【課題】基板上に設けられたクリームハンダ又はバンプに関する検査を行うに際し、より正確な検査を実現することの可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板Ｋに対し、下部リングライト１３より、斜め方向から３６５ｎｍ以上４２０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長をもつ紫外線が照射される。より小さな入射角で上部リングライト１２により、６１０ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長をもつ赤色光が照射される。プリント基板Ｋのほぼ真上に設けられたＣＣＤカメラ６により、紫外線の照射された基板Ｋからの反射光及び赤色光の照射された基板Ｋからの反射光が撮像される。ＣＣＤカメラ６にて撮像された各画像データに基づき二次元検査部８Ａではクリームハンダの領域が抽出され、所定の検査が行われる。ＣＣＤカメラ６は可視光用の光学系を具備し、滲みを生じさせることで「中べこ」による影響が払拭される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で対象物の実寸を求めることができる計測装置を提供する。
【解決手段】発光源２は対象空間に光を照射し、光検出素子１は対象空間を撮像する。画像生成部４は、発光源２から対象空間に照射された光と対象空間内の対象物Ｏｂで反射され光検出素子１で受光される反射光との対応関係によって対象物Ｏｂまでの距離を求め、画素値が距離値である距離画像と、受光光量である濃淡値を画素値とする濃淡画像とを生成することにより、同じ画素に距離値と濃淡値とを対応付ける。計測点抽出部５は、画像生成部４で生成された濃淡画像から対象物Ｏｂについて着目する複数の計測点を抽出する。実寸算出部６は、計測点抽出部５で抽出した計測点の位置の画素について画像生成部４で生成された距離画像から求めた距離値と距離画像内での計測点の位置とから対象物Ｏｂにおいて複数の計測点に対応する部位間の実寸を算出する。 （もっと読む）

【課題】一回の投影で多くのパターン光情報を得ることができ、高速かつ高精度の三次元情報を得ることができる三次元計測装置および三次元計測方法ならびに三次元計測プログラムを提供する。
【解決手段】本発明の三次元計測装置は、計測対象物Ａにパターン光を投影する投影手段としてのパターン投影機１と、パターン光が投影された計測対象物Ａを撮像して画像を撮像する撮像手段としてのカメラ２と、このカメラ２により撮像した画像のデータを処理するコンピュータ３とから構成される。コンピュータ３により、撮像された画像から検出された投影パターン光の強度値から投影パターン光を形成している個別パターン光の方向角が算出されるとともに強度分布が分割され、分割されたパターンの各計測点における位相値から奥行き距離が算出されるので、精度の高い三次元情報を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 位置決め操作が必要な光学的測定装置において、位置決めする対象の周囲がいかなる形状であっても測定位置を正確に決めることができ、画像を取得する装置等を必要とせず空間的な制約のある場所においても適用可能な光学的測定装置および位置決め方法を提供する。
【解決手段】 ニードル様の形状の作用部と、精密移動手段を備えた作用部を備える。精密移動手段により、適当な基準点から目標位置まで作用部を移動し、位置決め対象を作用部の先端に接触させて位置決めを行う。作用部の形状をニードル様のものとすれば、測定対象付近の形状によらず位置決めが可能である。
測定に使用する光学系を位置決めに利用する。作用部の先端がレーザの触れると光検出器の出力が変化し、作用部の先端がレーザに触れたことが検出できるため、画像を取得する装置等の付加なしに位置決め手段を構成することができる。 （もっと読む）

本発明は、参照面に対する反射物体の高さプロファイルを測定する干渉方法及びシステムを提供する。本方法は、鏡面反射軸に沿って物体の画像を取得するステップを含む。その画像は投影軸に沿って物体に投影された強度パターンに対応し、鏡面反射軸は、強度パターンの一部分が物体で鏡面反射される方向に対応する。そして本方法は、その画像を用いて物体の位相を算出するステップと、その物体の位相及び参照面に関する参照位相を用いて高さプロファイルを求めるステップを含む。
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【課題】
ウェハ上の大多数を占める，レビューしていない欠陥の情報を有効活用するため，欠陥分類方法において、レビューしていない欠陥に対してレビューした欠陥と同じ定義の欠陥クラスを付与すること。
【解決手段】欠陥検出時の検査装置の欠陥に関する欠陥データとレビュー済み欠陥のレビュー装置のADCで与えられた欠陥クラスを用いて，レビューしていない欠陥に対して同じ定義の欠陥クラスを付与する。
【効果】全欠陥にADCで定義した，詳細な欠陥クラスが与えられることで，欠陥の発生原因を推定する上でより詳しい解析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】蛍光体ペースト塗布工程直後に塗布工程の状態を検査することで塗布工程に発生した連続欠陥の原因となる不具合を迅速に発見し、不良品となりロスとなる基板数を最小限に抑え、速やかに工程を復旧させることを可能にするディスプレイパネルの検査方法および検査装置並びにそれらを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】高さ測定手段を有し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状材料と交差する方向へ、基板、または高さ測定手段を移動させながら、液状材料塗布部を含む基板面の高さ測定を離散的に行い、得られた離散高さ形状信号間を補間して求められた高さ形状信号から液状材料毎の高さを抜き出して連ねた高さ信号を検査信号とし、検査信号より液状材料毎の塗布量を測定することを特徴とするディスプレイパネルの検査方法、および検査装置並びにそれらを用いた製造方法。 （もっと読む）

