【課題】被写体やレンズの倍率に依存せず、ノイズの影響が小さい最適な調光を実現する。
【解決手段】顕微鏡４１と、光源の光量を調整する調光器４４と、アンプゲインとシャッタスピードにより調光制御可能な撮像装置４０とを有し、調光器による輝度調整とカメラによる輝度調整とを、映像の輝度値により制御可能で、被写体やレンズ倍率に依存しない調光を行う。 （もっと読む）

【課題】支持基板上に設けられた光透過性の膜の膜厚を精度よく測定することが可能な膜厚測定方法などを提供する。
【解決手段】支持基板上に設けられた光透過性を有する膜の膜厚を測定する膜厚測定方法は、膜に光を入射させ、膜の表面で反射された光と、支持基板の表面で反射された光との干渉により得られる反射光を分光して、分光された反射光の光量を検出し、光量から反射率を演算する際に、反射率を任意の大きさに拡大することにより反射率が極小及び極大となる波長を求め、反射率が極小及び極大となる波長並びに膜の屈折率を用いて膜の膜厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】画像上の対象物の明るさに左右されることなく、対象物の抽出精度を確保する。
【解決手段】カラーハイライト照明を用いた基板検査装置において、リード先端部を検査のために抽出するに際し、処理対象のカラー画像を構成するＲ，Ｇ，Ｂの各色データをそれぞれ所定の係数により重み付けし、重み付け後の各色データの総和Ｉを濃度とするグレイスケール画像を生成する。ここで各係数のうち、検査対象のリード先端部を抽出するのに適した色データであるＲ，Ｇの係数には正の値が設定され、残りのＢには負の値が設定される。さらに生成されたグレイスケール画像について、判別分析法によりしきい値を特定した後に、そのしきい値による２値化処理を行って、リード先端部を抽出する。 （もっと読む）

【課題】 レジストの色による透過率の違いから生ずる検査感度のバラツキを回避し、着色膜厚ムラを高い精度で検出できるムラ検査方法および装置を提供すること。
【解決手段】 近赤外域の感度を高めた撮像素子を使用し、全ての着色膜の光透過率が５０％以上となり、且つ、前記撮像素子が感度を持つ波長域として、中心値８００ｎｍから９００ｎｍで半値幅３０ｎｍ以下となる光を検査対象基板３へ照射し、前記着色膜表面での反射光と、前記着色膜を透過して検査対象基板３の基板界面との境界で反射してくる反射光との位相差により生ずる干渉現象をもとに前記着色膜厚の変化を反射光の濃淡として撮像する。 （もっと読む）

【課題】フープのような厚さの薄い無端金属ベルト１のＲ端面１ａに存在する傷４を、光を照射する方法を採用しながら、より完全に検出する。
【解決手段】無端金属ベルト１のＲ端面１ａの稜線１ｂを通りかつ無端金属ベルト１の幅方向に対して垂直である仮想垂直面ＰＸに対して１０°〜２０°の範囲に傾斜する方向の光Ｌ１，Ｌ２をＲ端面領域に両側方から対向して照光する。照光領域を無端金属ベルト１のＲ端面１ａの上方に配置した撮像手段１０により撮像する。撮像した映像に現れる陰影に応じて、傷４を検出する。 （もっと読む）

