【課題】圧電アクチュエータの製造時にフレキシブル配線部材が圧電層に接触してしまうのを防止する。
【解決手段】圧電アクチュエータを製造するためには、まず、圧電層４２の上面に形成された上部電極４５の接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６を形成し、これとは別の工程で、予め形成されたＣＯＦ５０における基材５１の圧力室１０と対向することなる複数の領域Ａ１に、それぞれ複数の切れ込み５１ａ、５１ｂを形成し、続いて、基材５１の下面の圧電層４２と対向することとなる部分に接着剤層５５を形成する。次に、ＣＯＦ５０と圧電層４２とを位置合わせした状態で、ヒータＨによりＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することにより、基材５１の下面に形成されたランド５２と導電性バンプ４６とを接触させるとともに、接着剤層５５により、ＣＯＦ５０と圧電層４２とを接合する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの製造時に、配線部材が圧電層に接触してしまうのを防止する。
【解決手段】圧電アクチュエータを製造するには、まず、振動板４０、圧電層４１、４２、電極４３〜４５の積層体の上面に形成された上部電極４５の接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６を形成する。そして、これとは別に、下面にランド５２及び配線５３が形成された基材５１の上面におけるランド５２と対向する部分に突出部５６を形成し、続いて基材５１の下面に熱硬化性の接着剤層５５を形成する。次に、ＣＯＦ５０を圧電層４２の上面に配置し、ヒータＨにより、突出部５６を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することでランド５２と導電性バンプ４６とを電気的に接続するとともに、基材５１と圧電層４２とを接合する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドにおけるインクの吐出信号を効率よく転送する。
【解決手段】クロック逓倍回路８１は、変調装置から入力された基準クロックＣＬＫを逓倍することにより復調用逓倍クロックＤＭＣＬＫを生成して復調回路８２に出力する。復調回路８２には、変調回路から、３ビットのインクの吐出信号ＳＩＮ０、ＳＩＮ１、ＳＩＮ２の値に応じて、基準クロックＣＬＫを基準としたときのその値が切り替わるタイミングが互いに異なる複数種類の変調吐出信号ＤＡＴＡが入力される。そして、復調回路８２は、基準クロックＣＬＫの値が切り替わってから、変調装置から入力端子６１ｂに入力された変調吐出信号ＤＡＴＡの値が切り替わるまでの間に復調用逓倍クロックＤＭＣＬＫの値が切り替わった回数に応じて、吐出信号ＳＩＮ０、ＳＩＮ１、ＳＩＮ２を出力する。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室等の溝部を形成する前段階で性能を比較的高精度に評価できるアクチュエータ装置の評価方法及び液体噴射ヘッドの評価方法を提供する。
【解決手段】評価方法は、圧電素子３００を形成した後、圧力発生室を形成する前にアクチュエータの性能を評価するものであり、まず、圧電素子３００と同時に形成され、第２電極８０の面積が互いに異なる圧電素子３００のテストパターン４０１を測定領域とし、各測定領域の第１電極６０及び第２電極８０に電圧を印加して、各測定領域の第１電極６０側及び第２電極８０側の変位量をレーザードップラー変位計により同時に測定して、圧電素子のテストパターン４０１の変位量を測定し、各測定領域の第２電極８０の面積に対する圧電素子３００の変位量の変化率を求める。 （もっと読む）

