本発明による自己混合干渉デバイスは、集積された光導波路構造(3)を備える基板(1)、該基板(1)の表面上に配置されて、前記表面へ向けてレーザー放射線を放出する半導体レーザー光源(2)、及び、該半導体レーザー光源(2)の強度変化を検出するように備えられた光検出器を有する。前記光導波路構造(3)は、前記半導体レーザー光源(2)と光学的に接続し、かつ、前記半導体レーザー光源(2)により放出されるレーザー放射線を、前記基板(1)の表面の射出光結合領域へ導光し、かつ、前記基板(1)の外部の標的対象物(4)から散乱されるレーザー放射線の一部を、前記前記半導体レーザー光源(2)へ再入射するように導光するように設計される。当該自己混合干渉デバイスは、既知の自己混合干渉デバイスよりも全体の高さを低くすることが可能である。
（もっと読む）

【課題】設置スペースが限られていても測定しやすい干渉計を提供すること。
【解決手段】レーザ光源２からの光Ｌ１を参照面７２１に入射させるとともに被測定物４に入射させ、偏光面が直交する参照光Ｌ４および測定光Ｌ５を得、それらの合波光Ｌ６を射出するセンサヘッド７が、レーザ光源２などを備える本体部１０に、可撓性を有する偏波保存ファイバ３０９により接続されているので、センサヘッド７を適宜の位置に配置でき、設置スペースが限られていても簡単に被測定物４の変位量を測定できる。また、センサヘッド７が、偏光面を保存して導光する偏波保存ファイバ３０９により本体部１０と接続されているので、センサヘッド７から射出された合波光Ｌ６が偏波保存ファイバ３０９を透過する際に、参照光Ｌ４および測定光Ｌ５の偏光面が互いに直交した状態のまま保存される。そのため、合波光Ｌ６から被測定物４の変位量を正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】白色干渉を用いた被測定物の表面高さの測定において、短時間で測定光束の焦点位置を調節可能な寸法測定装置を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２と、白色光源２から放射された光を、被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割する光線分割素子３と、光線分割素子３から出射された参照光束の光路長を変化させる参照光走査光学系５と、測定光束内に配置された焦点可変レンズ４１と、測定光束の光路長と参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、その干渉信号に対応する信号を出力する検出器６と、参照光束の光路長と測定光束の光路長が等しいときに測定光束が反射される位置において測定光束が焦点を結ぶように、焦点可変レンズ４１の焦点距離を調節し、かつ干渉信号の最大値に対応する参照光束の光路長を求めることにより、被測定物の表面高さを求めるコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】距離の測定にかかる時間を短縮すること。
【解決手段】本発明の距離測定装置は、光源１０と、スプリッタ１１と、観測面１６と、参照光群生成手段１７とを有している。光源１０から放射された光は、スプリッタ１１によって測定光と、第１参照光とに分割される。第１参照光は、光路長が互いに異なる複数の第２参照光に分割され、各第２参照光は、観測面１６のそれぞれ異なる位置に到達する。したがって、観測面１６上の位置と第２参照光の光路長が対応付けられる。また、測定光は、測定物１３によって反射されたのち、観測面１６に到達する。観測面１６における干渉縞は、測定光の光路長と第２参照光の光路長が等しい場合に生じ、観測面１６における干渉縞の位置は、第２参照光の光路長に対応しているので、干渉縞の位置から瞬時に測定物１３までの距離を測定することができる。 （もっと読む）

測定量（１２）の変化に従って変化する光学的な経路長差（ｄ_Ｇａｐ）を光に対して生成する空洞共振器（１１）を含む測定セル（５）による測定量（１２）の評価のために、次の各ステップが提案される：光導波路（４）の経路に配置された結合器（３）を介して前記光導波路（４）により白色光源（２）の光（１）を前記空洞共振器（１１）へ導入し、前記空洞共振器（１１）から前記光導波路へ反射された光（１’）の少なくとも一部を前記結合器（３）によって出力結合し、この反射された光（１’）を光学式の分光計（６）へ供給し、前記分光計（６）で反射された光（１’）の光学的なスペクトルを判定して、分光計信号（８）を生成し、前記分光計信号（８）を計算ユニット（９）へ供給し、前記分光計信号（８）は前記計算ユニット（９）により干渉図形へ直接的に変換され、その強度推移からそれぞれの振幅極値の位置が判定され、このそれぞれの位置が、測定量（１２）を含む、前記空洞共振器内での光学的な経路長差のそれぞれの値を直接的に表している。
（もっと読む）

