【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】微小表面形状測定プローブは、被測定物１と接触する接触子を２先端に有するプローブシャフトと、プローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するようにプローブ本体に組み込まれた圧電センサと、圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部と、荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部と、接触子２を通して被測定物１との接触点へレーザ光を照射し、接触点で反射されたレーザ光を検出することで、接触子２と被測定物１との接触を感知する接触感知装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面形状を高い精度で測定し得る表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置５００は、被測定物６００を支持する被測定物台５１０と、力感知部１００と、力感知部１００と被測定物６００を互いに近づけるまたは遠ざけるために力感知部１００と被測定物６００を相対的にＺ軸に沿って移動させるＺ走査機構５４０と、Ｚ軸に直交するＸ軸に沿って力感知部１００と被測定物６００を相対的に移動させるＸ走査機構５２０とを備えている。力感知部１００は、被測定物６００に近接されて被測定物６００から力を受けるプローブを含み、このプローブが被測定物６００から受ける力を感知する機能を有している。 （もっと読む）

【課題】軸受用ころの外径寸法を複数の周方向位置で簡単に精度よく測定できるようにすることである。
【解決手段】ころＡを円形の回転測定台１の上面に軸方向を回転中心から半径方向に向けて載置し、ころＡを回転測定台１の所定の位置で回転自在にころ支持具２で支持して、支持されたころＡを回転させながら、その軸心上での回転測定台１の上面からの高さをころ高さ変位計３によって測定することにより、軸受用ころＡの外径寸法を複数の周方向位置で簡単に精度よく測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 工作機械上で加工された円筒体の表面形状を精度よく測定できる円筒形状測定装置の提供。
【解決手段】 被測定円筒２をその中心軸で回転自在に支持する被測定物の回転支持装置、この回転支持装置に支持された被測定円筒面上にあり該被測定円筒の中心軸（ｚ軸）に平行な一つの直線母線６上の１点５ｃとこの直線母線を挟む位置にある２点５ａ，５ｂの合計３点で被測定円筒面に当接する三叉センサホルダ３と、該三叉センサホルダに前記３つの当接点からの距離が既知の位置に配置された第一変位センサ４ａと第二変位センサ４ｂの２個を備える円筒形状測定装置１。 （もっと読む）

【課題】往復動内燃機関のシリンダ直径を精度良く、かつ、容易に計測できる往復動内燃機関のシリンダ直径計測器。
【解決手段】往復動内燃機関のシリンダ１０１の軸芯Ｏ₁ 上に設けたガイド２と、該ガイド２を保持する支持体３と、前記ガイド２に摺動自在に挿入した支持棒４と、前記シリンダ１０１の軸芯Ｏ₁ と交差するように前記支持棒４に取り付けた測長器５より成り、且つ前記測長器５を、棒状の測長器本体６と、該測長器本体６の先端部に設けた接触又は非接触式でかつ測定距離を電気信号に変換して出力する変位変換器７により形成する。 （もっと読む）

