【課題】被検査物の周期性パターンの欠陥を画像検出するために、回折光によるコントラストの高い画像を検出する照明角度を容易に精度良く見出し、作業者間の検査精度のばらつきを抑えること。
【解決手段】 被検査物に光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の測定を複数の照明角度で行い、各照明角度での回折光強度を取得する回折光強度データ取得ステップと、 照明角度ごとの回折光強度データを蓄積するデータ蓄積ステップと、 照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する欠陥評価値計算ステップと、 欠陥評価値が最大値となる照明角度を設定する照明角度決定ステップと、 を含む欠陥検査装置における照明角度設定方法。 （もっと読む）

【課題】装置が大掛かりにならず、エッジ部分の詳細な観察が行える周縁検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物（半導体ウエハ１０）を支持する支持部材（回転テーブル３０）と、前記被検査物の周縁（エッジ部分１１）を照明する照明部材（ランプ２０、リングライト２７）と、前記被検査物の周縁を観察する観察部材（ＣＣＤカメラ２１）と、前記周縁近傍を通過した光を前記観察部材に向けて反射させる反射部材（反射ミラー２２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。
【解決手段】ベースプレートと、これの上に置いたブロックゲージの干渉縞画像を複数得る。複数の画像中、２個の画像において、同一位置の画素間の輝度値の差を得、他の２個の画像の組み合わせについても、同様に輝度値の差を得る。これらの差について画素ごとに総和を取り、その総和の値を輝度に対応させた画像を作る。ベースプレートとブロックゲージの境界部分８０は、干渉縞が生じないので総和が小さくなり、干渉縞が生じている部分８２は、画像間の輝度の差が大きいので総和は大きくなる。この画像に対し、適切な二値化処理を行い、ベースプレートとブロックゲージの境界部分８０を抽出する。 （もっと読む）

【課題】共焦点光学系による観測を迅速に行うことができる光学システムを提供する
【解決手段】照明光源２１から出射された照明光を共焦点用微小開口３４ａを介して被検物８に照射し、被検物で反射され共焦点用微小開口３４ａを通過した通過光を得る共焦点光学系３と、通過光を検出する光検出部４１と、被検物に対する共焦点光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部５と、焦点位置を変位させた複数の位置において光検出部４１から検出データを読み込んで処理する処理部６０とを備え、処理部が、複数の位置で読み込んだ検出データに基づいて、被検物８に照射される光の強度を調整するように光学システム１を構成する。 （もっと読む）

【課題】大型の対象物の光沢面の検査に好適なＬＥＤ照明装置を備えた表面検査装置を提供すること。
【解決手段】表面検査装置は、ＬＥＤを使用した照明装置１１、対象物の表面に写り込んだ照明装置１１の発光面を撮影するためのカメラ１２、カメラ１２を任意の位置および方向に移動可能なロボットアーム１０、ロボットアームを予め定められた経路に従って移動させ、カメラによる撮影の指示を繰り返すシーケンサ、カメラにより撮影された画像を取り込み、傷を検出して位置を表示するするコントローラを備える。照明にＬＥＤを使用することにより、発光面の面積が広く、広い面積に渡ってむらが少なく均一で、余分な拡散光が少ない照明が可能となるので、検出精度が向上すると共に検査時間が短縮できる。 （もっと読む）

【課題】部品表面が鏡面の場合には光源の形が写るのを防止し、部品表面が粗く拡散性が強い場合には光量を大きくとって露光時間を短くできる画像認識用の照明装置を提供する。
【解決手段】部品供給部で移載ヘッドのノズル７０に吸着した部品２の画像を、移送途中で部品認識カメラ２０により撮像して基板に搭載するための部品実装機の画像認識用照明装置において、照明用光源（ＬＥＤ配列光源３２）の前に設けられた液晶調光シート８２と、部品表面の状態に合わせて、該液晶調光シート８２の透過率を変えるための透過率制御手段（マイコン、Ｄ／Ａ変換器、液晶ドライバ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 アナログ赤外線カメラによる対象物の認識画像を現状よりソフト上で鮮明化する認識画像創出方法。
【解決手段】 認識対象物の半導体ウエハ１をアナログ赤外線カメラ１０でｎ回連続的に撮像する。１回目の撮像で得た原画像Ａのヒストグラムとグレイスケール画像に基づいて認識すべき特定領域が強調される上限と下限のグレイ値を設定する。ｎ回の撮像で得られたｎ個の原画像をリカーシブフィルタ処理してリカーシブ画像を得る。このリカーシブ画像を前記グレイ値によりグレイスケール処理して最終的な認識画像Ｄを得る。 （もっと読む）

