【課題】動画像から取得された複数の連続する画像に基づいて写真測量を行う画像処理装置において、標定処理に必要な多種類のデータを容易かつ効果的に管理する。
【解決手段】
第１画像処理装置１０は、対象物と撮影部とが少しずつ相対移動して撮影された複数の連続する画像を取得する撮影画像取得部１１と、撮影画像取得部１１により取得された画像から特徴点を抽出する特徴点抽出部１２と、特徴点抽出部１２により抽出された特徴点に対応する点を複数の連続する画像内で追跡する特徴点追跡部１３と、特徴点抽出部１２により抽出された点のデータおよび特徴点追跡部１３により追跡された点のデータを含む追跡データを各画像内に埋め込む埋め込み部１４と、埋め込み部１４により追跡データが埋め込まれた複数の連続する画像を順次出力する出力部１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】感度の高い表面検査が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、所定の繰り返しパターンを有するウェハ１０の表面に第１の直線偏光Ｌ１を照射する照明系３０と、ウェハ１０の表面で生じた楕円偏光Ｌ２から第１の直線偏光Ｌ１と振動方向が異なる第２の直線偏光成分Ｌ３を抽出する検光子４２と、第２の直線偏光成分Ｌ３を検出する撮像カメラ４４と、撮像カメラ４４で検出された第２の直線偏光成分Ｌ３に基づいて、繰り返しパターンの形状変化を表示するモニタ５５と、楕円偏光Ｌ２の進行方向と垂直な面内における楕円短軸の向きと当該垂直な面内における第２の直線偏光成分Ｌ３の振動方向とが略一致するように検光子４２を設定可能な回転駆動装置４３とを備え、繰り返しパターンに応じて検光子４２を設定するようになっている。 （もっと読む）

本発明は測定画像の時空間体積内における軌跡の延長部分を決定する方法に関連している。測定画像の時空間体積は、第１光源とセンサを備える測定システムを使用する測定手法を用いることによって生じる。当該測定手法は、測定システムの予め決められた作動条件において測定対象物を測定システムに対し第１移動方向に沿って動かし、一方で第１光源が測定対象物を照らし、それによってセンサが少なくとも二つの連続する時刻の組の各時刻での測定対象物の測定画像を生じる工程を備えており、それによって測定対象物の特徴点が時空間体積内に軌跡を写像するところの測定画像の時空間体積を生じる。
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【課題】レジスト面の変位を正反射光と乱反射光のそれぞれで測定し、その両者の相関関係を基にレジスト下のパッド面の位置を推定し、その位置からのはんだ高さを求めるプリント板検査装置を提供する。
【解決手段】第１のセンシング手段（OS1,D1,D2）がレジスト面を透過して基板の表面で反射する光を含む散乱光を受けて第１の変位を測定し、第２のセンシング手段（OS2,D3）が正反射した反射光を測定して第２の変位を測定し、それらの差とレジストの厚さとの関係を表す補正値を補正メモリ５に予め記憶する。そして、基板のレジスト面において第１及び第２のセンシング手段により第１の変位と第２の変位を求める。次にそれらの差を基に補正メモリを参照して補正値を求め、第２の変位から補正値を減算して、パッド面位置を求める。第１又は第２のセンシング手段により求めた変位から印刷はんだ箇所の表面の変位をパッド面からの変位として求める構成とした。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のビーム断面の光強度分布を調整して液滴に照射させることにより、液滴の体積や速度や位置を正確に測定すること。
【解決手段】液滴測定装置において、第１レーザ光源と、吐出される液滴に対し前記第１レーザ光源からのレーザ光を照射させる位置で、前記レーザ光のビーム断面について前記液滴の吐出方向のビーム幅に対して前記液滴の吐出方向に垂直な方向のビーム幅が大きくなるようにするものであって、前記液滴の吐出方向に垂直な方向における前記液滴の吐出位置のばらつきが生じる範囲内で前記レーザ光の光強度を所定の範囲に収める第１光学手段と、前記第１光学手段により前記液滴に対し照射された前記レーザ光を受光して検出信号を生成する第１受光手段と、前記第１受光手段で生成する前記検出信号から前記液滴の体積や速度を演算する第１液滴特性演算手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定死角を完全に排除した高精度な３次元測定を短時間でできる印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】基板に対して垂直上方から光照射する１つの光照射手段２３と、前記基板で該照射光路に対し両側方向にそれぞれ反射した光を入射する２つの撮像手段３２、３３とを備え、該入射光に基づいて当該印刷半田を３次元画像処理して検査する。これにより、１つの光照射手段が、基板に対して垂直上方から光照射し、該光照射手段を挟んで相対する２つの撮像手段が、印刷半田によって生じる凹凸状態を斜め両側からそれぞれ撮像するので、照明の影を補うことが可能となって測定死角を完全に排除した高精度な３次元測定ができると共に、同時撮像処理が可能となって測定時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜干渉光を発生する測定対象物の質量と、体積とを同時に測定可能な質量・体積測定装置の提供。
【解決手段】本発明の質量・体積測定装置は、水晶振動子を有し、この水晶振動子の電極上に付着する測定対象物の質量を、振動数変化に基づいて測定する質量測定手段と、前記水晶振動子の電極上の測定対象物に光を照射する光照射器を有し、前記測定対象物の体積を、照射された光の反射光によって生じる干渉光に基づいて測定する体積測定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 主に燃料噴射弁からの液漏れ量測定装置等に、測定管として用いられている透明な管の内径寸法を、比較的簡単な装置と演算により高精度に求める事が出来る透明管の内径測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象である透明管を、高い容量精度、再現精度が保証された測定液注入器に連結し、一定量の測定液を注入した際に上昇する液面高さを測長手段によって読み取り、注入液容量を液面上昇量で除して得られる内径断面積により確度の高い内径寸法値が得られる。 （もっと読む）