【課題】複数枚のプレートを積層して構成される流路ユニットに液体流路内に流れる液体の温度調整をするための構成を採用した場合に、製造時に積層方向へ生ずる各プレートの変形を極力抑え、かかる変形を考慮せずに製造できるとともに、前記液体の温度調整を可能にした液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド６は、圧力室２６を含み、複数枚のプレートが積層された流路ユニット１０と、ノズル２８からインクを噴射するための噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ３０（エネルギー付与手段）とを備え、流路ユニット１０に含まれる流路構造体１２には、循環路５０が形成されている。循環路５０は、プレート１５及び１６の各々に間隔をあけて形成された複数の溝を有し、溝の端部が、積層方向において連通して管状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】製作収率が向上され、各構成間の堅固な結合力に基づいて安定した品質を確保できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは、インクを貯留するリザーバ、リザーバにインクを供給する流入口、リザーバからインクが供給されるチャンバ、リザーバとチャンバを連結するリストリクタ、インクを吐出するノズル、及びチャンバとノズルとの間に介在されるダンパ部を含むインクジェットヘッドであって、ダンパ部の一部、チャンバ、リザーバ、及びリストリクタが形成されたシリコン材質の第１プレートと、チャンバをカバーするように第１プレートの上面に接合されたガラス材質の振動板と、第１プレートの下面に接合され、ダンパ部の一部が形成されたガラス材質の第２プレートと、第２プレートの下面に接合され、ノズルが形成されたシリコン材質のノズル板とを含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、記録媒体に筋状の印刷むらの生じにくい印刷装置を提供することである。
【解決手段】 ｎ個（ｎは２以上の整数）の液体吐出孔からなる液体吐出孔群と、ｎ個の加圧部とを備え、前記液体吐出孔が２次元的に、一方方向に等間隔ｄで、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されている複数の液体吐出ヘッドと、搬送手段と、一つの前記液体吐出ヘッドから吐出される液滴に前記一方方向に平行な１ラインを形成するように前記加圧部を制御する制御部とを有し、前記複数の前記液体吐出ヘッドは、前記一方方向と直交する方向に並べられ、１ラインを形成するために前記加圧部に送られる吐出信号のなかで、最初の吐出信号が送られてから、２番目以降に送られる吐出信号までの時間の差を小さい方から順にΔＴ_２〜ΔＴ_ｍとしたとき、前記制御部は、異なる前記液体吐出ヘッドではΔＴ_２〜ΔＴ_ｍのうちの少なくとも１つを異ならせる。
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【課題】圧電素子の絶縁性能の低下によって発生する吐出性能の低下を回避し、安定した液体吐出が維持される液体吐出ヘッド駆動回路及び液体吐出装置並びに液体吐出ヘッド駆動方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の絶縁抵抗２０６の抵抗値Ｒ_Ｐは、駆動電圧Ｖ_Ａ、モニタ抵抗器の抵抗値Ｒ_Ｍ、モニタ抵抗器の両端電圧Ｖ_Ｂが用いてＲ_Ｐ＝｛（Ｖ_Ａ−Ｖ_Ｂ）／Ｖ_Ｂ｝×Ｒ_Ｍと表され、Ｖ_Ｂを測定することで既知の駆動電圧Ｖ_Ａ、モニタ抵抗器の抵抗値Ｒ_Ｍを用いて圧電素子の絶縁抵抗値Ｒ_Ｐが求められる。絶縁抵抗値Ｒ_Ｐが低下すると圧電素子に実際に印加される電圧（Ｖ_Ａ−Ｖ_Ｂ）が低下してしまうので、圧電素子に実際に印加される電圧（Ｖ_Ａ−Ｖ_Ｂ）が一定の範囲内になるように駆動電圧Ｖ_Ａが調整される。 （もっと読む）

【課題】２つのフィルタが用いられているときにパージに伴って廃棄される液体量を抑制しつつ、気泡を効果的に排出する。
【解決手段】インクは、フィルタ支持部材４１に支持されたフィルタ７９を通過してインク流路７３を流れる。貫通孔４３ａから流れ落ちて中心位置４４ｃにおいて２つに分岐したインクは、１８個の流入流路（貫通孔４４ｂ及び貫通孔４７ａ、４７ｂ）を通過してフィルタ１０６を介して流路ユニット９に達する。貫通孔４４ｂの上端には、排出流路の上流域である貫通孔４３ｄが接続されている。１８個の排出流路は、プレート４３の中央個所４３ｃにおいて１つに合流し、フィルタ支持部材４１内のインク流路８６を経て排出口に達する。 （もっと読む）

【課題】ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッドであって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、また、インク漏れを防止して、安価に大量生産可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電基板からなるインクジェットヘッドチップ１０と、このインクジェットヘッドチップ１０が取り付けられるノズルプレート保持部材１１と、インクジェットヘッドチップ１０およびノズルプレート保持部材１１に取り付けられるノズルプレート２１とを有する。ノズルプレート保持部材１１は、インクジェットヘッドチップ１０の裏面に当接している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インク流路に連通した複数の圧力室において生じる局部的なインク供給不足を低減できるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数列のインク流路の間に複数の記録素子からなる素子列を配置したヘッドについて、次の配置条件に基づいて記録素子を左右のインク流路のいずれかに連通する。（イ）外側インク流路４ｂに隣接する素子列の一部の圧力室を隣接する内側インク流路４ａに連通し、残りの圧力室を外側インク流路４ｂに連通する（ロ）内側インク流路４ａの両側に対向配置された圧力室は、一方のみ内側インク流路４ａに連通するか、いずれも連通しない（ハ）各インク流路には駆動タイミングの異なる記録素子を連通し、駆動タイミング毎の数をほぼ同数に設定する（ニ）各インク流路に連通する記録素子のうち当該インク流路に隣接する素子列の駆動タイミングの異なる記録素子の数をほぼ同数に設定する。 （もっと読む）

【課題】絶縁抵抗値の低下による駆動回路等の故障を回避し、絶縁異常の判断を継続することができる液体吐出ヘッド駆動回路及び液体吐出ヘッド駆動回の保護方法を提供する。
【解決手段】コモン線１１６とグランド間に設けられたモニタ抵抗器１５６によって、コモン線１１６に流れるコモン電流Ｉ_Ｒがモニタされる。圧電素子５８の絶縁抵抗５８Ｂが低下するとコモン電流Ｉ_Ｒが増加し、基準値を超えるとコモン電流制限部１５２が動作してコモン電流Ｉ_Ｒを制限する。コモン電流Ｉ_Ｒの制限範囲は圧電素子５８の絶縁異常を判断できる範囲であり、モニタ抵抗器１５６や駆動回路１００が過負荷にならない範囲である。圧電素子５８の絶縁抵抗５８Ｂが正常範囲で低下したときに絶縁異常の判断を継続しつつモニタ抵抗器１５６や駆動回路１００の過負荷による破損を回避する。 （もっと読む）