【課題】
表示されたプリント基板のレイアウト上で印刷はんだされた状態が基準のデータに対してどの程度差があるか定量的に一瞥して分布或いは傾向が認識できるようにすることが目的である。
【課題を解決するための手段】
差演算手段９により、測定された印刷はんだ状態を表す、印刷はんだの高さ、面積又は体積を、予め記憶した基準との差を偏差値として求め、階調割振手段１０により、偏差値を表示上の階調で表現し、各印刷はんだ箇所毎に階調表示することで分布状態が認識できる構成にし、かつ階調表示がどの程度の偏差値かの目安となる階調スケールを表示する構成にした。さらに、より大きな目で全体の傾向が認識できるようにレイアウトを複数の領域に分けて領域毎に偏差値の平均をとり、その平均値を階調表示する構成にした。
【解決手段】 （もっと読む）

【課題】 超微少量の液滴を精度良く吐出することができる液滴吐出方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液体１２をノズル１１の先端から切れない状態で微少量吐出し、ノズル１１の下に位置するプレート５０に対して吐出された液体１２を接触させ、その状態でプレート５０を水平移動させることにより吐出された液体１２をプレート側に引っ張ってノズル１１から切り離しプレート５０上に液滴１３として滴下することを繰り返し、プレート５０に対して液滴１３を所定の間隔で滴下する。 （もっと読む）

【課題】 対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供する。
【解決手段】 対象領域に複数の輝点を投影する投影装置１１と、複数の輝点が投影された対象領域を撮像する撮像装置１２と、撮像された像上の複数の輝点の移動に基づいて、対象領域に存在する対象物の動きを測定する測定手段１４と、対象領域内の平面上で複数の輝点の隣り合う輝点の各間隔が等しくない場合に、対象物の動きを当該輝点又は当該輝点を含む領域の撮像された位置に応じて補正する補正手段２４、２４ａとを備えるので、対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供することができる。 （もっと読む）

液体系内に生成された沈殿物を評価する方法及び装置について記述している。本発明の方法は、沈殿物に関連する高さの計測、ひいては、体積のデータの計測を実現するための情報を光学的に取得するステップを有している。液体系の単一のサンプルを処理することが可能であるが、本発明の方法は、複数のサンプルを処理することにより、沈殿物に関係するデータを高速で取得するのに特に適している。本発明の装置は、ワークステーション間において、且つ、沈殿物に関係する情報の取得に使用される関連した光学装置に対して、サンプルを移動することが可能な自動運搬装置を備えている。
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【課題】高い計測精度を維持しながらスピーディに三次元計測、検査を行うこと、パターンデータを比較的容易に取得することの可能な三次元計測装置を提供する。
【解決手段】三次元計測装置１は、プリント基板Ｋ上に配設されたクリームハンダの高さを求めることに基づいて、クリームハンダの三次元計測を行う。三次元計測装置１の主制御部７は、プリント基板Ｋに対するパターンデータを取得し、前記パターンデータを複数の領域に分割する。主制御部７は、分割された領域Ｃ１乃至Ｃ１６毎に基準エリア候補Ａ１乃至Ａ１６をそれぞれ設定し、近接する基準エリア候補Ａ１乃至Ａ１６（基準エリア候補Ａ７）に基づいて、検査パッドＰＤ１上に載置されるクリームハンダの三次元計測を行う。 （もっと読む）

１つ以上のイメージセンサを用いて、１つ以上の位置における対象物体の画像を取り込み、その結果得られた画像における対象物体の特徴を識別して、機械視覚、例えば、対象物体の三次元の姿勢推定を容易にするシステム及び方法。一組の式が、特徴間における距離、角度及び閉塞体積の不変性等の疎モデル情報を用いて立てられる。この組の式を解き、３Ｄ姿勢を推定し得る。位置の数は、イメージセンサの数、識別される特徴の数、及び／又は全ての特徴より少ない特徴間の既知の物理的関係の数に基づき、決定し得る。様々なイメージセンサ間及び／又は特徴とイメージセンサとの間の物理的関係に関する知識を用い得る。姿勢を用いて、ロボット経路を変換して、その経路を対象物体の現在位置と整合させ得る。
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【課題】 簡易な構成でありつつも、実際の液滴を１滴ごとに高速に計測可能な液滴計測装置および液滴計測手段を提供すること。
【解決手段】 液滴１８０の飛翔経路にレーザ光１３０を発生するレーザ光発生部１２０と、レーザ光１３０の強度を電気信号に変換する光電変換部１５０と、該電気信号を処理する信号処理部１６０とを備え、該信号処理部１６０は、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記光電変換部１５０の信号強度と該液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、前記光電変換部１５０から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算する。 （もっと読む）

