【課題】測定感度を低下させることなく、ピエゾ抵抗素子の熱変動に起因する通電変動を抑制することにより、高感度及び高精度の圧力測定を実現できるピエゾ抵抗式圧力センサを提供すること。
【解決手段】ピエゾ抵抗部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４はダイヤフラム３１と支持部３２との境界近傍のダイヤフラム３１上に配置されている。これにより、圧力を高感度で測定できる。各ピエゾ抵抗部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４のピエゾ抵抗素子群配置領域の面積はすべて同じであるとともに前記領域の外形形状は同形状とされている。これにより、ピエゾ抵抗部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４間での温度分布を均一化できるので、ピエゾ抵抗素子の熱変動に起因する通電変動を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】所定の温度区間で物理量センサの出力精度を向上できるようにする。
【解決手段】所定の温度範囲から選択された複数の部分温度区間毎に、当該部分温度区間での物理量検出素子１１による物理量検出値の補正値を求める二次以上の高次の補正式ｇ１，ｇ２に関するデータを記憶する記憶部１３３と、いずれかの部分温度区間に対応する補正式ｇ１，ｇ２のデータに基づいて当該部分温度区間における補正値を求め、当該補正値によって前記物理量検出値を補正する補正処理部１３−ｉ（ｉ＝１又は２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムシールの溶接位置を変えることで、ダイアフラムシール破損の可能性を低くし、信頼性の向上が図れるダイアフラムシール付き伝送器を実現する。
【解決手段】一方の面が取付フランジにリング状のガスケットを介して取付けられるダイアフラムシールボディと、このダイアフラムシールボディの前記一方の面に周縁部がリング状に溶接固定されるダイアフラムシールとを具備するダイアフラムシール付き伝送器において、前記ガスケット内径の最大公差直径寸法より大なる直径寸法を有し前記ダイアフラムシールボディの一方の面に前記ダイアフラムシールをリング状に溶接する溶接部を具備したことを特徴とするダイアフラムシール付き伝送器である。 （もっと読む）

【課題】環境温度によらず、優れた精度を有する圧力センサーを提供すること。
【解決手段】圧力センサー１は、パッケージ２にセンサーチップ３を搭載してなる。センサーチップ３は、平面視形状が矩形をなし、下面３２には、互いに離間した第１の接合部３２１、第２の接合部３２２および第３の接合部３２３が設定されている。第１の接合部３２１は、下面３２が有する４つの角部のうちの１つの角部に設定され、第２の接合部３２２は、第１の接合部３２１が設定された角部とＹ軸方向に隣り合う角部に設定され、第３の接合部３２３は、下面３２の重心Ｇと交わりＸ軸と平行な線分上に設定されている。また、下面のＸ軸方向の長さをＬｘとし、Ｙ軸方向の長さをＬｙとしたとき、Ｌｙ／Ｌｘが、０．７以下である。 （もっと読む）

【課題】製造が比較的容易である頑丈な密封流体圧力感知装置を提供する。
【解決手段】支持構造１２ａと当該支持構造に取り付けられたダイアフラム１２ｂを有する圧力感知変換器１２を含み、ダイアフラムは、流体接触面を有する。ハウジング１６は、底壁と当該底壁から上方に延在するハウジング側壁１６ｆによって規定された変換器受け取り空洞を有する。底壁には、流体圧力受け取り窪みが形成され。流体圧力ポート１６ｃは、流体圧力受け取り窪みに連通するようにハウジング内に形成される。ダイアフラムは、支持構造と流体圧力受け取り窪みとの間に位置決めされ、支持構造の側壁の周囲のシール１８の材料は、圧力感知変換器をハウジング内に固定し、かつ密閉シールを提供する。 （もっと読む）

【課題】樹脂成形品のシール面を良好に成形する。
【解決手段】外周面がシール面となる断面円形状の円柱部１０１を有するモールド部材（樹脂成形品）をその軸を中心として回転させながら流動性のある樹脂１０２をシール面に流下しながら塗布し、その塗布した樹脂を熱または紫外線照射することで硬化させることにより、シール面を連続性のある欠陥のないシール面に整形する。 （もっと読む）

