【課題】大口径凹鏡を用いた三角測量装置を提供する。
【解決手段】本発明は大口径凹鏡を用いた三角測量装置に係り、さらに詳しくは、大口径凹鏡を用いて物体に入射する光量の集中度を高めることにより正確な映像を取得して精度を高める大口径凹鏡を用いた三角測量装置に関する。本発明の装置は、ライン光を発する任意の照明と、前記任意の照明から発せられたライン光を前記物体の表面に向かって反射させるための大口径凹鏡と、前記物体から反射された光を受光するためのカメラと、を備えることを特徴とする。これにより、本発明の装置は、大口径凹鏡により収束光を形成して取得された３次元バンプの測定領域が一層広くなり、しかも、形状誤差が減少されるという効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】被写体にパターン光を照射することにより取得した画像を用いて、被写体の３次元形状を正確に計測する。
【解決手段】プロジェクタ４から所定方向に偏光されたパターン光を出射して被写体に照射する。被写体におけるパターン光の反射光は、フィルタ部１４，１５により所定方向に直交する方向に偏光されて、第１および第２のカメラ２，３に入射する。これにより、第１および第２のカメラ２，３が基準画像および参照画像を取得し、演算部５が画素の対応付けを行うことにより、被写体の３次元形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】照明光が照明された撮影対象物を撮影した画像により、撮影対象物の形状を明確に捉えることのできる画像表示装置及び画像表示方法を提供する。
【解決手段】撮影対象物２のまわりをかこむ周囲の複数の位置のそれぞれから順次照明光Ｌを撮影対象物２に照明したときの撮影対象物２の画像がカメラ３によって撮影される。そして該撮影により得られた複数の撮影画像にわたって対応する画素の明度の平均値が撮影画像の画素ごとに算出され、該算出された各平均値が、表示装置６に表示させる撮影対象物２の画像における対応画素の明度として設定される。 （もっと読む）

【課題】傾斜した測定面を有する被測定物を良好に測定できる光学式変位測定器を提供。
【解決手段】第１反射光の結像点の前および第２反射光の結像点の後に、複数の受光素子を隣接配列した第１光検出部２３５Ａおよび第２光検出部２３５Ｂを設ける。焦点位置検出回路は、第１光検出部および第２光検出部において、隣接受光素子の受光信号の和の組み合わせの中から最大値を選択する最大値選択手段と、第１光検出部および第２光検出部のそれぞれにおいて全受光素子の受光信号の合計値を求める合計値演算手段と、合計値から最大値を減算して光検出信号を求める光検出信号演算手段と、この各光検出信号の差を焦点位置と測定面とのずれ量に基づく信号としてサーボ回路へ与えるエラー信号演算回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の反射率の大きさや計測環境の照明の明るさ等にかかわらず、光切断線の撮像画像において光切断線を確実に抽出することができ、露出についてロバストな自動制御に対応することができる三次元形状計測方法を提供すること。
【解決手段】光切断法による三次元形状計測方法において、アンダー側の限界の状態およびオーバー側の限界の状態を含む複数の露出状態での二次元画像を取得し、取得された複数の二次元画像それぞれについて、画像データについての輝度値の積算値である輝度体積Ｖを算出し、算出された輝度体積Ｖの複数の二次元画像についての平均値を、露出の制御における目標輝度体積Ｖ_ｒｅｆとして設定し、目標輝度体積Ｖ_ｒｅｆに基づく入力信号と、スリット光のワークに対する各走査位置に対応する二次元画像について算出される測定輝度体積Ｖ_ｍｅａｓに基づくフィードバック信号との比較による差に基づいて、露出の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】光量過多によるノイズの影響を極力排する高さ測定装置および高さ測定方法を提供する。
【解決手段】電子部品１７に向けて鉛直方向にレーザ光を投射するレーザ発振器１０と、電子部品１７の表面で反射したレーザ光を鉛直方向に対して異なる角度をなす位置でそれぞれ受光する１５度ＰＳＤと３５度ＰＳＤからなる３Ｄセンサ２において、電子部品１７の反射特性に基づいて、１５度ＰＳＤと３５度ＰＳＤのうち受光量が過多とならない何れかのＰＳＤを選択し、この選択したＰＳＤから発せられた電気信号に基づいて電子部品１７の高さを計測する。 （もっと読む）