【課題】 従来ＯＣＴ眼科用の場合、参照光側で高速光遅延装置として複数のプリズムを等間隔に配した円板を高速回転させ深さ方向の走査を行っており、またサンプル側に配設された光スキャナによりデータ取得を高速化する方式があるが、回転方式の円板は小型化が困難かつ高速回転にはバランス調整を要し光学系も複雑でかつ、円板回転で複数のプリズムが切替わる瞬間は参照光データが取得できず、またサンプル側のプローブ内に光スキャナがあるものは、プローブが振動や衝撃に弱い問題があった。
【解決手段】 本体の参照側に配置された深さ方向の高速光遅延装置が、光ファイバからの光源光を導入するコリメートレンズとその光を受ける二次元方向高速光スキャナと、その光を受けて反射する回折格子と、同反射された回帰光を受ける前記高速光スキャナ及び前記コリメートレンズを配設してなる。 （もっと読む）

【課題】試料照射レンズ周りを大型化することなく到達深度を向上させ、光断層イメージング装置を、内視鏡などの小型機器に適用できるようにする。
【解決手段】中心波長の異なる複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂを備え、かつ、複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂからの光を被測定部Ｓに照射したときの反射光に基づいて、被測定部Ｓの断層画像を得る光断層イメージグ装置１において、複数の複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂとして、被測定部Ｓにおける深度成分の浅い断層画像を作成するための短波長の光源１０Ａと、被測定部Ｓにおける深度成分の深い断層画像を作成するための長波長の光源１０Ｂと、を使用する。 （もっと読む）

【課題】従来の欠点を解消した、対象物のパターンの高さを測定する方法及び同方法を実施するための装置を提供することを課題とする。
【解決手段】少なくとも一つの対象波長のための対象伝搬モードを有する入射光を、対象物（１４）の表面（１８）によって反射させる。その反射光は、少なくとも一つのパターン（５）によって分割成分（１６，１７）にされる、光の分割波面を有している。この方法は、次に、反射光（７）を集光して、その集光した光をフィルタリングし、対象波長のために、分割成分間の位相差に関するデータを抽出することを含んでいる。この方法によって、表面が構造化されて光を反射する対象物上のパターン、特に、シリコンウェーハ上のパターンの高さを測定することが可能になる。この測定方法は、例えば、深堀りプラズマエッチング中にパターンのエッチングをインサイチュ及びリアルタイムでモニターすることを可能にさせる。

（もっと読む）

センサ装置は、レーザに光学的に結合されるフォトニック結晶構造体を含み、そのフォトニック結晶構造体は、ビームスプリッタと、基準アーム(808)及びセンサアーム(806)を有する干渉計(804)と、ブライトポート光検出器に光学的に結合されるように構成された第１の出力(832)と、ダークポート光検出器に光学的に結合されるように構成された第２の出力(834)とを含む。
（もっと読む）

【課題】非線形誤差及び回折で誘発される誤差を最小化し、拡張性に優れた変位測定干渉計を提供する。
【解決手段】２波長レーザ源１０から出射されるレーザ光は４分の１波長板２０、アイソレータ３５を経て空間的に分離された基準ビームｆ₁、測定ビームｆ₂とされ、光ファイバを通して干渉計４５に導かれる。振幅分割無偏光界面が形成される第１、第２の入力長斜方形サブアセンブリ１９０、２００を介して基準ビームｆ₁、測定ビームｆ₂は偏光ビームスプリッタ内に導かれる。キューブコーナー１１０で再帰反射されて偏光ビームスプリッタに再入射した測定ビームｆ₂と基準ビームｆ₁とが再結合されて位相検出器１３０、１４０に導かれる。基準ビームｆ₁、測定ビームｆ₂は、干渉計４５内において同じ長さの経路を通るように構成されており、温度変化に伴う偏光ビームスプリッタの熱膨張の影響を等しく受けるので、その影響を相殺できる。 （もっと読む）

【課題】波面測定用干渉計におけるシステム誤差を、容易かつ高精度に計測することが可能なシステム誤差計測装置、およびこのようなシステム誤差計測装置を備えた波面測定用干渉計装置を得る。
【解決手段】システム誤差計測装置は、波面測定用干渉計３のシステム誤差の計測を行なう際に、被検光束の導光路上に設置される光学ユニット２を備えている。この光学ユニット２は、入射された光束を収束光束として出力する収束光学系２１と、該収束光学系２１からの収束光束を波面整形し発散光束となして出力する透過型ピンホール２２と、透過型ピンホール２２からの発散光束を、波面測定用干渉計３のシステム誤差を計測可能な評価用光束にして変換して出力する出力光学系２４とを備えてなる。 （もっと読む）

