【課題】製造するのが安価であり、サイズが小さく、しかも損傷を受けにくいセンサアセンブリを提供する。
【解決手段】センサアッセンブリ１００は、矩形状の圧力センサ素子１３０と、その信号を受け取るように結合された電子回路１２０とを含む。センサアッセンブリはさらに、閉じた端部の流体が漏れない通路を含み、その少なくとも一部は金属から構成される。閉じた端部の流体が漏れない通路は、少なくともセンサアッセンブリの入り口の開口から矩形状のセラミック圧力センサ素子に隣接する通路の少なくとも一部上の電子回路まで延在する。センサアッセンブリは、閉じた端部の流体が漏れない通路の端部に配された温度センサ素子１７０を含む。閉じた端部の流体が漏れない通路内に配された導電性リンク１６０は、温度センサ素子を電子回路に結合する。 （もっと読む）

【課題】熱膨張係数が大きく異なるセンサ素子と金属ステムとを接合部材を介して接合し得る圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサチップ５０と金属ステム４０に形成されるダイアフラム４３とを接合する接合層６０は、第１接合面６１の熱膨張係数がセンサチップ５０の熱膨張係数に等しく、第２接合面６２の熱膨張係数が金属ステム４０の熱膨張係数に等しく、第１接合面６１から第２接合面６２にかけて熱膨張係数が連続的に変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の収容室に区画された液体タンク内の液量の推定が１ユニットで可能となる差圧測定ユニット、及び、この差圧測定ユニットを有する液量推定システムを提供する。
【解決手段】車両燃料システム１の液量推定装置７は、気相部ＴＡの圧力Ｐａ及びダイヤフラム４２の面積Ｓ（０）に比例した第１圧力Ｐ１を出力する気相ダイヤフラム部４０と、燃料タンク１０内の複数の収容室１１の底壁１０ｂに加わる合計圧力Ｐｃ及びダイヤフラム５２の面積Ｓに比例した第２圧力Ｐ２をそれぞれ出力する複数の液相ダイヤフラム部５０と、これら気相ダイヤフラム部４０及び複数の液相ダイヤフラム部５０（１）〜（３）が接続された差圧センサ３０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】同一面に極性等の信号の異なるパッド電極を配置した場合であっても、パッド電極間の短絡を防止することを可能とする圧電デバイス、圧電モジュール、電子機器、電子システム及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１の感圧素子層１００は、一辺を二分するように切り欠くスリット１２６が設けられ、スリット１２６により一対の接続部が分離して配置される。一対の接続部は少なくとも一部がダイアフラム層２００よりも外側へ露出している。感圧素子層１００は、一対の接続部の一方の主面側に夫々設けられた互いに信号の異なる第１パッド電極３４、第２パッド電極３６と、スリット１２６の隣り合う側面とは反対側の側面のうち一方の側面に設けられ、他方の主面に設けられた第１引出し電極１０９と、第１引出し電極１０９と信号が同じ第１電極パッド３４とを電気的に接続する側面電極１３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】圧力機器に対し試験用流体を脈動状態で作用させて耐久性を評価するものにおいて、脈動の圧力振幅や圧力変化率を任意に設定でき、その脈動を高精度で発生させる。
【解決手段】試験用流体Ｌは圧力調整器５により所定の高圧に調整され、供給経路１３を通して加減圧ユニット７に供給される。加減圧ユニット７は、評価対象となる圧力センサ６がセットされる圧力室１６を有する圧力室ボデー１７に、加圧用制御バルブ１８及び減圧用制御バルブ１９、１９を一体的に備える。各機構は制御装置１０により制御される。加圧用制御バルブ１８のオン時には、高圧の流体Ｌが出口ポートから吐出され、入口側オリフィスプレート３２を通して整流室３３に流れ込み、整流された上で圧力室１６に供給される。減圧用制御バルブ１９、１９のオン時には、圧力室１６内の流体Ｌが、出口側オリフィスプレート３７を通して排出される。 （もっと読む）

【課題】センサ装置の小型化を可能にする。
【解決手段】ハウジング１２およびモールドＩＣ１６が一体化された後に、治具５０によりハウジング１２がインジェクタボデー１０に螺合されるセンサ装置において、モールドＩＣ１６を貫通する複数のピン４０は、一端がハウジング１２のピン挿入孔１２２に挿入されて固定されると共に、他端がモールドＩＣ１６から突出している。そして、ピン４０と治具５０とを係合させて、治具５０によりハウジング１２をインジェクタボデー１０に螺合させる。これによると、従来のようにハウジング１２の外形をモールドＩＣ１６よりも大きくする必要がない。したがって、ハウジング１２の外形をモールドＩＣ１６よりも小さくして、センサ装置を小型にすることができる。 （もっと読む）