【課題】凸部が表面に形成されたフィルムを巻いて形成されるロール状体について、隣接するフィルム間のギャップを検査員の主観を排除して計測する。
【解決手段】計測対象２（ロール状体）に照射光を当てる照明光源８と、上記照射光により生成され、計測対象２の端面から出射する出射光により形成される原画像を取得する画像センサ１０と、上記原画像において生じる、上記フィルムと、隣接するフィルム同士のギャップとのコントラスト差に基づき、上記ギャップを計測するＰＣ１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】セルの内壁からの反射光の影響を削除し、正確にセルの形状を測定することができるグラビア版セル形状測定装置を提供する。
【解決手段】グラビア版セル形状測定装置には、偏光角度変更手段２０を備えたカメラ顕微鏡２が備えられ、それぞれ異なる偏光角度で複数枚のセル画像を撮像する。グラビア版セル形状測定装置がセルの形状を測定する際は、撮像した複数枚のセル画像の中から、画像の平均輝度が一定値以上のセル画像を合成して一枚の合成画像を生成し、生成した合成画像を用いてセルの形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 被検対物レンズの基準面に対する傾きを検出する対物レンズの傾き調整用光学系において、有限光が入射光となる対物レンズの傾きを調整することができ、例えば干渉計により透過波面を正確に測定することが対物レンズの傾き調整用光学系を提供する。
【解決手段】検出光出射系が、レーザ光源と、このレーザ光源からの光束を平行光束とするコリメートレンズ系と、この平行光束を拡散有限光にして被検対物レンズに入射させる負レンズ系とを含み、この負レンズ系が、被検対物レンズが正しく光軸上に位置するとき、拡散有限光として被検対物レンズの環状平面部に入射した光束を再び該環状平面部で反射させて入射拡散光束と同一光路で戻すことができるオートコリメーション凹面を備えている対物レンズの傾き調整用光学系。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に用いるレーザ光の光量が低減することなく、パターン欠陥の検出を高感度にて行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】パターン欠陥検査装置は、試料を移動させるためのステージと、レーザ光源からのレーザ光を試料に照射する照射系と、試料からの光を検出するＴＤＩ（Time Delay Integration：遅延積算）イメージセンサと、イメージセンサの検出感度を補正するための感度補正回路と、感度補正回路の出力より試料の欠陥を判定する欠陥判定回路と、を有する。イメージセンサに隣接して試料からの光を受光する光量検出器を設け、レーザ光源の光量変動情報を得る。感度補正回路は、ステージの速度変動情報とレーザ光源の光量変動情報に基づいて、イメージセンサの検出感度を補正する。 （もっと読む）

【課題】 カラーフィルターのような色彩を有する物質と共に存在する透明膜領域を容易に検出する。
【解決手段】所定の色を有する物質２５と透明膜２６の積層した被測定物１４における前記透明膜の測定システムであって、前記所定の色の光波長を含まないかまたは他の光波長に対して相対的に強度を減じた光を前記透明膜に照射する光源手段５と、前記照射により反射した光を受光して前記透明膜を画像処理する画像処理手段Ｂ１とを具備してなる透明膜の測定システム。 （もっと読む）

【課題】 変曲点を境に、異なる光電変換特性を有する撮像素子を搭載した撮像装置を複数台備えた撮像システムにおいて、複数台の撮像装置間の画像の各種バラツキを的確に補正し、高速かつ正確なステレオ画像処理に適した撮像システムを提供すること。
【解決手段】 複数台の撮像装置の画像の撮像タイミング、光電変換特性の変曲点、感度、温度特性等を合わせ込むことで、複数台の撮像装置間の画像の各種バラツキを的確に補正し、高速かつ正確なステレオ画像処理に適した撮像システムを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 点字と文字が重なり合っているような点字面からでも、処理装置の負荷を抑制しながら点字部分を容易に認識できるようにする。
【解決手段】 点字が形成されている点字面１０に対して光を照射する第１照射部１０２と、点字面１０に対して第１照射部１０２とは異なる波長の光を照射する第２照射部１０３と、第1照射部１０２及び第２照射部１０３により照射された点字面１０を撮像し、点字面１０の映像信号を出力する撮像部１０４と、映像信号から、少なくとも点字面１０における第１照射部１０２のみによる照射領域および第２照射部１０３のみによる照射領域を認識することにより点字を認識する点字認識部１０７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ラビングスジ欠陥を高精度に検出できる表示パネルの検査方法および検査装置の提供。
【解決手段】 表示パネルの検査装置は、スジ欠陥強調手段３００と、前記スジ欠陥強調手段３００において強調された画像に基づいて、スジ欠陥とラビジングスジ欠陥とを分別する欠陥分別手段４００と、前記欠陥分別手段４００においてラビングスジ欠陥と分別された欠陥を評価するラビングスジ欠陥評価手段５００とを備える。欠陥分別手段４００は、スジ欠陥強調手段３００で強調された各スジ欠陥が、ほぼ直線状の欠陥であり、かつ、スジ欠陥の形成方向がそのパネルに対してラビング処理された方向にほぼ一致する場合にはラビングスジ欠陥と判別し、それ以外の場合にはスジ欠陥と判別する。このため、欠陥幅や長さ、間隔などが変動していても、それらの影響を受けることなくラビングスジ欠陥を確実に判別できる。 （もっと読む）

