いに実質的に等しいことを特徴とするインクジェット記録装置。 （もっと読む）

【課題】変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、下電極６０と、下電極６０上に形成された圧電体層７０と、圧電体層７０の下電極６０とは反対側に形成された上電極８０と、を備え、圧力発生室１２に圧力を発生させてノズル開口から液滴を吐出する圧電素子３００と、を具備し、下電極６０は、ランタンニッケル酸化物を含む第一電極層６１と、第一電極層６１の圧電体層７０側に形成され、ペロブスカイト型構造を有する遷移金属酸化物を含む第二電極層６２と、を有し、第二電極層６２の面内の格子定数は、第一電極層６１の面内の格子定数よりも大きく、且つ圧電体層７０の面内の格子定数よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、第１電極６０と、該第１電極６０上に形成された圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０と、を備え、前記圧力発生室に圧力を発生させて前記ノズル開口から液滴を吐出する圧電素子３００と、を具備し、前記第１電極６０及び前記第２電極８０に電圧が印加されていない状態において、前記圧電体層７０の内部電界が、前記第１電極６０側又は第２電極８０側に偏っている。 （もっと読む）

【課題】容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は、母型基板１を準備する工程と、母型基板１の上方に、第１マスク層Ｒ１をマスクとして第１基板１０を形成する工程と、第１基板１０の上方に、第２マスク層Ｒ２をマスクとして第２基板２０を形成する工程と、第１マスク層Ｒ１および第２マスク層Ｒ２と、母型基板１と、を除去して、第１基板１０にノズル孔１２を形成すると伴に、第２基板２０にノズル孔１２と連通する開口部２２を形成する工程と、第１基板１０の上面１０ｂおよび下面１０ａと、ノズル孔１２を区画している第１基板１０の側面１０ｃと、開口部２２を区画している第２基板２０の側面２０ａと、に撥液処理を行う工程と、開口部２２の上方に、振動板３０および圧電素子４０を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】より高い周波数で液滴を吐出可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明は、圧電振動子（１８）を、互いに積層された上層圧電体（２４）及び下層圧電体（２５）と、これらの上層圧電体（２４）及び下層圧電体（２５）の境界に形成され、駆動信号の供給源に導通される駆動電極（２３）と、上層圧電体（２４）の表面に形成される共通上電極（２６）と、下層圧電体（２５）の表面に形成される共通下電極（２７）とを備える多層構造の圧電振動子（１８）によって構成すると共に、ノズル開口（１０）及びインク供給口（５）のイナータンスを、圧力発生部（６，１３，１６）のイナータンスよりも大きく設定する。 （もっと読む）

【課題】液体を円滑に循環させると共に液体の過度の低粘度化を抑制して良好な液体吐出
特性を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクが供給される第１のリザーバ２０と、第１のリザーバ２０から流入し
たインクをノズル１３から吐出させる圧力発生室１１と、圧力発生室１１からインクが流
入した第２のリザーバ２１とを備え、第２のリザーバ２１のインクが第１のリザーバ２０
に再度供給されることでインクが第１のリザーバ２０及び第２のリザーバ２１を循環する
よう構成されたインクジェット式記録ヘッド１０であって、第１のリザーバ２０のインク
は加熱する加熱部材６１と、第２のリザーバ２１のインクを冷却する冷却部材６２とを具
備する。 （もっと読む）

【課題】プランジャの変位量を積層型圧電素子の変位量よりも増大させる。
【解決手段】容器１１内で初期位置から吐出位置に移動する動作に伴って液剤２５を押しながら液剤をノズル孔１３ｃから外部に吐出させるプランジャ１８と、一端面１４ｂが固定部材１２に固定され且つ他端面１４ｃがプランジャ１８の鍔部上面１８ａ１に対して接離自在に設けられ、駆動電圧波形の印加に伴って変位した他端面１４ｃで押圧してプランジャ１８を吐出位置に向かって変位させる積層型圧電素子１４と、プランジャ１８を初期位置に戻すように付勢するバネ部材１９と、を備え、積層型圧電素子１４でプランジャ１８を初期位置から吐出位置に向かって所定量変位させたときに駆動電圧波形の印加を止めて、プランジャ自身の慣性力によりプランジャ１８を積層型圧電素子１４から離間させ、プランジャ１８をバネ部材１９に抗して吐出位置に向かって更に変位させる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位ばらつきを低減し、歩留りを向上させること。
【解決手段】液体を吐出するノズルに連通する圧力室が形成される基板に、圧電体および電極を有する圧電素子を形成し（ステップＳ２）、形成された前記圧電素子の静電容量と前記圧電素子のサイズとを実測し（ステップＳ４）、実測結果から前記圧電素子の変位量を予測し（ステップＳ６）、予測された前記圧電素子の変位量に基づいて、前記圧電素子の変位量を変更する加工処理の補正値を決め（ステップＳ８）、前記補正値を用いて前記加工処理を行うことで前記圧電素子間の変位量のばらつきを補正する（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】従来に比してヒステリシスの偏り、非対称性が小さく、圧電定数がプラス方向で大きく良好な特性を持ち、正電圧印加（正電界印加状態）でも大きな変位が得られ、正常に駆動させることができ、汎用の駆動ＩＣを用いることができる鉛含有圧電膜、その作製方法、これを用いる圧電素子およびこれを用いる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】鉛を含有する圧電膜であり、その膜厚が、３μｍ以上であり、ｄ３１（＋）／ｄ３１（−）＞０．５であり、ｄ３１（＋）＞１００ｐｍ／Ｖであり、好ましくは、圧電膜中の鉛量が１．０３以下である。なお、ｄ３１（＋）およびｄ３１（−）は、それぞれ圧電膜に上部および下部電極を形成して上部電極に正電圧および負電圧を印加した時に測定される圧電膜の圧電定数である。 （もっと読む）

