【課題】チャンバ内の上昇する圧力の影響を実質的に受けない上昇率流量検出器の提供。
【解決手段】流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）１１０からの流体の流れを収容するように構成されるチャンバ１３０と、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサ１８０と、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器１７０と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズル１４０とを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。 （もっと読む）

【課題】計測環境に影響されない流量の計測を可能にする。
【解決手段】流量計（２０）を通してワークに供給する気体を調圧弁（１２）でテスト圧に設定し、流量計によりワークから流出する計測環境での流量を計測し、ワークに供給する気体の温度と計測環境の気圧を測定し、測定した温度と気圧により流量換算部（３０Ｒ）において標準状態の流量への変換係数Ｒを計算し、流量等価部（３０Ｅ）において換算流量に対し換算係数の平方根で割り算して計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量を求め、表示する。 （もっと読む）

本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】標準流量等を安定して正確に計測可能な流量計及び流量計測方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波流量計１０は、第１と第２の超音波送受波器１４，１５を用いて、計測管１３内の気体の流速Ｖと温度Ｔ１とを計測し、静圧計１７を用いて計測管１３内の気体の静圧Ｐ１を計測している。そして、流速Ｖから気体の動圧Ｐ２と、静圧Ｐ１と動圧Ｐ２の和で全圧Ｐ３を演算している。そして、これら計測又は演算した実際の流速Ｖ、実際の温度Ｔ１及び実際の全圧Ｐ３と、ボイルシャルルの法則に基づく関係式とを使用して、実際の流速Ｖを、予め定めた標準温度Ｔ０及び標準全圧Ｐ０で計測管１３内の単位面積に流れる気体の標準単位流量Ｑｘと、その標準単位流量Ｑｘに計測管１３の内側断面積を乗じた標準流量Ｑとを演算して出力している。 （もっと読む）