【課題】 測定物表面が鏡面であってもその輪郭形状を非接触で測定する表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 投光部６からのスポット光が、鏡面である測定物表面ＭＰにて反射した反射光を受光する受光面７１を、その法線成分を含む方向に駆動し、受光面７１の法線方向の変位に伴う受光位置の変化に基づいて反射光の光軸位置を決定して、反射光の光軸とスポット光の投光軸との交差位置を測定物表面ＭＰ上の測定点の位置として決定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象が透明な容器であっても、コントラストが良好でありかつ輪郭が明瞭な容器の画像が得られ、容器の外径を精度良く測定できるようにする。
【解決手段】外形検査装置は、検査対象のびんＧを支持するテーブル１と、テーブル１上に支持されたびんＧへ拡散光を照射する面光源７と、びんＧを中間に挟んで面光源７と対向位置させる撮像装置６０とから成る。前記面光源７は撮像装置６０の視野範囲に応じた大きさの発光面７６を有している。前記発光面７６は横方向へ並ぶ複数列のブロックに区分されるとともに、ブロック別に点灯または消灯のいずれかの状態に設定されている。 （もっと読む）

【課題】撮影画像のコントラストを改善してチップ表面の凸部を容易に検出することを可能とする表面検査装置又は表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１に、光源からの光をライン状にしてステージ上に支持されたバンプ付きチップ２の表面に斜め一方向から光を照射するラインライトガイド５と、バンプ付きチップ２の表面の反射光を透過させるテレセントリック光学系７とを設け、テレセントリック光学系７によって結像された反射光によりバンプ付きチップ２の表面の凸部を検査する。 （もっと読む）

【課題】 観測対象物の位置を３次元的に検出し、顕微鏡下で運動する蛋白質１分子の３次元運動を高精度で検出することにも寄与する３次元位置観測方法と装置を提供すること。
【解決手段】 合焦及び絞り機構を有するレンズ系を備え、観測対象物からの光を撮像面に結像する観測装置において、観測対象物から撮像面に至る光路の途中に、その観測光の進行方向を複数の異なる方向に変える偏向部材を配設し、画像解析手段により、偏向部材を介して撮像面に達した複数の像の間の位置関係から、観測対象物の位置を解析する。観測対象物から撮像面に至る光路の途中に、その観測光の一部の進行方向を変える偏向部材を配設し、画像解析手段により、偏向部材を介して撮像面に達した像と、偏向部材を介さないで撮像面に達した像との位置関係から、観測対象物の位置を解析してもよい。 （もっと読む）

【課題】 物体に設けられるねじ部を画像処理により検査するための装置及び方法において、ねじ部が適正な状態にあるか否かを高精度かつ短時間で検査できるようにする。
【解決手段】 ねじ部検査装置１０は、物体に設けられるねじ部を画像処理により検査するものであって、ねじ部の中心軸線に対し傾斜した方向から、物体のねじ部を含む領域を撮影して、物体の２次元画像を取得する撮像部１２と、撮像部１２によって取得された２次元画像におけるねじ部の画像データに、フィルタ処理を施す画像処理部１４と、フィルタ処理を施したねじ部の出力画像データに基づき、ねじ部にねじが存在するか否かを判定するねじ判定部１６とを備える。画像処理部１４が行なうフィルタ処理は、エッジ検出処理を含み、ねじ部の出力画像データは、ねじ部におけるエッジデータを含む。 （もっと読む）

本発明は、オブジェクトの断面高低値の測定を複数の画像特徴を組合わせることによって高精度化するための高速モアレ干渉（ＦＭＩ）方法及びシステムを提供する。本発明の１つの大きな態様は、単一画像Ｉ_a(x,y)の代わりに、２又は数個の画像Ｉ_a^´(x,y),Ｉ_a^″(x,y),…を生じさせるために、２又は数個の画像が異なる条件の下で捕捉されることである。これは、異なる格子投影“ｂ”,“ｃ”,“ｄ”で得られる画像のために反復される。これらの画像は、組合された画像又はマージ結合されたフェーズ値を提供するために組み合わされ、オブジェクトの断面高低値を定義するために使用される。
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【目的】非接触式３次元測定において、定点を複数に変えて測定しなければならないため多くの手間がかかっていた穴位置の測定を一つの定点から測定できるようにする。
【構成】基準面１に設けられている穴２へ基準治具４の固定部１１を予め嵌合する。基準治具４の上部には半球状の球面部３が設けられ、この球面部３の表面を定点Ｐより３次元測定器５で３次元測定する。この測定により得られた部分球面データ６に基づいて全球７を計算し、さらにこれを基準面１と同じ傾斜の投影平面８上へ投影円９を投影してその中心を二次中心Ｏ２とし、これにより穴位置を決定する。 （もっと読む）