【課題】安定に作製ができ、特性も安定で良好である振動式圧力センサおよびその製造方法を実現すること。
【解決手段】 半導体基板に形成された梁状の振動子を真空室内に配置し、前記振動子に加わる歪みの大きさを前記振動子の共振周波数の変化として検出する振動式圧力センサにおいて、前記振動子を覆うように前記半導体基板の一方の面上に配置されて空隙部を形成するシェル部と、このシェル部を覆うように前記半導体基板の一方の面上に減圧化学気相成長法により形成されて、前記空隙部が真空となった前記真空室を形成する封止め部を備え、前記半導体基板は、前記一方の面が略平面状に形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単一の電子基板、改良された環境保護、およびより簡単に量産される安価な圧力センサを提供する。
【解決手段】感知素子ポート１１４と、支持リング１１０と、感知素子ポートと支持リングとの間に柔軟な干渉フィット１１２を提供し、実質的な同一平面のラップ結合を形成するための複数の干渉フィットスリット１３２とを含む。また、支持リング内で、安定した搭載を提供する平坦な搭載タブ１２４ａに取り付けられた電子基板１２２を含む。 （もっと読む）

【課題】ゲージ抵抗からの出力信号を増大させて、構成の小型化を図ったセンサ回路を提供することを課題とする。
【解決手段】一端が接地され、印加された物理量に応じて抵抗値が変化するゲージ抵抗１１−１〜１１−４と、ゲージ抵抗１１−１〜１１−４の他端と電源ＶＣＣとの間に接続され、ゲージ抵抗１１−１〜１１−４に定電流を供給し、ゲージ抵抗１１−１〜１１−４の他端に電源ＶＣＣの電源電圧の半分以上の電圧を印加する定電流供給部１２と、ゲージ抵抗１１−１〜１１−４の抵抗値の変化を電気信号として取り出し、印加された物理量を検出する信号処理部１３とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タンク内の液種が変わった場合でも、作業者の負担を軽減しつつ高精度の液位計測を可能にする。
【解決手段】タンク内の液体の比重を入力する液位計測設定画面、及びタンクの低圧側圧力と高圧側圧力を導入する液体の比重を入力する圧力導入設定画面を表示部２０５に順次に表示し、この設定画面を介して入力された比重を用いて圧力範囲パラメータを算出する演算部２０３と、この演算された圧力範囲パラメータを差圧伝送器に通信する通信部とから設定器を構成することで、差圧伝送器への圧力範囲パラメータを通信によって容易に設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ケースのシール面の平滑性が低下すること、及び、シール面の外形が変形することを抑制することで、シール性が低下することが抑制された圧力センサ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧力媒体の圧力を検出するセンサ部と、該センサ部と接続されたターミナルと、センサ部及びターミナルを収納するケースと、圧力導入孔が形成されたハウジングと、を備え、センサ部におけるケースから露出された部位が圧力導入孔に設置され、圧力導入孔がケースによって閉塞されるように、ケースがハウジングに組み付けられて成る圧力センサであって、ケースは、筒状のカップと、該カップに充填された樹脂部と、を有し、センサ部とターミナルとの接続部位が、樹脂部によって被覆され、センサ部における樹脂部から露出された部位が、カップにおける圧力導入孔側の開口部から露出されており、カップは、単一材料から成る。 （もっと読む）

【課題】被印加物に短時間で精度よく圧力を印加でき、かつ、装置の構成を簡素化することが可能な圧力印加方法および圧力印加装置を提供すること。
【解決手段】被検体１００に検査時に必要な所定の第２圧力を印加する際には、まず、圧力センサ３０が検出する検出圧力に係わらず、ピストン２２を変位させて被検体１００に第１圧力を印加し、次に、圧力センサ３０が検出する検出圧力に応じてピストン２２を変位させて、ピストン装置２０で被検体１００に印加する圧力を所定の第２圧力に調整する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの破壊耐圧を向上させることのできる半導体圧力センサを得ることを目的とする。
【解決手段】厚さ方向の一面に開口する凹部２が形成された第１半導体基板３と、第１半導体基板３の一面と相対して配置される第２半導体基板４と、第１半導体基板３と第２半導体基板４との間に介装され、凹部２と第２半導体基板４との間を連通する貫通穴５が形成された第１酸化シリコン膜６と、を備え、貫通穴５及び凹部２の開口と相対する側から見て、貫通穴５の縁部の少なくとも一部が、凹部２の開口縁部の内側に位置している。 （もっと読む）

【課題】利用可能な様式で再現性よく製造され得る、単純な構造体を有するキャパシタンスダイアフラムゲージを提供する。
【解決手段】圧力を測定するためのキャパシタンスダイアフラムゲージ１００は、シム１２２または他の隆起外周部分を介して本体構造体１１０に設置された、低いヒステリシス特徴を有するフラッシュダイアフラム１２０を備える。 （もっと読む）

