【課題】観察条件に関わらず、被測定物にピントが合う位置と、測定光路と参照光路との光路差０となる位置とを一致させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１４の膜下の表面にピントが合う位置において、参照光Ｌ１と測定光Ｌ２の２系統の光路差が０となるように、図３に示すように、アクチュエータ１６を駆動して、楔状部材１２ｂを光軸直交方向に移動させる。これにより、図３に示すように、楔状部材１２ａ、１２ｂの重合部の厚さが変化（Δ）するので、かかる重合部を通過する測定光Ｌ２の距離が変化し、これにより測定光Ｌ２の光路長を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の被写体から主被写体を自動的に選択し、距離や速度等の被写体情報を表示する。
【解決手段】撮影システムは、撮影範囲内に設けられた複数の測距エリア１〜１６のそれぞれにおいて被写体距離を算出する距離算出手段１１４と、複数の測距エリアのそれぞれにおいて被写体速度を算出する速度算出手段１１６と、被写体距離、該被写体距離間の差、被写体速度、及び該被写体速度間の差のうち少なくとも１つを表す被写体情報を生成する情報生成手段１１４，１１６と、複数の測距エリアのうち、速度算出手段により算出された被写体速度が第１の範囲ＳＡ内である測距エリアを抽出する抽出手段１１７と、カメラにより生成された撮影映像と抽出手段により抽出された測距エリアに対応する被写体情報とを含む出力映像を生成する出力映像生成手段２０３とを有する。 （もっと読む）

【課題】鮮鋭度が極大値となる対象が複数あっても、測定対象の合焦点位置を他と誤認せずに得る合焦点方式、基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法を提供する。
【解決手段】鮮鋭度の各極大値と、予め得らた測定対象の極大値とを対比し、得らた測定対象の極大値と合致した各極大値中の極大値の位置を合焦点位置とする。閾値を超えた鮮鋭度の検出数が予測数に満たない場合、閾値を任意のステップで下げ、或いは、最小閾値まで閾値を下げる。対象が基板エッジ２と面取りコーナー１であり、高い極大値Ｎｏ２の位置を基板エッジの合焦点位置とする。上記合焦点方式を用いた基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法。 （もっと読む）

【課題】高解像度を維持又は向上させつつ、十分な焦点深度を確保することのできる光学式外観検査装置及び光学式外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体９に検査光４を照射する検査光照射部と、該検査光照射部から照射された検査光４に対して被検査体９を位置決めする位置決め部８と、被検査体９に反射した検査光４の反射光と被検査体９を透過した検査光４の透過光とのうち少なくとも一方を受光する受光部と、該受光部で受光した前記反射光と前記透過光とのうち少なくとも一方に基づいて画像処理を行う画像処理部とを備えた光学式外観検査装置において、内部に被検査体９を収容すると共に液体Ｗが充填されて、被検査体９に向かう検査光４を屈折させる液浸収容部ａ５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】露光中に、投影光学系に対するウェーハ表面の位置及び方向を測定し、ウェーハテーブルの垂直位置及び水平方向の傾斜を調節して、ウェーハ表面を最適な焦点位置に維持する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、投影システムの焦点面に対して基板のターゲット部分を配置する際に使用するレベルセンサと、リソグラフィ装置の基板テーブルを動かすように構成された１対のアクチュエータと、アクチュエータを制御することによって、レベルセンサに対して基板を動かす制御装置と、を含む。制御装置は、第一アクチュエータと第二アクチュエータの運動を組み合わせて、アクチュエータの個々の少なくとも一方の最高速度より速い速度を有する複合運動を生成する。 （もっと読む）

方法及び装置は、ウェハスクライブシステムのためのリアルタイムのオートフォーカスを実行する。方法及び装置は、スクライブレーザビームのための対物レンズ（２６）の真下のウェハ（１０）の表面（５０）に、グレージング角で方向付けられた偏光光（４２）を用いる。ウェハから反射した光は、フィルタリング（５６）され、スクライブレーザビームからの光が除外され、位置敏感型検出器（５８）に集光され、対物レンズからウェハ表面までの距離が測定される。 （もっと読む）