【課題】センサ装置の周囲のスペースを有効に利用可能にする。
【解決手段】ハウジング２１に形成された係合部２１３に治具が係合され、治具によりハウジング２１が回転されてハウジング２１が被取り付け部材に螺合されるセンサ装置であって、螺子締結が完了した時点の被取り付け部材に対するハウジング２１の回転方向位置が略一定の位置になるようにし、ハウジング２１の回転軸Ｘ方向に沿って見たときの係合部２１３の形状を非正多角形にし、ハウジング２１やモールドＩＣ２３の周囲のうちスペースに余裕がある部位側に係合部２１３やモールドＩＣ２３をずらして配置することにより、センサ装置の周囲のスペースを有効に利用する。 （もっと読む）

【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】第１部材（３）と第２部材（２）とを長尺なフレキシブルプリント基板（１３）により電気的に接続するものにあって、フレキシブルプリント基板（１３）のたるみに起因する不具合を未然に防止する。
【解決手段】ハウジング（２）とコネクタケース部（３）との間を電気的に接続するためのＦＰＣ（１３）の中間部分に、鉄からなるチップ状の吸着部材（１５）を固着する。吸着部材（１５）の重量を、共振防止の観点から予め設定する。ＦＰＣ（１３）の一端側を、圧力検出素子（７）にボンディングワイヤ（１６）により接続し、他端側を、ターミナル（１０）にはんだ付けにより接続する。ＦＰＣ（１３）は、接続作業上、長尺になるため、ハウジング（２）とコネクタケース部（３）との間で中間部にたるみ部分が生ずるが、その中間部分を、収容凹部（９ａ）内に収容する。収容作業は、磁性治具により、吸着部材（１５）を、コネクタケース部（３）の外部から磁気的に吸引することにより行う。 （もっと読む）

【課題】ハウジングを介してコネクタケースに伝達される振動を抑制し得るセンサ装置を提供する。
【解決手段】圧力センサ１０は、センサチップ４０に圧力媒体の圧力を伝達するハウジング２０と、センサチップ４０からの信号を取り出すターミナル３２を有するコネクタケース３０と、ハウジング２０とコネクタケース３０とを組み付けるための弾性部材５０と、を備えている。ハウジング２０のコネクタケース側には、弾性変形可能な環状の弾性部材５０がセンサチップ４０を囲うように配置されている。そして、コネクタケース３０は、センサチップ４０を覆うように形成された環状の連結部３３ａにて弾性部材５０に環状に接触した状態でハウジング２０に組み付けられる。 （もっと読む）

【課題】電気的な接続不良が生じることが抑制された電気的接続構造体を提供する。
【解決手段】ハウジング（１０）と、ターミナル（３１）が固定された固定部（３０）と、ターミナル（３１）における固定部（３０）から外部に突出した突出部（３２）の周囲を囲むケース（４０）と、を有し、ハウジング（１０）とケース（４０）とが固定部（３０）を挟み込むように、ハウジング（１０）とケース（４０）とが機械的に固定されて成る電気的接続構造体（１００）であって、固定部（３０）における突出部（３２）が飛び出す面を底面とし、ケース（４０）を側壁とする凹部（６０）が構成され、該凹部（６０）の一部が、突出部（３２）の先端が外部に露出するように、樹脂（６１）によって充填されており、突出部（３２）と固定部（３０）とケース（４０）とが、樹脂（６１）を介して機械的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】センサチップとリードとを簡易な構成にて確実に電気的に接続し得るセンサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】コネクタケース３０には、ハウジング２０との組み付け時に当該ハウジング２０に取り付けられたセンサチップ４０の接点部４１の直上にて当該接点部４１に近接する貫通孔３４が形成されている。そして、リード３２は、その一部が貫通孔３４内に露出することで、当該貫通孔３４に充填されるとともに接点部４１に導通される導電性の充填部材３５により、接点部４１に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】ｇ荷重吸収ショルダーを備えたセンサを提供する。
【解決手段】その中心線から半径方向距離にあるロータ上の対象測定点に配設され、略円筒形状と第１及び第２対向端部２７、２８を有する本体２６と、第１及び第２対向端部２７、２８の一方に連結される検知端部２９であって、第１及び第２対向端部２７、２８の他方は通信システムに連結されている検知端部２９とを含み、検知端部２９は、対象測定点において検出された状態を反映する信号を生成するように構成された検知装置２９９を含み、第１及び第２対向端部２７、２８の少なくとも一方は、重力荷重を吸収するショルダー部分２７７、２８８を画定するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】高温の用途における静電容量式圧力プローブまたはセンサを提供する。
【解決手段】静電容量式圧力センサ１００はプローブ筐体の内部検出チャンバ３０内に配設され、かつ、その中央部分上に形成される第１の電極５２を有する、サファイヤダイアフラム４２を含む。ダイアフラム４２の中央部分および第１の電極５２は、内部検出チャンバ３０内で、かつ圧力センサ１００によって、遭遇する圧力変動に反応して撓むように適合および構成される。その上に形成される第２の電極５４を有するサファイヤ基板４６は、サファイヤ積層を形成し、その間に基準チャンバ８０を画定するように、その周辺を中心として、サファイヤダイアフラム４２に融合される。サファイヤダイアフラム４２のサファイヤ基板４６への融合前に、全ての接触表面は、結合積層を形成し、融合に必要な温度を低下させるように、化学処理され、プラズマ励起を用いて準備される。 （もっと読む）