【課題】液体の粘度や密度、気体の圧力や真空度を広い測定範囲で高感度、高精度にリアルタイムで測定できる圧電センサーを提供する。
【解決手段】圧電センサー素子１１は、被測定流体を外部から導入しかつ流通可能に連通孔１７を設けたパッケージ１３内に音叉型圧電振動片１２を備える。圧電振動片は基部１８において片持ちに固定支持され、振動腕１９の下側主面１９ａが平坦なキャビティ底面１６ａと平行をなしかつそれらの間に所定寸法ｓ１の狭い隙間２２を画定するように配置する。振動腕を屈曲振動させると、その下側主面が移動壁として固定壁であるキャビティ底面に対して所定の速度で往復移動し、隙間内で被測定流体が定常的な速度分布の流れを生じる。このとき振動腕が被測定流体から受ける粘性抵抗の変化を圧電振動片のＣＩ値の変化として検出し、被測定流体の圧力等の測定対象の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】液体の粘度や密度、気体の圧力や真空度を広い測定範囲で高感度、高精度にリアルタイムで測定できる圧電センサーを提供する。
【解決手段】圧電センサー素子１１は、基部１８から延出する３つの振動腕１９ａ〜１９ｃの外側に側辺部２０ａ，２０ｂを有する圧電振動片１２が、被測定流体を外部から導入しかつ流通可能に連通孔１７を設けたパッケージ１３内に、基部において片持ちに固定支持される。圧電振動片の側辺部は、隣接する振動腕の側面と平行をなしかつその間に所定寸法の狭い隙間２７ａ，２７ｂを画定する平坦な側面２６ａ，２６ｂを有する。振動腕を面外方向に屈曲振動させると、側辺部と振動腕との隙間内で被測定流体が定常的な速度分布の流れを生じる。このとき振動腕が被測定流体から受ける粘性抵抗の変化を圧電振動片のＣＩ値の変化として検出し、被測定流体の圧力等の測定対象の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】消費電力を低減し、圧力の測定精度を向上させることができる圧力検出装置を提供する。
【解決手段】圧力検出装置は、圧力に応じて発振周波数が変化する振動子と、前記振動子を発振させ、前記圧力に対応する周波数の信号を出力する第１の発振回路と、ＡＴカット水晶振動子と、前記ＡＴカット水晶振動子を発振させ、基準クロック信号を出力する第２の発振回路と、前記第１の発振回路から出力された信号の周期に基づいたゲート期間における前記基準クロック信号をレシプロカル・カウント方式にて計測する計測手段と、前記振動子または前記振動子の周囲の温度を検出する温度検出手段とを備え、前記計測手段の計測値の周波数温度特性には、前記ＡＴカット水晶振動子の周波数温度特性と前記振動子の周波数温度特性とが加味されており、前記計測手段の周波数温度特性を補償する第１の補正値を求めるための第１の近似多項式の係数が記憶された記憶手段を備える。 （もっと読む）

【課題】小型で高性能な圧力センサを提供する。
【解決手段】センサチップ１０と、センサチップ１０の中央部に設けられた差圧用ダイアフラム４と、差圧用ダイアフラム４に設けられた差圧用ゲージ５と、差圧用ダイアフラム４の外周部に設けられた静圧用ダイアフラム１７と、静圧用ダイアフラム１７の端部に形成された第１の静圧用ゲージ１６ｄと、静圧用ダイアフラム１７の中央部に形成された第２の静圧用ゲージ１５ｂと、を備えた圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】搭載される電子回路基板の小型化の足かせとならず、また対ノイズ性の問題も発生しないようにする。
【解決手段】センサ回路１０と、センサ回路１０から出力する差動の検出信号を入力して増幅するインスツルメンテーション増幅回路２０Ｘとからなる。インスツルメンテーション増幅回路２０Ｘは、前記差動の検出信号をそれぞれ増幅するオペアンプＯＰ１，ＯＰ２Ｘと、そのオペアンプＯＰ１，ＯＰ２Ｘで増幅した信号の差成分を増幅するオペアンプＯＰ３とを有する。オペアンプＯＰ１又はオペアンプＯＰ２は、該オペアンプの入力側の差動増幅回路を構成するトランジスタのサイズ比が外部から調整されるようにした。 （もっと読む）