プリント液がポンピングチャンバからノズルを通して射出されるノズル速度に影響を与える１つ以上のパラメータが測定される方法が説明される。プリント液は圧電層の撓みによって作動されるポンピングチャンバに入れられる。１つ以上のパラメータの測定値に少なくともある程度は基づいて、圧電層作動電極の表面積が減じられる。電極表面積を減じることで圧電層の作動面積が減じる。
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【課題】ダミー流路による排気性能を損なわずダミー流路と個別流路との干渉を避けやすい構成とした上で、液体吐出ヘッドをノズル配列方向に小型化する。
【解決手段】複数のノズル４８が列をなして開口するノズル開口面４９を有した流路ユニット２１に、液体導入流路４２、共通液室４３、共通液室４３内の液体をノズル４８に供給する個別流路４７、及び個別流路４７とは独立しており共通液室４３に連通してノズル開口面４９に開口するダミー流路５９を形成する。共通液室４３は液体導入流路４２からノズル配列方向に延在する上流領域５３と、上流領域５３の先端部から液体導入流路４２側へと折り返してノズル配列方向に延在する下流領域５４とを有している。下流領域５４の末端部にダミー流路５９を連通させ、ノズル開口面４９においてダミー流路５９の開口を、液体導入流路４２側の末端に位置するノズル４８に対して液体導入流路４２側に配置する。 （もっと読む）

【課題】 液体加圧室内の液体の温度調節のできる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 電気抵抗体からなるヒータープレート２２を含む複数のプレート２２〜３１が積層されてなる、複数の液体吐出孔８と複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室１０とヒータープレート２２の主面に形成されているヒーター配線４１、４２とを備える流路部材４と、複数の前記液体加圧室１０内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧手段（変位素子５０）とを備える液体吐出ヘッドである。
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【課題】コストアップを招くことなく、圧電アクチュエータの変位劣化を回復させ、耐久性を向上させる。
【解決手段】 振動板上に下部電極、圧電体、及び上部電極からなる圧電素子を備え、前記振動板が圧力室の一壁面を構成する圧電アクチュエータのメンテナンス方法であって、
前記圧電素子の非駆動状態のときに、前記振動板が前記圧力室とは反対側に凸状となるように前記圧力室の内圧を高める加圧工程を含むことを特徴とする圧電アクチュエータのメンテナンス方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】屈曲された脚部を有する配線基盤を用いることなく、配線基板と圧電素子との接触を抑制して液体噴射特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４に連通する圧力発生室２１が設けられた流路形成基板２２と、該流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧電素子４０と、前記流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧電素子４０に導通すると共に、前記流路形成基板２２と反対側の面に、傾斜した接続面４７を備える端子部４６と、前記端子部４６の前記接続面４７に電気的に接続され、前記圧電素子４０を駆動する駆動信号を供給する配線層５１が設けられた配線基板５０と、を具備し、前記接続面４７を、前記圧電素子４０側が当該圧電素子４０とは反対側よりも所定の基準面に対して高くする。 （もっと読む）

【課題】駆動信号に影響を与えることなく、駆動電流の検出を可能とする電流検出センサ基板、容量性負荷駆動装置、液体吐出ヘッド駆動装置及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】駆動信号を伝送する駆動信号線１３０の電流を検出する手段として電流検出部９２が設けられ、電流検出部９２は誘電体を介して駆動信号線１３０に近接配置された検出信号線１４７を含んでいる。駆動信号線１３０と検出信号線１４７は電磁界結合されているので、駆動信号線１３０に流れる電流の変化に対応して検出信号線１４７に誘導電流が誘起される。検出信号線１４７から取り出された検出信号は電圧変換部１５０によって電圧に変換され、さらに増幅部１５２によって増幅処理が施された後に判定部９６に送られる。判定部９６では検出信号に基づいて駆動信号線１３０の短絡及び開放の有無及び圧電素子５８の静電容量の変位の有無が判断される。 （もっと読む）

【課題】好適なプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】圧力チャンバ３３と、ノズル流路６６と、ノズル開口部２２とを画定するモノリシック半導体本体２６を有するプリントヘッド。圧力チャンバには、約５０ミクロンまたはそれ以下の厚さの圧電層７６を含む圧電アクチュエータ２８が対応付けられている。半導体本体は、複数の流路開口部を有するフィルタ／インピーダンス構成３２も画定する。半導体本体は研磨ＳＯＩウエハーであることが好ましい。別の態様において、表面のＲａが約０．０５ミクロンまたはそれ以下であるか、または少なくとも１つの表面に空隙充填材を含む圧電層を有するプリントヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上することができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を含む個別流路が設けられた流路形成基板１０と、流路形成基板１０に積層され、個別流路に連通するリザーバ部３２が設けられたリザーバ形成基板３０とを具備し、リザーバ部３２は、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通する貫通部３３と、流路形成基板１０とは反対側の面に開口し個別流路が設けられた領域に対向して設けられた凹部３４とを備え、凹部３４の底面には、柱状の押圧部３６が、リザーバ形成基板３０の厚さ方向に沿って立設されている。 （もっと読む）