波長分散や光路長等の光学特性を高速に評価することのできる検出装置、光路長測定装置、光学部材評価方法等を提供することを目的とする。 また、他の目的は、化学・生体反応および温熱効果を高精度に評価できる検出装置、温度変化検出方法を提供することにある。 検出装置１０Ａでは、被測定物Ｓの波長分散を受けたゼロ次光Ｂ０と、周波数をシフトさせた一次光Ｂ１とを重ね合わせ、これによって低周波のビートを発生させ、そのビート位相の波長依存性を測定するようにした。さらに、周波数シフター１２からの交流電気信号を位相基準信号とし、測定信号の相対的な位相を検出するようにした。また、互いに波長が異なる測定光と参照光をそれぞれ周波数シフトさせ、測定光のビート位相を、参照光のビート位相を基準として相対的に求めるようにすることも有効である。
（もっと読む）

走査可能ミラー（１００，１１０）を含んでいる機器（１０）は、マルチモード光ファイバ（２４，３２，３６，４２，４６，５２）と光結合器（４０）とを採用している。例えばマルチモード光ファイバ（２４，３２，３６，４２，４６，５２）からのモード分散が、逆畳込みを使用する方法（２００）によって低減される。走査可能ミラー（１００，１１０，４４，１４４）は、光導波管（１０４）の中で動くことのできるミラー（１１０）、又は、膨張可能なコア（１２４，１２４ａ，１２４ｂ）に巻かれている光ファイバ（４２，４６）を採用することができる。
（もっと読む）

【課題】 背景損失を抑えつつ、広帯域の蛍光スペクトルを発生することができる無機光学材料、光源、マイケルソン干渉計、及び光コヒーレントトモグラフィ装置、ならびに、広い利得帯域を有することができる光増幅器を提供する。
【解決手段】 本発明による無機光学材料は、少なくとも１種類の希土類元素を含有し、無色であって、蛍光スペクトルの半値全幅が５０ｎｍより広いことを特徴とするものである。蛍光スペクトルの半値全幅がこのように広いため、この無機光学材料によって広帯域な蛍光を得ることが可能となる。また、例えばこの無機光学材料から発せられる蛍光スペクトルのピークでの波長がＣバンド付近である場合、この無機光学材料を含む光源を用いた干渉型光センサでは２０μｍ以下の分解能を実現することができる。さらに、この無機光学材料は無色であるため、背景損失を抑えることができる。 （もっと読む）

走査可能ミラー（１００，１１０）は、光導波管（１０４）の中を動くことのできるミラー（１１０）を採用している。光導波管（１０４）は、流体によって満たすことができ、ミラー（１１０）は、電磁モーター又は静電モーター（１１２，１１４，１１６，１２０，１２２）によって動かすことができる。
（もっと読む）

シリコン・ベース電気光学変調器は、第２の導電性タイプの本体領域に部分的に重なる第１の導電性タイプのゲート領域を形成することに基づき、比較的薄い誘電層がゲートおよび本体領域の隣接部分間に介在している。変調器はＳＯＩプラットフォームでできていても良く、本体領域はＳＯＩ構造の比較的薄いシリコン表面層内に形成されており、ゲート領域はＳＯＩ構造に重なる比較的薄いシリコン層でできている。ゲートおよび本体領域内のドープ処理は、誘電体の上下に軽くドープ処理された領域を形成するように制御され、それによってこの動的装置領域を画定する。有利には、光電界は基本的に、この動的装置領域内の自由キャリヤ濃度領域と一致する。変調信号の付加により、したがって、同時に誘電体の両側に自由キャリヤの蓄積、除去、または反転が起こり、それによって高速動作につながる。
（もっと読む）

【課題】干渉計監視のための方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明で提供する干渉計の監視方法は、第１の光信号を干渉計および波長基準要素に結合するステップと、干渉計内での第１の光信号の一部の干渉の結果である第１の生成干渉信号を検出するステップと、第１の光信号と波長基準要素との相互作用の結果である生成基準信号を検出するステップと、第１の生成基準信号を生成基準信号と比較し、干渉計のドリフトが有る場合、該ドリフトを検出するステップと、を有する。
（もっと読む）

本発明は、対象物を研究するための光学デバイスに関するものである。本発明による光学デバイスは、単純な手段によって干渉器アームどうしの最大の適合を確保することができる。これにより、医療条件下や産業的条件下での使用時に、深さ方向の解像度を得ることができる。本発明においては、干渉計の少なくとも一方のアームにおいて、特定の光学的パラメータを有した少なくとも１つの交換可能部分を使用する。この特定の光学的パラメータは、例えば、他方のアームの光学的特性によって決定され、特に、光ファイバプローブの光学的特性によって決定される。
（もっと読む）