【課題】イメージ処理能力、データ処理効率及び伝送速度を向上させたポイント入力システムのイメージ処理方法の提供。
【解決手段】本発明は、前記ポイント入力システムのイメージ処理能力及びデータ処理とその伝送効率を高めるために、キャッチ装置からカラーチャネルイメージを現わしてイメージ処理を行なうことを含むポイント入力システムのイメージ処理方法である。 （もっと読む）

【課題】通常伝搬光スポットによる走査に対するワーキングディスタンスの大きい光ファイバプローブを実現する。
【解決手段】シングルモード光ファイバＦＶのコア部に、第１テーパ角：αを有する円錐形状の近接場光滲出面と、この近接場光滲出面を同軸的に囲繞して第２テーパ角：βを有する円錐形状の通常伝搬光射出面とを有し、少なくとも近接場光滲出面に近接場光滲出のための導電性薄膜１２０が形成されてなり、クラッド部１０３はエッチング液に対する溶解速度がコア部より大きく、コア部はエッチング液に対する溶解速度が互いに異なる第１コア１０１と第２コア１０２とを同軸的に有し、選択性（化学）エッチングにより、第１コア１０１に近接場光滲出面１１０が、第２コア１０２に通常伝搬光射出面１１２がそれぞれ形成され、第２テーパ角：β（度）が、５０＜β＜９０の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの複数種類の欠陥に対して十分な検出感度を確保できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に形成された繰り返しパターンを照明し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の強度の変化を測定する第１測定手段(１３〜１５)と、繰り返しパターンを直線偏光により照明し、繰り返しパターンの繰り返し方向と直線偏光の振動面の方向との成す角度を斜めの角度に設定し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の偏光状態の変化を測定する第２測定手段(１３〜１５)と、第１測定手段と第２測定手段との各々が繰り返しパターンを照明する際に用いる光Ｌ１の波長を異なる波長に設定する設定手段(４４〜４６)とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体パターンに形成された欠陥を容易に探し出すことのできる集積回路装置製造用マスクの検査装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】集積回路装置製造用マスクに形成された半導体パターンの欠陥有無を検査するマスク検査装置において、マスクに入射される光ビームによって発生するマスクイメージと外部から入射される基準ビームとを受け、マスクイメージと基準ビームとを結合して結合されたイメージを生成し、マスクに形成された半導体パターンに対応する波形を含むマスクイメージと同じ光路方向に出射するイメージ結合部と、イメージ結合部から出射された結合されたイメージが入射され、入射された結合されたイメージの光度を増大させる２次非線形光学システムと、２次非線形光学システムから出射されるイメージを検査して、マスクに形成された半導体パターンの欠陥有無を判定する検査部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの方向が分からなくても高感度な欠陥検査を行う。
【解決手段】 被検基板の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する手段と、直線偏光の振動面の方向と繰り返しパターンの方向との成す角度を任意の角度φに設定して、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に垂直な偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ１,Ｓ２）と、上記の成す角度を、角度φとは異なる φ＋４５度 , φ−４５度 , φ＋１３５度 , φ−１３５度 の何れかの角度に設定して、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に垂直な偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ３,Ｓ４）と、測定された各々の光強度を加算して、加算後の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段（Ｓ５,Ｓ６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】非破壊的で簡便であり、ＦＥＭ解析に適用でき、実証性を有する溶接変形および残留応力の評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる溶接構造物の評価方法は、マーキングされた溶接材表面の画像を、互いに異なる溶接状態において取得する工程と、それぞれの溶接状態において取得された画像を比較して、前記溶接材の変位差を測定する工程と、前記変位差を逆解析して固有ひずみを求める工程と、前記固有ひずみから両溶接状態の残留応力差と変形差を算出する工程とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】指の指紋などの生体特徴を２次元のイメージセンサを使用して安定に入力することのできる小型で低廉な画像読取装置を提供する。
【解決手段】複数の受光素子がマトリクス状に配列された２次元イメージセンサ１を備えた画像読取装置において、指７を２次元イメージセンサ１の上面から一定の距離で非接触状態に保つ複数の隔壁２２が、多数のスリット２１を形成するように２次元イメージセンサ１の上面に形成されている。突起を成す隔壁２２が設けられているため、２次元イメージセンサ１の上面に押し当てられた指７は、その腹部が平坦になるほど比較的強く押し当てられても、２次元イメージセンサ１の上面から一定の距離で非接触状態に保たれ、その状態で、指７の皮膚表面から放射される放射光による画像が２次元イメージセンサ１によって撮像される。 （もっと読む）