【課題】電極の位置あわせが容易、かつ小型で検出感度が高く、安価に構成可能な静電容量式の接触式一軸変位センサを提供する。
【解決手段】本体１０と、スタイラス１２と、スタイラス支持手段１１と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備えた接触式一軸変位センサ１であって、スタイラス支持手段１１は、支持部材１１１および保持部材１１２を有し、支持部材１１１は、板状の弾性材料から形成され、外周部１１１Ａを保持部材１１２に固定されるとともに中心部１１１Ｂにスタイラス１２を支持し、検出手段１３は、支持部材１１１に設けられた可動電極１３１と、保持部材１１２の基部１１２Ｂに設けられた固定電極１３２と、を有し、可動電極１３１と固定電極１３２の間の静電容量の変化によりスタイラス１２の変位を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学式の回転センサを用いた伸縮測定装置を提供する。
【解決手段】回転軸と一定の距離にある第１円周を表面の一部とし、回転軸の周りに回転する第１回転体と、第１円周に沿って、かつ、第１回転体の表面にＮ極またはＳ極を向けて配置された複数の第１磁石と、第１円周と対向するように第１回転体の外部に配置され、磁界の状態を検出する第１近接センサ、第２近接センサを備える回転センサと、対象物に取り付けるワイヤーと、ワイヤーが巻きつけられるワイヤー巻取り部と、ワイヤーの張力を一定に保つように、ワイヤー巻取り部を回転させ、ワイヤーの繰り出しまたは巻取りを行う張力保持部と、基準物とワイヤー巻取り部とを固定する固定部と、を備え、張力保持部のワイヤーの繰り出しまたは巻取りの量に応じて、第１回転体と第２回転体が回転する伸縮測定装置。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受を利用してリング体の振れを簡単で精度よく測定できるようにする。
【解決手段】
フランジを有する中空シャフトの内径からシャフト外周に開口する放射状の孔を設け、測定物であるリング体を該シャフトに挿入して内径からシャフト外周に開口する放射状の孔から加圧空気を噴射してリング体を非接触状態で把持し、求心力を得るためにシャフト下部の気体の流れの為の溝を設け、リング体重量によっては求心の為に浮上させる中空シャフトの内径に連通する給気孔をフランジに設け、かつリング体によっては求心力が最大になるようにシャフト中央部に適切に大気開放溝を設け、精度の高い振れ測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、構成の簡略化を図ることのできる形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】上下方向に振動しながら被測定面２４上を走査する探針１２と、該探針１２を上下方向に振動させる微小振動発生手段１６と、該被測定面２４と探針１２間の距離ないし接触力が一定となるように該探針１２を上下動する上下動制御手段１７と、該探針１２を該被測定面２４上で走査する走査手段１８と、該探針１２の上下方向変位を測定し探針変位信号を出力する変位センサ２０と、該信号２６中の高周波成分より該被測定面２４と探針１２間の距離情報ないし接触力情報を取得し、該距離ないし接触力を一定に保つように該被測定面２４を走査した際の該信号２６中の低周波成分より該被測定面２４の凹凸情報を取得する信号処理機構２２と、を備えたことを特徴とする形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】測定者の技量に左右されることが無く、常に、所望の圧接力で、当接部を被測定物に垂直に当接させることが出来、簡便に、被測定物の熱拡散率の算出等に用いる厚さ方向の寸法を、正確に測定出来る厚み測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物８を載置面１４の上面に載置して、上下方向移動体３１を、Ｚ方向駆動ステッピングモータ３９の回転駆動によって、降下させると、測定アーム部４５の先端に設けられた当接部４７が、被測定物８に当接して、被測定物８を載置面１４との間に挟持しながら、測定アーム部４５を、反力で上方に揺動させる。水平軸４４が枢着された部分に設けられたバランスコンデンサ５０の容量が、測定アーム部４５の揺動に応じて、可変されて、差分０でバランスする領域に、計測値が到達すると、制御部８１が、Ｚ方向駆動ステッピングモータ３９に、上下方向移動体３１の降下を停止させる制御信号を送出する。 （もっと読む）

【課題】プローブ軸及びプローブ枠の精密加工に要する加工コストを軽減することができること、微小な測定力を精密に調整しつつ、高精度の測定を実現することのできる、接触式形状測定器用プローブヘッドを提供すること。
【解決手段】測定用触針３が取り付けられるプローブ軸１と、このプローブ軸１を進退自在に支持するプローブ枠２とを備えた接触式形状測定器用プローブヘッドにおいて、プローブ枠２には、プローブ軸１をプローブ枠２との間で隙間を設けて支持する支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂと、支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂ以外にプローブ枠２に設けられ、空気の粘性抵抗により発生する圧力差を利用して、プローブ軸１に測定力を発生させる測定力発生用空気静圧パッド５ａ、５ｂとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】長くて径小なスタイラスを有し、被測定物とスタイラスとの接触によって生じた衝撃による破損の可能性が低く、検出精度のよいタッチプローブを提供する。
【解決手段】円筒形のプローブ本体１０と、プローブ本体１０に設けられたスタイラス支持手段１１と、スタイラス支持手段１１に略重心位置１２２を支持された棒状のスタイラス１２と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備え、スタイラス支持手段１１は、弾性部材から形成されるダイヤフラム１１１を備え、ダイヤフラム１１１は、スタイラス１２を支持する中心部１１３と、プローブ本体１０に固定された外周部１１４と、中心部１１３と外周部１１４との間に放射状に設けられ中心部１１３と外周部１１４とを連結する複数のリム１１５と、を備えるタッチプローブ１。 （もっと読む）

【課題】
上下定盤面平行度を高精度で簡易に、かつ高精度で測定する。
【解決手段】
上下定盤面平行度測定用ボード３は、ボード本体３１には測定ユニット３２の装着部が複数形成され、測定ユニット３２は、上定盤２１面と下定盤２２面との距離に応じて変位する上方付勢された変位子を備えた変位機構部と、変位機構部における変位子の、上定盤２１面と下定盤２２面との距離が最小となったときの当該距離に相当する変位値Ａをデジタル計測する上下定盤面間距離計測部と、上下定盤面間距離計測部１２２の計測結果を出力する計測結果出力部とを備える。 （もっと読む）