プロセス流体の流れの装置（１２）は、電源モジュール（２４）、プロセス通信回路（２０）、プロセッサ（２６）及び測定回路（２８）を含む。プロセス通信回路（２０）は、電源モジュール（２４）と、プロセッサ（２６）とに結合される。測定回路（２８）は、差圧、静圧及びプロセス流体温度の表示を得るために、複数のプロセス変数センサに動作可能に結合可能である。プロセッサ（２６）は、プロセス流体の質量流量を演算し、静圧及びプロセス流体温度を用いて、プロセス流体に関連する単位質量値当たりのエネルギを得て、エネルギの流れの表示を提供するように構成される。
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【課題】演算量を増大させることなく流入する流体の密度に影響されずに、流量を推定する方法および装置を提供する。
【解決手段】ブロア２の回転速度を温度で補正した修正回転数と、ブロア２の吐出圧と、ブロア２の送出する流量を吐出圧と流体の温度で補正した修正流量との関係を表す関係データ１５と、ブロア２の回転速度を検出する回転数センサ３と、ブロア２の吐出圧を検出する吐出圧センサ４と、ブロア２に流入する流体の温度を計測する温度センサ５と、回転数センサ３で検出した回転速度を温度センサ５で計測した温度で補正した修正回転数を算出する修正回転数算出部１２と、ブロア２の修正回転数と吐出圧と修正流量との関係を表す関係データ１５から、吐出圧と修正回転数で決まる修正流量を算出する修正流量算出部１３と、修正流量算出部１３で算出した修正流量から吐出圧と温度の補正を除いた流量を計算する流量算出部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易算出モードと詳細算出モードとを有する流量算出装置をＦＤＴ／ＤＴＭ技術に対応可能とする。
【解決手段】流量算出装置１００に対して、上記パラメータを入力するパラメータ設定装置であって、上記簡易算出モードあるいは上記詳細算出モードのいずれかのモードを設定してモード設定信号出力するモード設定部２３及び上記モード設定信号に基づいて上記パラメータを選別して出力するパラメータ選別部２２を有するパラメータ設定部２１と、上記パラメータ設定部２１から入力される上記パラメータ及び上記モード設定信号に基づくモードフラグを記憶する記憶部４と、該記憶部４に記憶された上記パラメータ及び上記モードフラグを上記流量算出装置１００に入力する通信処理部５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ガスボンベに充填されたガスの残量を正確に把握することに可能であり、ボンベへのガス補充時期やボンベの交換時期を最適化することができる流量計を提供する。
【解決手段】容器に充填されたガスを所定の工程に導くガス配管路に流れるガスの質量流量を計測する質量流量計測部と、容器に充填されたガスの特性情報を入力する入力部と、この特性情報から標準状態における体積値にガスの体積情報を換算する標準状態体積変換部と、入力部に入力されたガスの特性情報から体積流量に質量流量を換算する流量換算部と、この流量換算部が換算したガスの体積流量とガスが所定の工程に供給された時間との積からガスの積算流量を求める積算流量演算部と、標準状態体積変換部が換算したガスの体積値と積算流量演算部が求めた積算流量との差分から容器に充填されたガスの残量を求める残量演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】水蒸気等が含有されているにもかかわらず、ガスのみの流量を正確に計測できる流量計測方法を提供。上述の正確な計測をするのに高価な流量計を用いる必要のない流量計測方法を提供。
【解決手段】管体を通してガスが供給され、該管体に取り付けられた第１流量計により該ガスの流量値が検出されるガス供給経路にあって、
該第１流量計の下流側の前記管体に、該第１流量計よりも測定精度が優れ該第１流量計とは異なる第２流量計を取り付ける行程と、
該第２流量計の出力から水蒸気を含まないガスの流量を演算する行程と、
該ガスの流量の演算結果から前記第１流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を前記第１流量計の検出値として用いる行程と、
前記管体から少なくとも前記第２流量計を取り外す行程と、を有し、
前記補正された流量値は水蒸気を含まないガスの流量値に相当する値となっていることを特徴とする流量計測方法。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を制御する熱式質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】熱式質量流量コントローラは、流体を受けるように構成されている導管と、流体が導管内を通過する際に、流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、流体の周囲温度を測定するように構成されている温度センサと、流体の流速を表す出力を発生するように構成されている熱センサとを含む。熱式質量流量コントローラは、更に、熱センサからの出力、圧力センサによって測定した圧力、および温度センサによって測定した周囲温度を監視し、熱吸引によって起こる熱センサの出力のずれを補償するように、導管内における流体の流量を規制するように構成されている制御システムを含む。 （もっと読む）

【課題】気体の実流量を計測する超音波流量計で、密度測定用の特別の送波器や受波器を設けることなく、質量流量や標準状態の体積流量を算出する。
【解決手段】超音波送受波器１と２の間で、順方向と逆方向に超音波の送受信をし、両方向の到達時間から実流量を求める。受信波の第３波のピーク値から媒体の音響インピーダンスを求め、到達時間から求めた音速で割って流体の密度を算出する。前記実流量に密度を乗算して質量流量を求める。実流量と密度はノルマル流量換算部１３に入力され、０℃、１気圧の標準状態における体積流量に換算される。 （もっと読む）

【課題】 本発明はガス供給終了後にガス充填ホース内の圧力差を補正する際にガスの温度上昇に伴う体積膨脹分も考慮して補正ことを課題とする。
【解決手段】 制御装置１６は、ガス供給前におけるガス供給経路１８内のガス供給開閉弁２２よりも下流側のガス量を、ガス供給開閉弁２２より下流のガス供給経路１８の容積と温度センサ２７の温度検出値と圧力センサ３０の圧力検出値とに基づいて演算する供給前ガス量演算手段と、ガス供給終了後におけるガス供給経路１８内のガス供給開閉弁２２よりも下流側のガス量を、ガス供給開閉弁２２より下流のガス供給経路１８の容積と温度センサ４７の温度検出値と圧力センサ３０の圧力検出値とに基づいて演算する供給終了後ガス量演算手段と、上記供給前ガス量と供給後ガス量とのガス量差を演算し、流量計２６により測定された供給量からガス量差分を減算して燃料タンク１２に供給されたガス供給量を演算する充填量演算手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 プロセスガスによって流量制御機器の高精度な絶対流量検定を可能とする
【解決手段】 第１遮断弁２１及び第２遮断弁２２との間のガス流路３０と真空ポンプ１４の入口とを連通する排気流路３１と、排気流路３１に設けられた第３遮断弁２３、圧力センサ１１、温度センサ１２、及び第４遮断弁２４と、それらと接続し、ガス種固有の圧縮因子データ、及びマスフローコントローラ１０の出口と、第２遮断弁２２と、第３遮断弁２３により形成される所定の空間の容積値を記憶する検定用制御装置と、を有し、第１計測時及び第２計測時における、圧力Ｐ_１、温度Ｔ_１、それらに対応する第１圧縮因子Ｚ_１、容積Ｖ、から質量Ｇ_１を求め、第２計測時における、圧力Ｐ_１、温度Ｔ_２、それらに対応する第２圧縮因子Ｚ_２、容積Ｖから質量Ｇ_２を求め、質量Ｇ_１と、質量Ｇ_２との差により、マスフローコントローラ１０の絶対流量を検定する。 （もっと読む）