【課題】個々間で厚さにばらつきのある薄膜部材のパターンマッチングを安定して行うことができる画像認識装置及び画像認識方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光源部８は波長の異なる照明光Ｌを選択的に切り換えて出射し、照明光学系９は光源部８から出射された照明光Ｌを認識マークＭ（薄膜部材）に導いてこれを照明する。制御部１０は、光源部８から出射される照明光Ｌの波長を切り換えて異なる波長の照明光Ｌで認識マークＭを照明しながらカメラ７ｅで認識マークＭの撮像を行うとともに、認識マークＭの撮像に用いている照明光Ｌの波長に応じた認識マークＭのテンプレート画像を記憶部１１から読み出し、撮像によって得られた認識マークＭの画像と記憶部１１から読み出したテンプレート画像とを比較してパターンマッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】光の反射率が異なる複数の測定対象部位を有する試料に対しても精度の高い測定を可能とする。
【解決手段】メモリ６５には、試料３０の第１及び第２の測定対象部位に応じた光量設定データを予め記憶されている。制御ユニット６０の第１の画像取得制御部６２は、第１の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ６６に記録する。続いて、第２の画像取得制御部６３は、第２の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ６６に記録する。そして、３次元測定装置は、第１及び第２の画像取得制御部６２，６３により取得された画像から輝度が最大の画素が撮像されたときの焦点位置から第１及び第２の測定対象部位の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】
従来、撮影する画像の同一視野内のダイナミックレンジが撮像部のダイナミックレンジを越える場合、白飛びや黒潰れが生じるという問題があった。
【解決手段】
本発明に係る画像ゲイン調整装置は、撮影する画像の画素毎のゲインを制御する画像ゲイン調整装置であって、指定されたゲインで画像を撮影する画像撮影部と、前記画像撮影部で撮影した画像の各画素の輝度値が予め設定された所定範囲内であるか否かを判別する輝度値判別部と、各画素の輝度値が所定範囲内の場合は撮影時のゲインを当該画素のゲインとして設定し、各画素の輝度値が所定範囲外の場合は当該画素の輝度値が所定範囲内になる方向にゲインを指定して前記画像撮影部で画像を撮影する一連の動作を全画素の前記輝度値判別部の判別結果が所定範囲内になるまで繰り返すゲイン設定部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出信号のコントラストを落とすことなく正確に基板表面の面位置を測定できる位置測定装置、位置測定方法および前記位置測定装置を具備した投影露光装置を実現する。
【解決手段】光源からの光を参照光と測定光に分離する第１のビームスプリッタと、参照光が入射する参照ミラーと、参照ミラーで反射した参照光と、被測定物に入射して反射した測定光とを合成する第２のビームスプリッタと、合成された参照光と測定光とが干渉することにより生じる干渉パターンを検出する光電変換素子と、被測定物を駆動する駆動機構と、を備え、干渉光により形成される干渉パターンを、被測定物を駆動しながら、光電変換素子により検出し、干渉パターンから得られる検出信号の変化に基いて、被測定物の表面位置を求める位置測定装置において、反射した測定光と反射した参照光が干渉する領域の信号を選択する選択手段を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 複雑な画像処理を経ることなく、塗装面の状態を精確に反映した検出値により信頼性の高い平滑性検査を安定的に行なうことができる塗装状態検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 塗装面４上の被検査面４０に、全面的な暗部（２０ｂ）と該暗部中に配置された細線状の明部（２０ａ）で構成された明暗画像（２０）を投影する画像投影手段２と、被検査面４０の投影画像（５０）を撮像する撮像手段３と、得られた多階調画像５０を所定の閾値（Ｖ_Ｔ）で２値化し、その２値画像における明暗境界線（５２ｃ）を抽出する画像処理手段５と、前記明暗境界線の波形を解析して塗装面の平滑性を判定する判定手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】めっきの製造条件の微少な変動によらず、めっきの検査を行なうことが可能な検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】表面にめっき部と非めっき部の金属パターンを有する基板を所定速度で搬送する搬送段階と、基板の法線方向から０°〜１０°傾いた方向から、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、基板の表面を撮像する撮像段階と、基板の非めっき部の金属材料とめっき部のめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を照明手段により照射するか、又はその波長域の光のみを選択的に透過可能な波長選択手段により不要な波長域の光を遮断して撮像させる波長選択段階と、基板に、第１の照明手段による間接光、又は第２の照明手段による直接光、のうちいずれか一方を照射させる照明選択段階と、撮像段階にて得られた基板の表面の画像データを用いて、非めっき部とめっき部に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階とを有する。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの検査において、ソルダレジストが塗布された部分は画像データの輝度が低くなるため、画像処理を利用した欠陥検査では回路パターンを取得しにくかった。ソルダレジストが塗布された部分の回路パターンを得るためには、照射する光を強くする必要があるが、ソルダレジストを塗布しなかった部分は白飛びになってしまい、ソルダレジストがある部分と無い部分を検査するための検査装置が必要であった。
【解決手段】強い光を照射し、白飛びを起こした部分を画像データから削除して欠陥検査を行い、次に通常の強度の光を照射して白飛びして削除された部分の欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】透明体の不良について、より明瞭に検査できる透明体検査装置、透明体検査方法、および透明体検査システムを提供する。
【解決手段】普通人が視認すると透明に見える透明体を検査する透明体検査装置に、前記透明体に含有されている蛍光成分を発光させる所定波長の照明光を照射する照明手段と、該照射を受けて発光している前記透明体を撮影して撮影画像を取得する撮影手段と、該撮影画像に基づいて前記透明体に不良がないか判定する判定手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】記録光学素子で液滴全体を撮像するか否かに関わらず使用可能で、より安定的かつ信頼性の高い像分析を可能にし、コントラストが鮮明な接触角測定法および装置を提供する。
【解決手段】試料表面（３）と、気体環境と、試料表面（３）上に配置され、曲面（７）、対称軸（Ａ_Sy−Ａ_Sy）及び規定の体積（Ｖ_I）を有する液滴（５）とから接触角（φ）を求める方法を提供する。本方法においては、液滴（５）の表面（７）の反射特性と、いずれも既知の光学的測定システムの光軸（Ａ−Ａ）に対する被写体の位置および試料表面（３）に対する被写体の位置と、光軸（Ａ−Ａ）の上または近傍に配置された液滴（５）の対称軸（Ａ_Sy−Ａ_Sy）とに基づいて、被写体を結像する。該像と液滴（５）の光軸（Ａ−Ａ）との間の距離を測定し、該測定距離によって液滴（５）の曲面半径を求め、該曲面半径によって接触角を求める。 （もっと読む）