【課題】被測定媒体に、燃料油の他、オイルや煤等といった堆積付着物を生成する有機物が含まれている環境下においても正確に圧力を検出することができ、メンテナンスフリーで長期間の使用を可能とした圧力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサ１は、ハウジング２の一端に取り付けられた被測定媒体３を導入する導入孔４ａを有する導入部４と、導入部４から被測定媒体３が導入される感圧室５と、感圧室５に設置された被測定媒体３の圧力を検出するセンサチップ６と、導入部４の内壁４ｗに形成された有機物を分解する作用を持つ触媒膜９と、で構成されており、堆積付着物を生成する有機物が含まれている測定環境下においても正確に圧力を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】センサを２重系にすることなく、不完全ショート異常があることを判定する異常判定装置を提供する。
【解決手段】負圧センサ１のグランド接続端子ＴＳ３とグランドとの間にＦＥＴ２４を設ける。ＦＥＴ２４のオフ状態における入力信号レベルＶｍを取得し、当該入力信号レベルＶｍが所定のしきい電圧Ｖｔｈよりも低い場合に、負圧センサ１の信号出力端子ＴＳ１が導電性の異物を介してグランドに接続される不完全ショート異常があることを判定する。 （もっと読む）

【課題】温度センサの振動を抑制して断線を防止し、樹脂パッケージの歪を抑えてセンサ特性の劣化を抑制することができる温度センサ一体型半導体圧力センサを提供すること。
【解決手段】圧力導入管４が筒状内部空間を二分する隔壁７を備え、該隔壁７が、前記圧力導入管４の壁面から前記筒状内部空間の中心線に向かって延び、該中心線の長さ方向の下端部が前記温度センサのヘッド１の位置に達し、前記中心線に沿うスリット２０により分離される形状と、該分離される形状を部分的に連結する連結部２１とを備え、前記隔壁７の下端部２１と前記温度センサのヘッド１とが前記圧力導入口２内部で接触する温度センサ一体型半導体圧力センサとする。 （もっと読む）

【課題】歪受感部の面積を小さくでき、且つ、抵抗値を調節しても歪みに対する検出感度や抵抗特性が変化しない歪ゲージの抵抗値調節方法を提供することを目的とする。また、その抵抗値調節方法で抵抗値を調節した歪ゲージと、その歪ゲージを用いたダイヤフラム型の圧力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】歪ゲージ２０は、歪受感部２０Ｂ、２０Ｄがダイヤフラム１４の中央部１４Ｘに配置され、歪受感部２０Ａ、２０Ｃがダイヤフラム１４の周辺部１４Ｙに配置される。歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの抵抗値調節は、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの表面全体を覆うように導電性ゲル２２を配置した後、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄを陽極として電圧を印加し、歪ゲージ２０の表面全体に陽極酸化膜を形成し、さらに、陽極酸化膜の厚みを調節することによって、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの抵抗値を調節する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低くしつつ、傷から保護されるセンサデバイスを提供すること、およびこのようなセンサデバイスを製造する方法を提供すること。
【解決手段】成形体と成形体上に被着されているピエゾ抵抗センサ層とを有しており、ピエゾ抵抗センサ層は少なくとも１つの金属並びに炭素または炭化水素を含んでおり、ピエゾ抵抗センサ層上で薄膜パッシベーション層およびコンタクト層が省かれる、センサデバイス。 （もっと読む）

【課題】自らの内圧を求め、過大な圧力損失を表示できるピストン・シリンダユニットを提供する。
【解決手段】中心長手方向軸（Ａ）、第１の端部（３）、流体で満たされたシリンダ（２）、シリンダ（２）の中に摺動自在に配置されていて、シリンダ（２）を第１の端部（３）から遠い第１の動作室（１１）と前記第１の端部（３）に近い第２の動作室（１２）とに区分するピストン（１３）、ピストン（１３）に配置されていて、第１の動作室（１１）を突き抜け、中心長手方向軸（Ａ）に対して同心で第１の端部（３）と向き合った第２の端部（６）においてガイド／シール装置（７）により封止された形でシリンダ（２）から外へ通じているピストンロッド（８）を備えたピストン・シリンダユニット（１）に、特に、ピストン・シリンダユニット（１）の内圧を直接的又は間接的に検出するセンサ装置（１４）を備え付ける。 （もっと読む）