【課題】 多変量伝送器は電流出力において同時に出力できる変量は１つだけである。多変量を出力させるにはフィールドバスなどのデジタル出力とするしかなく、受信計器を含むシステム全体の変更が必要となり、多大なコストを必要とする課題がある
【解決手段】 プロセスの複数の物理量に対応する複数のセンサ信号を入力しこれ等のセンサ信号を演算処理手段で演算し、この演算処理手段の演算出力を外部に電流出力として発信する多変量伝送器において、複数の先の演算出力を順次切り替えて出力するマルチプレクサを具備するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 ガス使用量を高精度に取得することを課題とする。
【解決手段】 所定時間毎のガス使用量を記憶する記憶手段２７を有するガスメータ１１と、前記ガスメータ１１と通信回線１２により接続され、前記記憶手段２７により前記所定時間毎のガス使用量を前記通信回線１２を用いて取得する積算流量管理装置１３とからなるガス使用量通信システム１０において、前記ガスメータ１１は、前記積算流量管理装置１３より時刻の修正の指示があった場合には、前記修正の指示があった時刻が含まれる所定時間のガス使用量に対応付けて、修正したことを示すデータを前記記憶手段２７に記憶させる記憶制御手段２８を有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、バイオリアクタ（９）と、バイオガスのためのガスライン（１１）により連通するようにこのバイオリアクタ（９）に接続されているガス容積測定装置（２）と、耐ガスでバイオリアクタの中に案内されている攪拌機（１０）と、バイオガス測定装置を制御し、ガス容積測定装置（２）により測定された、連続する複数の測定サイクルのガス容積（ΔＶ）に従ってバイオリアクタ内で発生されるガスの容積（Ｖ）を決定するための測定、制御、及び評価ユニットとを有するバイオガス測定装置に関する。
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【課題】 火災検出装置等において、監視すべき対象空間から取り込まれる空気の温度、流速、流れ抵抗およびその変化を正確且つ確実に検出可能なフローパラメータ決定装置を提供する。
【解決手段】 対象空間１２から空気のサンプルを取り込む空気取込チャネル９に空気流センサ１および温度センサ２が配置される。これら空気流センサ１および温度センサ２は、定温モードで動作される熱電センサであり、マイクロプロセッサ４内のレギュレーションアルゴリズムおよび評価アルゴリズムにより、センサに供給される電力Ｐに基づいて計算される。
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コリオリ流量計の流量較正因子を検証する方法及び装置である。第１の実施の形態によれば、材料の温度が所定の基準温度に等しいときに材料密度を測定することによって材料密度の改善が得られる。第２の実施の形態によれば、事前プログラムされたデータベースが密度／温度関係を格納する。材料の密度及び温度を測定し、データベースからの実測密度／温度情報を適用し、所定の基準温度に関して補償された密度情報を得ることによって密度情報の改善が得られる。両実施の形態について得られる密度情報の改善は、温度変化の影響を受けず、流量較正因子を検証するのに使用される。同様にして、圧力の変化及び材料組成の変化に関する流量較正因子補償が得られる。
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