【課題】この発明は、ケーブル等の独自の特徴点が少ない検出対象の画像情報からでも特徴点をより確実に抽出でき、より確実に３次元形状を検出できる３次元形状検出装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】回折格子４１は、レーザ光発生器４０とケーブル１０との間に回動可能に配置されており、レーザ光発生器４０のレーザ光を複数のスリット光４２からなるパターン光４３とする。処理手段は、パターン光４３によりケーブル１０に付加された複数の輝点１０ａを特徴点として抽出する。 （もっと読む）

【課題】凹凸を有する被検査物の表面の比較的広範囲の傷等の情報をその全範囲においてピントが合った状態で的確に検出することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有する被検査物Ｗの表面Ｗｓに光を照射し、該表面Ｗｓでの反射光を受光素子５で検出して被検査物Ｗの表面Ｗｓの検査を行うように構成された表面検査装置１において、束ねられた複数の光ファイバ４１からなり、入力側端部４ａにおけるファイバ位置（ｘ，ｙ）と出力側端部４ｂにおけるファイバ位置（ｘ^＊，ｙ^＊）とが光学的に１対１に対応付けられ、表面Ｗｓでの反射光Ｌreを受光素子５に導くファイババンドル４を備え、ファイババンドル４の入力側端部４ａが、被検査物Ｗの表面Ｗｓの形状と相補的でありかつ等倍または相似な形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】微小線幅測定装置等の検査装置においては、カメラのブラックレベルが固定で、調光器により、光量を調整するだけのため、測定するパターンによっては、コントラストが悪い画像となってしまう。
【解決手段】画像処理部と、顕微鏡と、光源と、光源の光量を調整する調光器と、カメラと、調光器による調光を画像の輝度値から行い、測定パターンによってカメラのブラックレベルを最適な値に設定する制御部とを設け、最低輝度の数によって、カメラのブラックレベルを測定パターン毎に最適な値に設定することで、コントラストの高い画像を得る。これによって、カメラのダイナミックレンジを有効利用することが可能となり、高精度な測定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】エンボステープのポケットに収納された状態等の電子部品の傷や欠け等の外観検査を精度よく行うことができる電子部品検査装置および電子部品検査方法を提供する。
【解決手段】電子部品１３に対して直交する方向から第１照明光を照射するとともに、電子部品に対して斜め方向から第２照明光を照射し、電子部品１３とこの周りの部位とにコントラスト差を生じさせて、電子部品１３の輪郭を検出する工程を行う。電子部品１３に対して斜め方向から第３照明光を照射して電子部品１３の表面を検査する工程を行う。 （もっと読む）

【課題】低コントラストの障害物を検出でき、且つノイズとなる不要なエッジ点の検出を防止することができる障害物検出装置を提供する。
【解決手段】遠赤外線撮像装置１Ｒ，１Ｌが撮像して得た画像に基づいて障害物を検出する障害物検出装置３に、撮像して得た画像を構成する各画素の画素値に基づいて各画素のエッジ強度を算出する手段と、複数の所定画像部分毎にエッジ強度の度数分布を算出する手段と、障害物の輪郭に相当する所定数のエッジ点を検出するための閾値を、前記度数分布に基づいて前記所定画像部分毎に選択する閾値選択手段と、前記所定画像部分を構成する画素の画素値及び該所定画像部分で選択された閾値を比較することにより、該閾値以上の画素値を有するエッジ点を検出するエッジ点検出手段とを備え、前記エッジ点検出手段が検出したエッジ点に基づいて障害物を検出する処理を実行する制御部を備える。 （もっと読む）