【課題】共通インク供給室における圧力波の減衰効率の向上と、隣接するノズル列の間での混液防止とを両立させる。
【解決手段】第１吐出系１１０〜１３０と第２吐出系２００を有するインクジェットヘッドにおいて、第１吐出系は、ノズルがＹ方向に配列される２つのノズル列からなる複数の第１ノズル列組を有し、マニホールドは、第１ノズル列組のノズル列間に、Y方向延存部分４３aを有し、第２吐出系は、ノズルがＹ方向に配列される２つのノズル列からなる複数の第２ノズル列組を有し、マニホールドは、第２ノズル列組の２つのノズル列の各列に対応して設けられたＹ方向延存部分４４ａを有し、第２ノズル列組をなすノズル列の一方に対応して設けられる４４ａが、他方のノズル列とは反対側に位置し、隣接する２つの第２ノズル列組に属するノズル列のうち、互いに異なる組に属し且つ互いに隣り合う位置にある２列のノズル列には、同一の４４ａが対応する。 （もっと読む）

【課題】圧電体におけるヒステリシス特性の２つの抗電界が両方とも正電界側とすることができ、かつ応力を生じさせることなく、膜厚を２μｍ超にすることができ、圧電特性に優れた鉛含有ペロブスカイト型酸化物膜、その作製方法、このような酸化物膜からなる圧電体を用いる圧電素子、およびこれを用いる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】鉛含有ペロブスカイト型酸化物膜は、（１００）および／または（００１）配向を主成分とし、かつ鉛を主成分とし、膜厚が、２μｍ超であり、ヒステリシス特性における２つの坑電界が、いずれも正であることにより、または、これに加えさらに、酸化物膜に含有されるカチオンのうちの鉛以外のカチオンに対する鉛のモル比を表す鉛量が、１．０７以上であり、Ｘ線回析のθ／２θ測定において実質的に不純物相を含まない。 （もっと読む）

【課題】３ビット以上の所定桁数のビットデータで構成された、ノズルの動作態様を選択するための噴射信号が液滴噴射ヘッドへ続けて送信される際の、配線から放射されるノイズを極力低減すること。
【解決手段】プリンタの制御装置８は、インクジェットヘッドの各ノズルが取り得る、液滴噴射に関する複数種類の動作態様にそれぞれ対応した複数種類の噴射信号を生成する信号生成部と、前記噴射信号を構成する所定桁数のビットデータをインクジェットヘッドのドライバＩＣ４７へシリアル出力する信号供給部とを備えている。ここで、複数種類の噴射信号は、信号供給部からドライバＩＣ４７へ複数の噴射信号のビットデータが続けてシリアル出力されるときに、噴射信号の使用頻度が高いほど、ビットデータの２値切り替え回数が少なくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、第１電極と、該第１電極上に形成されチタン（Ｔｉ）及びジルコニウム（Ｚｒ）を含有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第１電極とは反対側に形成された第２電極とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層を電子エネルギー損失分光法で厚さ方向に前記第１電極から１００〜５００ｎｍの範囲において測定した結晶構造は、単斜晶系構造の部分を有し、測定結果について横軸を前記第１電極からの距離とし縦軸をＴｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）％とした際のＴｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）％の、単斜晶系となる範囲からの菱面体晶系への変動が１０％以内であり、且つ、単斜晶系となる範囲からの正方晶系への変動が１０％以内である。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの製造時にフレキシブル配線部材が圧電層に接触してしまうのを防止する。
【解決手段】圧電アクチュエータを製造するためには、まず、圧電層４２の上面に形成された上部電極４５の接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６を形成し、これとは別の工程で、予め形成されたＣＯＦ５０における基材５１の圧力室１０と対向することなる複数の領域Ａ１に、それぞれ複数の切れ込み５１ａ、５１ｂを形成し、続いて、基材５１の下面の圧電層４２と対向することとなる部分に接着剤層５５を形成する。次に、ＣＯＦ５０と圧電層４２とを位置合わせした状態で、ヒータＨによりＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することにより、基材５１の下面に形成されたランド５２と導電性バンプ４６とを接触させるとともに、接着剤層５５により、ＣＯＦ５０と圧電層４２とを接合する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの製造時に、配線部材が圧電層に接触してしまうのを防止する。
【解決手段】圧電アクチュエータを製造するには、まず、振動板４０、圧電層４１、４２、電極４３〜４５の積層体の上面に形成された上部電極４５の接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６を形成する。そして、これとは別に、下面にランド５２及び配線５３が形成された基材５１の上面におけるランド５２と対向する部分に突出部５６を形成し、続いて基材５１の下面に熱硬化性の接着剤層５５を形成する。次に、ＣＯＦ５０を圧電層４２の上面に配置し、ヒータＨにより、突出部５６を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することでランド５２と導電性バンプ４６とを電気的に接続するとともに、基材５１と圧電層４２とを接合する。 （もっと読む）