屈折率を有する略透明物体の高さを決定するための方法およびシステムを提示する。該方法は高速モアレ干渉計側に基づいており、ペリクルに投影された強度パターンに対応する物体の少なくとも１つの画像を得ることを含む。次いで該方法は、画像を用いて物体に関連付けられる位相を確立することを含み、かつ物体の位相、屈折率、および基準面に対応する基準位相を用いて高さを決定することを含む。 （もっと読む）

【課題】 発電プラントやタービン等に用いられる材料の脆化度を粒界腐食溝の幅や深さなどで評価する際等に適用して有用な、物体表面にある凹部或いは凸部の幅やその体積を高精度に画像解析で測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】 物体表面を測定して得た三次元画像データから、該物体表面上にある測定対象凹部或いは凸部の幅や体積を算出するにあたり、該三次元画像データをコンピュータに入力して、高さ方向の情報を明暗で表した二次元表面形状画像（白黒濃淡画像）を表示し、該表示した二次元表面形状画像の全体に一様に生じている上下および左右の方向に沿った明度勾配をなくすことで該三次元画像データの水平補正処理をし、該水平補正処理後の二次元表面形状画像上で、該画像中の測定対象凹部或いは凸部をトレースしてマスク画像を生成し、該マスク画像で覆われた部分の幅および体積を該三次元画像データに基づいて算出する。 （もっと読む）

【課題】 物体表面にある凹部或いは凸部の体積をコンピュータを用いた画像解析で高精度に計測可能な体積算出用プログラムを提供する。
【解決手段】二次元表面形状画像(1)全面に最大値／最小値フィルター処理をし、測定対象部位両側部の表面高さで凹凸部を消去した２つの画像(2)，(3)を得る。画像(1)−(2)の処理をして低表面側高さで段差をなくした低位置側補正三次元画像(4)を生成し、当該画像(4)を閾値１で２値化して矩形化三次元画像(6)を生成する。画像(1)−(3)の処理を行い、高表面側高さで段差をなくした高位置側補正三次元画像(5)を生成する。画像(5)と(6)の論理積処理をして、画像(5)上で拡幅されている測定対象部位の幅を画像(6)の矩形幅に縮小した縮小補正三次元画像(7)を生成する。画像(7)−(4)の処理を行い、測定対象部位段差部の補正矩形画像(8)を生成する。画像(4)の体積と画像(8)の体積の半分とを加算して対象部位の体積とする。 （もっと読む）

【課題】特徴ある画像の領域指定を行なうことにより、２次元画像の接触・重なりにかかわらず３次元画像を形成し、体積を測定するコンピュータ等のシステムを提供する。
【解決手段】２次元画像をディスプレイに表示しＡ１、その２次元画像のコピー画像Ａ２を中間画像として領域指定を行ないＡ３、その領域毎にＡ４、位置と高さ情報を読み取りＡ５、領域指定毎３次元画像を形成しＡ６、体積を測定するＡ７。Ａ１〜Ａ７の機能を有した３次元画像形成および体積測定システム。 （もっと読む）

【解決手段】アイテムの未切断選択セグメントの重量又は価格を表示する装置及び方法は、位置指示部材を、支持面上に位置するアイテム上方を通過させることを含む。位置指示部材は、一つ以上のセンサを有し、そのセンサが、上記部材が基準位置からアイテム上方の選択された他の位置まで横断される際に、アイテムの連続する横断面輪郭に対応し、アイテムの選択セグメントを規定する信号を生成する。同時に、好ましくは一つ以上の微小構造電子機器（ＭＥＭＳ）加速度計装置から構成された作動検出器配置構造は、アイテムに沿って位置指示器支持部材が移動したときにその作動に対応する信号を生成する。これらの信号は、指示部材の選択された連続位置間に位置するアイテムの未切断選択セグメントの体積を決定すべく、信号処理装置で処理される。これらの累積的な体積決定のそれぞれは、数値重量に変換される、又は、特定のセグメントをアイテムから切断する前に、重量又は価格の情報が見ている顧客に同時に提供される。可視光帯は、センサ・バーからアイテムの特定のタイプの密度要素に基づく部分価格値上に投影され、それにより、部材が上記アイテムに沿って横断されたときに数値的な重量又は（重量に基づく）価格値が表示され、したがってアイテムのオペレータが数値表示に対応する選択セグメントの境界を観察者に明確に示すことが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、表面の３次元検査及び測定用の両用（共焦点干渉）方式光学側面計に関する。本発明は、光源（ＬＥＤ）、ビームスプリッタ（少なくとも一つは偏光性）、照明パターン発生手段（ＬＣｏＳマイクロディスプレイ）、及び標準のレンズの形状では共焦点像が得られ干渉レンズでは干渉像が得られる交換可能な顕微鏡レンズを備える。本発明によれば、マイクロディスプレイは、共焦点像を得るために一連の光パターンを発生するか又は干渉像を得るために全ての光画素の全開口を生成することができる。本発明の側面計は小型に設計されており、異なる材質を含む組織化又は層状化された試料を含むミクロン及びナノメートルスケールの任意の型の表面の形状及びテクスチャの迅速及び非接触の測定が可能である。
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