【課題】水面に現れた気泡から大気に放出される気体の体積を長期間に亘り連続的に計測することができるバブルカウントシステムを提供する。
【解決手段】水面を撮像した画像データ３０と気泡パターン４０との照合を行い、その照合結果に基づいて画像データの気泡候補部３１を特定し、ハフ変換により気泡候補部３１から白色部３２を検出し、時刻Ｔ_１における第１気泡候補部３１−１の大きさが、時刻Ｔ_２における第２気泡候補部３１−２の大きさと同一サイズであり、且つ第１気泡候補部３１−１の位置と第１気泡候補部３１−２の位置との差が一定範囲内であることを条件として、第１気泡候補部３１−１を気泡部として検出し、当該気泡部の画素数に基づいて前記水面に現れた気泡の直径を算出し、この直径に基づいて当該気泡に含有される気体の体積を算出する。 （もっと読む）

【課題】印刷半田の状態を的確に検査することができる印刷半田検査方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】基板１０に印刷された半田１０ｘの２次元画像を撮像する光学系２０、３０と、当該印刷半田の３次元画像を撮像する光学系２０、３０と、撮像した２次元画像及び３次元画像を処理して、該印刷半田の底部面積、パッド面積等の２次元性状の項目６１を測定すると共に断面積、突起面積、平均高さ、ピーク高さ、体積等の３次元性状の項目６２を測定し、当該測定項目に基づいて該印刷半田の形状を決定し、また、少なくとも２つの前記測定項目をマトリックス状に組み合わせて該印刷半田の形成合否を判定する検査部５０、６０、８０とを備える。これにより、２次元測定と３次元測定をそれぞれ単独で実施するよりも、正確に印刷半田の形状を決定することが可能となると共に正確に印刷半田の形成合否を判定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コンベアで搬送される搬送物の累計体積の推定精度を向上させることが可能な搬送量推定装置を提供する。
【解決手段】管理面Ｑを通過した搬送物Ｚの累計体積を推定する搬送量推定装置Ｅ１であって、最も外側に位置する二つの測線Ｄ₁，Ｄ_kと計測対象面Ｐ_nとで囲まれた計測領域Ｋの実面積を取得する面積取得手段３１と、管理面Ｑを通過した搬送物Ｚの通過体積を取得する体積取得手段３３と、を備えており、面積取得手段３１は、空荷状態であると判定されたときには、空荷状態を想定して規定した仮想距離ｄ_Hを用いて算出した計測領域Ｋの面積を実面積として取得し、空荷状態でないと判定されたときには、距離取得手段１１で取得された距離ｄ_nを用いて算出した計測領域Ｋの面積を実面積として取得する。 （もっと読む）

【課題】ドット着弾位置及びドット径（液滴体積）を同時に高精度で測定可能とするドット計測技術を提供する。
【解決手段】各ノズルに対応したドット列によるラインパターンが形成された媒体を第１の方向に搬送しつつ、ラインパターンに対して所定の角度で交差する受光素子列を有する撮像装置を第１の方向と異なる第２の方向に移動させながらラインパターンを撮像し、当該撮像画像から各ラインパターンを横切る１次元画素列の画像信号値の変動を表すプロファイルブラフを複数取得する。各プロファイルグラフから各ラインパターンの濃度中心に対応する極値位置と、当該ラインパターンの左右両エッジに対応する第１エッジ位置及び第２エッジ位置を算出し、最小二乗法により、ライン中心近似直線、第１エッジ近似直線、第２エッジ近似直線を得る。予め知見しておいたライン幅とドット径の相関からドット径を求める。 （もっと読む）

掘削機のバケットにより掘削された土工量を３Ｄ地盤形状イメージを通じて算出することができ、作業が完了した地域に対する最終土工量を正確に算出することができ、リアルタイムな３次元地盤形状イメージにより最適の土工作業計画システムを開発及び活用することができる、構造光を使用した土工量算出装置及び方法を提供する。
この技術的構成は、掘削機アームの各折曲点に具備されて掘削機アームの位置及び屈折角を感知して出力する制御センサー部と、該制御センサー部の出力により掘削機アームの一側端部に具備されたバケットの作業領域の映像を撮影するように制御信号を出力し、撮影された映像を３次元イメージに変換して土工量を算出するマイクロコントローラーと、前記制御信号により前記作業領域を照査するように光源がオンになる照明モジュールと、前記制御信号により前記作業領域を撮影する構造光モジュールとを含む。
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【課題】輪郭測定装置及び動作方法を提供する。
【解決手段】輪郭測定装置（１２）は、対象物（２２）上に縞パターンを投影するように構成されている縞投影デバイス（３２）と、対象物（２２）によって変調された歪み縞パターンの画像を取得するように構成されている光学ユニット（３４）とを含む。輪郭測定装置（１２）はまた、光学ユニット（３４）からの取得した画像を処理して、該画像からノイズをフィルタリングし且つ対象物（２２）の製造又は修理に関連したパラメータについての実時間推定値を求めるように構成されている信号処理ユニット（６０）を含む。 （もっと読む）