【課題】実質的に所定平面に沿って移動する移動体の、該所定平面に垂直な方向の位置情報を、安定かつ高精度に計測する。
【解決手段】投影ユニットＰＵの＋Ｘ，−Ｘ側にそれぞれ複数のＺヘッド７６，７４が、常時各２つのＺヘッドが対になってウエハステージ上の一対のＹスケール（反射面）に対向するように、Ｘ軸と平行に、Ｙスケールの有効幅の半分以下の間隔ＷＤで配列されている。同時にＹスケールに対向する２つのＺヘッドからなるヘッド対のうち、優先ヘッドの計測値を、優先ヘッドの計測値がヘッドの動作不良等により異常である場合には他方のヘッドの計測値を、使用して、ウエハステージの少なくともＺ軸方向の位置情報を、安定かつ高精度に計測する。 （もっと読む）

【課題】撮像領域内に局所的に高輝度又は低輝度の部位が存在しても、画像全体として鮮明な２次元画像及び３次元画像を撮像できる共焦点顕微鏡を実現する。
【解決手段】本発明による共焦点顕微鏡は、フレーム画像信号を高ゲイン及び低ゲインで交互に増幅する増幅手段（３２，３３）と、一連の高ゲイン増幅画像及び低ゲイン増幅画像から全焦点画像をそれぞれ形成する手段（３６，３７，３８，３９）を有する。２つの全焦点画像から適正輝度範囲の画素を抽出して画素合成を行う（４３）。増幅手段のゲイン情報と画素合成手段（４３）からの出力信号とに基づいて、増幅率補正された全焦点画像を形成し（４４）、増幅補正された全焦点画像についてγ補正等の輝度補正を行い（４５）、全ての画素が適正輝度範囲内の２次元画像情報を出力する。 （もっと読む）

【課題】干渉計測装置により長時間計測する場合に，ｚ軸方向の距離の時間的変動に対して，フォーカス位置を計測開始時の状態に高精度に戻すことができるようにする。
【解決手段】初期状態フォーカス評価量記録手段８１は，初期状態の非合焦点位置におけるフォーカス評価量または検査視野内で高さの異なる２点以上のフォーカス評価量を記録する。フォーカス調整時には，ｚ軸方向の各点のフォーカス評価量記録手段８３によって，ｚ軸ステージを順次上下させながらｚ軸方向の各点におけるフォーカス評価量を計測し，フォーカス誤差量算出手段８４によって，初期状態におけるフォーカス評価量との差分をフォーカス誤差量として算出する。または２点以上のフォーカス誤差量の和を求める。フォーカス誤差量またはその和が最小となる位置を，ずれ量としてｚ軸ステージを調整する。 （もっと読む）

【課題】丸棒状のワークを正しい姿勢で把持して回転させることが可能なクランプ機構、ワークの外形を精度よく計測可能な計測装置を提供すること。
【解決手段】クランプ機構３０は、極細の丸棒状のワークＲを把持する把持部１０と、把持されたワークＲの姿勢を調整する姿勢調整部２０と、把持部１０と姿勢調整部２０とを一体として軸支する軸受け２７と、把持部１０と姿勢調整部２０とを一体として回転させる回転駆動部としてのモータ２９とを備えた。 （もっと読む）

自動焦点又は光学ズームを目的として、結像システムの光軸に沿い移動するレンズ素子上にスポットを照射するために光線が使用される。光線は、レンズ素子からの反射光線がイメージセンサー上でスポットに当たるよう調整される。イメージセンサー上のスポット位置は信号プロセッサーにより決定される。レンズ素子が光軸に沿い変位するとき、それに従い、スポット位置が変化する。スポットの移動距離に基づき、信号プロセッサーはレンズ素子の変位距離、従って、レンズ素子の位置を決定する。レンズ素子の変位距離に基づき、希望する焦点又はズーム効果を得るよう光軸に沿いレンズ位置を調整するため、制御モジュールが使用される。
（もっと読む）

【課題】被検出物の形状に拘わらず、常に、光軸上の焦点位置で被検出物の所定位置を検出することができる位置検出装置とする。
【解決手段】エンドミル１７の移動経路を挟んで光の受け渡しを行う発光部１４及び受光部３１を本体３に備え、光軸１８が水平軸１９に対して−２度傾斜した状態に発光部１４及び受光部３１を配置し、レーザー光の受け渡し中にエンドミルを下降させて遮光状態となった時にエンドミル１７の位置を検出し、レーザー光の焦点位置をエンドミル１７の所定位置に一致させて安定した受光量感度に基づく高い検出精度を得る。 （もっと読む）