座標測定機など測定機用の伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）を記載する。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、第１の端部および第２の端部を備え、第１の端部と第２の端部の間の間隔を測定するための計測装置を備える。計測装置は、低い熱膨張係数を有する１つまたは複数の細長計測部材（４４、４６；７６、７８）を備える。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、枢動接合部によって、１つまたは複数のプラットホーム（４、６；３６、３８）に取り付けることができる。好ましい一実施形態において、荷重支持構造（５０、５６）は、脚部アセンブリ（８；３０）の計測構造（７６、７８、８０）から機械的に隔離される。
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【課題】埃等の影響を受けることなく精度を保つことができ、保護用ケーシングに囲まれている場合であっても、容易にロックの操作が可能な装置を提供する。
【解決手段】弾性伝動部材（７０ａ、７０ｂ、７２）によって、移動キャリッジ（３５）に接続されることにより、該移動キャリッジ（３５）の直線移動を行う駆動装置と、移動キャリッジ（３５）に取り付けられ、測定される部分に接触して物品形状を導くプローブと、移動キャリッジ（３５）に力が作用し、移動キャリッジ（３５）に作用した力が伝動し、該伝動した力により変形自由となることが可能な弾性伝動部材（７０ａ、７０ｂ、７２）によってロック解除状態となると共に、伝動した力が弾性伝動部材（７０ａ、７０ｂ、７２）に影響することなく伝達されることでロック状態にできる連結手段（６２、８２）とを含み、移動キャリッジ（３５）およびガイドが配置された保護区域を囲む保護ケーシングを含む。 （もっと読む）

【課題】微小変位を高精度に検出する変位センサを提供する。
【解決手段】測定子１１０の変位をエデンバネ機構４１１〜４４８を備えた変位拡大機構部４００によって拡大し、この拡大された変位を変位検出手段６００で検出して測定子１１０の変位量および変位方向を検出する。エデンバネ機構４１１〜４４８は、２枚の板バネ３１０、３２０を平行に近接配置した構成である。変位拡大機構部４００は、８つのエデンバネ機構４１１〜４４８を備える。８つのエデンバネ機構４１１〜４４８は、円周上に等間隔に配設されている。 （もっと読む）

【課題】 操作性が高く、かつ、検出精度、検出分解能が高い測定器を提供する。
【解決手段】 スピンドル３００の回転に応じてスピンドル３００の異なる回転角に対して異なる値の位相信号を発信する位相信号発信手段４００と、位相信号を演算処理してスピンドルの絶対位置を求める演算処理部５００と、を備える。位相信号発信手段は、位相信号を所定のピッチで発信する。スピンドル３００の異なる回転角に対して位相信号は異なる値であるので、位相信号からスピンドル３００の回転角が一義的に決定される。インクリメンタル式と違って、位相信号の読み飛ばし等が問題とはならないので、スピンドル３００の高速回転を許容して測定器の操作性を向上させることができる。さらに、位相信号の読み飛ばしが問題とはならないので、スピンドル３００の回転に対する位相信号の変化を細密化できる。 （もっと読む）

【課題】 接触力を変えながら小さな接触力で被測定物の表面形状を測定できる形状測定器を提供する
【解決手段】 測定プローブ３２を傾斜θを持たせて支持する。測定プローブ３２の後退する力は、傾斜θによって生じているため、自重ｍに比べて遙かに小さいｍｇsigθとなる。一方、エアシリンダ４０で押出力Ｆcで付勢する。このため、ワークＷへの測定プローブ３２の接触力は、測定子自重傾斜成分ｍｇsigθと、エアシリンダ４０の押出力Ｆcとの差分（Ｆ＝Ｆc−ｍｇsigθ）になるので、接触力を非常に小さくすることが可能である。更に、エアシリンダ４０で押出力Ｆcを変えることで、接触力を変えることができる。 （もっと読む）

工作機械のような座標位置決め機械上の物体の寸法を測定するプローブは、ワークピース接触用針２０を有する。これは、針がワークピースに接触すると、出力を提供する歪ゲージ３４を含むセンサー機構３０を介して吊り下げられている。プロセッサー１６は、歪ゲージの出力を処理し、トリガー信号を発生させる。プロセッサーは、３次元Ｘ、Ｙ、Ｚでのワークピースへの接近の全ての可能性のある方向において等しい感度を保証するアルゴリズムまたは計算式あるいはルックアップテーブルにしたがってそのように行う。
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