【課題】光透過性を有した物質の外周部の一部に非透過な外層部があり、その外層部がＲ形状部分の多い被検査部品の外観形状を正確に検査する検査方法、および外観形状検査装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】被検査部品４の外観形状を検査する方法は光を透過する物質部分に外部から光を照射する、１つまたは複数の照明光ガイド手段５ａ、５ｂを持ち、それより照射された光が透過する物質部分内部で拡散し、その拡散した光が外部に放出する光の一部が被検査部品４の欠陥部６ａ、６ｂから光として漏れ、上記外層部を有した面から放出された光を２次元カメラ部１で、上記外層部の２次元画像として検出する構成とする。 （もっと読む）

【課題】透明体であるワークの安定的な位置を検出することができるワーク位置検出システムおよびワーク位置検出方法を提供する。
【解決手段】透明体であるワークの端面が発光するように光を照射する少なくとも一つの投光部（２１ａ〜２１ｃ）と、光によってワークの端面に生じた発光箇所を撮像する撮像部（２２ａ、２２ｂ）と、撮像部による撮像結果に基づいてワークの位置を検出する検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰを製造する際に、基板上の突起の検出を高精度に行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載せるステージ２２と、そのステージ２２の上面に対して平行にレーザー光を照射するレーザー照射装置２３およびレーザー光を受光する受光装置２４を有する検出装置とを備えた欠陥検査装置２１を用い、基板上に誘電体層が形成されてなるＰＤＰ用基板２０をステージ２２上に載せて、レーザー照射装置２３からレーザー光を照射しながら、ＰＤＰ用基板２０がレーザー照射装置２３と受光装置２４との間を通過するように、少なくともＰＤＰ用基板２０または検出装置を移動させてレーザー光を受光装置２４で受光し、その受光による信号レベルの変化から突起の大きさを求めるステップ１と、前記突起の大きさを用いて良否判定を行うステップ２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な作業でダミーレンズの玉型形状を測定しやすくできる玉型形状測定方法及びそのためのレンズ輪郭強調具を提供すること。
【解決手段】 ダミーレンズをカメラで撮像し、撮像されたレンズ像を画像処理してその玉型形状（レンズ外形形状）を得る玉型形状測定装置を使用した前記ダミーレンズの玉型形状測定方法において、光透過性を低くした環状の薄肉弾性皮膜で形成され、ダミーレンズの周長よりも短い周長を持つと共に前記ダミーレンズのコバ厚よりも厚い幅を持つバンド部材を前記ダミーレンズの周縁に被せ、前記ダミーレンズの輪郭を強調すること。 （もっと読む）

【課題】昼間太陽光の下においてもトロリ線の摩耗部分の幅を測定する装置を提供するにある。
【解決手段】ラインセンサ１を用いてラインセンサ画像を作成して入力画像として保存する手段１０と、前記ラインセンサ画像全体に対して２値化処理を行う手段２０と、２値化処理された前記ラインセンサ画像に対して外部から入力されてくるトロリ線高さパラメータと実際のトロリ線の太さのパラメータを用いて画面上のトロリ線の太さを計算し、それ以上大きさの白の領域を黒の領域に反転する反転処理を行う手段３０と、２値化処理及び反転処理された前記ラインセンサ画像に対してノイズ除去処理を行う手段４０と、２値化処理、反転処理及びノイズ除去処理された前記ラインセンサ画像における白領域をトロリ線摩耗部として、該トロリ線摩耗部のエッジを検出する手段５０と、検出された前記エッジから前記トロリ線摩耗部の幅の計算を行う手段６０からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】トロリ線からの反射光にムラができず、均一な照明条件を作ることを目的とする。
【解決手段】ラインセンサ１１を用いてラインセンサ画像を作成するラインセンサ画像作成手段５０と、ラインセンサ画像に対して二値化処理を行うことにより二値化ラインセンサ画像とする二値化処理手段５３と、前記二値化ラインセンサ画像のノイズを除去するノイズ除去処理手段５４と、ノイズ除去後の前記二値化ラインセンサ画像からトロリ線摩耗部のエッジを検出しエッジデータとするエッジ検出処理手段５５と、前記エッジデータとトロリ線高さデータに基づいてトロリ線摩耗部幅の計算を行うトロリ線摩耗部幅計算処理手段５６とを有する画像処理によるトロリ線摩耗測定装置において、前記ラインセンサ１は、検査車両４の屋根上にトロリ線３を見上げるよう鉛直上向きに設置され、且つ、前記トロリ線３を照明する照明手段は前記検査車両４上で前記検査車両の進行方向に対して垂直をなす方向に複数の点光源２を直線状に設置してなることを特徴とする。 （もっと読む）