【課題】測定範囲外で測定に必要な主走査の位置の変更に係る時間を短縮する。
【解決手段】走査制御部２５ａは、主走査機構１１を駆動させて測定範囲を距離Ｌの間隔を置いてＮ回、前記第１方向に平行な主走査をさせるとともに、測定範囲外で主走査機構による主走査の延長線上における延長副走査と、副走査機構３による第１方向と直交する第２の方向への副走査とを、ほぼ同時に実行させて距離Ｌの間隔をＮ−１回に亘って主走査位置を変更させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】特別な測定用冶具及び測定装置を必要とせず、正確に液滴量を測定することができる測定装置を提供する。また、この測定装置の測定結果に基づいて、液滴量を調整する装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する液滴吐出ノズルと、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する基板と、前記集合液滴の量を測定する液滴量測定手段とを備える。前記液滴量測定手段の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、溶媒の蒸散によって発生する各着弾ドットにおける体積の測定誤差を極力抑えることができる着弾ドットの体積測定方法を提供することを課題としている。
【解決手段】固形成分とその溶媒とから成る機能液を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１により、検査シート１６上に機能液滴を吐出着弾する検査吐出工程と、吐出着弾した機能液滴である着弾ドットを、画像認識して体積を測定する体積測定工程と、を備えた着弾ドットの体積測定方法であって、体積測定工程における前記着弾ドットの体積測定は、着弾ドットの前記溶媒の蒸散が微量化する乾燥安定化状態を待って行われる。 （もっと読む）

【課題】ブリスターパックのポケットを満たす粉末物質の薄層の形態にある材料の体積を検査する方法を提供する。
【解決手段】測定システム(3)の測定領域(9)に、反射性で粉末物質の薄層で満たされた複数のポケット(11)をもつブリスターパック(5)をもたらす段階(40)；粉末物質(13)を近赤外放射にさらす段階(42)；ポケット(11)から反射される放射を検出し、ポケット(11)に対する実際の反射スペクトル(25b)の少なくとも一部の範囲を記録する段階(44)；実際の反射スペクトル(25b)の少なくとも一部の範囲に対して、実際の反射スペクトル(25b)で表示された強度に関連した実際の値を計算する段階(46)；実際の反射スペクトル(25b)の少なくとも一部の範囲において、計算された実際の値と基準値とを比較する段階(48)；比較結果の関数として粉末物質(13)の濃度に対する層厚さの比を検査する段階(50)を含む。 （もっと読む）

【課題】
デフォーカス技術を用いた三次元（３Ｄ）撮像装置および方法を開示する。
【解決手段】
この装置は、実質的に楕円である１つの絞り開口を備えた１つのレンズと、被写体から出て、かつレンズと実質的に楕円である絞り開口とを通過した光を獲得するために動作可能な１つのセンサーと、センサー情報を処理するため、かつ被写体の３Ｄ画像を生成するために、センサーと通信可能に接続されたプロセッサとを有する。この絞り開口は、焦点面より前にある被写体と、焦点面より後ろにある被写体とを区別するために、非対称形状を有しうる。この絞り開口は、回転可能であってもよく、観察されるパターンの方向は、時間と共に楕円である絞り開口に対して相対的に変動し、これにより、画像の重複による不明確さが除去される。この開示された装置は、さらに、所望の被写体の表面上に電磁放射線の所定のパターンを投影するように構成された光投影システムを有し、これにより、マークされていない表面が三次元でマッピングされることができる。 （もっと読む）

【課題】検査装置がはんだ形状の良否判定に用いた測定値に基づく三次元形状の画像データを集中管理する管理装置側で速やかに表示し、虚報か否かの判定に供することのできる集中管理技術を提供することである。
【解決手段】複数の検査ラインに配置された印刷はんだ検査装置１００は、プリント基板のはんだ状態を測定し、その良、不良を判定し、さらに、判定結果が不良であるときは該検査を一時停止させるとともに、一時停止中であることの知らせと、不良と判定されたはんだ箇所の形状を表す三次元画像とを含む状態情報を、管理装置へ送信する。管理装置は、各印刷はんだ検査装置から状態情報を受信し、各検査ラインでの検査が一時停止しているか否かを識別可能に表示手段の画面に一覧表示させ、次に、一時停止中の検査ラインがある場合は、不良と判定されたはんだ箇所の三次元画像を表示する対策画面に切り替える表示制御手段２２を備えた。 （もっと読む）