【課題】移動量を精度よく検出すること。
【解決手段】移動体に搭載されて床面を撮像する第１および第２撮像部と、第１および第２撮像部によって撮像された画像データを用いて移動体の移動量をそれぞれ第１および第２移動量として算出する画像解析部と、第１および第２移動量のいずれかをその信頼度から真の移動量として判別する制御部とを備え、第１および第２撮像部は異なる被写界深度を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板の位置検出用マークを撮像装置により確実に撮像すること。
【解決手段】 基板１、２の位置を検出する基板検出装置１０において、基板１、２の表面に設けた位置検出用マーク６０、６１を撮像する撮像装置４０と、基板１、２とマーク６０、６１を撮像する撮像装置４０との相対間隔を基板１、２の表面に直交する方向において変化させる移動装置４０Ａと、撮像した撮像画像からマーク６０、６１の輪郭部分における階調の変化率を求める手段５１と、階調の変化率に基づいて移動装置４０Ａを制御する制御装置５０とを備えたもの。 （もっと読む）

【課題】非常に簡単な構造で安価に構成できるうえに、ピントずれも生じず、小体を通過させる流通路の形状に制限がほとんどない小体測定装置を提供する。
【解決手段】媒体中を流動する１又は複数の小体２の形態を測定するものであって、光源６と、光源６から出た光を所定の光軸方向Ｃに進む平行光とする平行化レンズ７と、平行化レンズ７から光軸方向Ｃに一定距離離間させて配置した集光レンズ８と、前記レンズ７、８間に設けられ、光を横切る方向に小体２を通過させる流通路９と、前記集光レンズ８からの光を受光して小体２の輪郭情報を含む画像データを出力するエリアイメージセンサ４とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】
物体表面の広範囲部を高速走査して表示部に画像として表示する。その中から選択設定した測定部位に相当する物体表面の高さ方向変位量を前記高速走査に追従して高速に測定し、その結果を表示する。
【解決手段】
走査投影光学系のレーザ光束で物体表面の広範囲部を高速走査し、得られた画像を表示部に送って表示し、二次元情報画像として観察する。同時に前記光学系から分岐した形状測定光学系で物体表面の高さ方向変位量を測定し、分割測定値メモリに記憶する。そして前記表示画像中に測定開始点と終了点が設定されたとき、その測定部位に相当する測定値を前記測定値メモリから読み出し、三次元情報として前記表示部に表示する。それによって物体の全体画像と測定部位の測定結果の両方を表示できるようにした。



（もっと読む）

【課題】本発明の課題は、光学部からのレーザ光を走査することにより形成される光走査線をカメラで観測して、その位置を調整する場合、基準線となる画像のぼけを無くし、高精度で光走査線の形成位置を調整できる光走査線校正器及び位置調整方法を提供することである。
【解決手段】レーザ光を走査することにより形成される光走査線をカメラで撮像し、表示装置で観測して光走査線を校正する光走査線校正器を、板状部材と、該板状部材に設けられた光透過部と、該光透過部に設けられ、光走査線の基準位置を指示する基準位置指示部材と、前記カメラの受光面と前記基準位置指示部材の形成する面とが平行となるように基準位置指示部材を固定する支持部材とから構成した。 （もっと読む）

【課題】加工物等の全体撮像画像を合焦状態で表示して寸法形状測定および検査を行う。
【解決手段】被検査物５を載置するステージ６と、被検査物を撮像する投影レンズ４および撮像素子３からなる撮像系と、ステージ６のＺ軸方向位置を検出するステージＺ軸位置センサ１１と、被検査物の画像等を表示するモニタ１６と、ステージの上下移動を指示し被検査物の画像を処理してモニタ１６に表示するコンピュータ本体１５より立体形状検査機が構成される。コンピュータ本体１５は被検査物５の形状データと投影レンズ４の焦点深度に基づいて被検査物の平面視画像を焦点深度に対応した複数画像に分割し、各画像を合焦させるステージ６の上下相対移動位置を撮像位置として求め、ステージを順次撮像位置に移動し、各撮像位置で撮像系により被検査物を撮像し、撮像された複数の像から合焦部分をそれぞれ抽出して合成し、全体が合焦状態となる像を作成してモニタに表示する。 （もっと読む）

【課題】 被検面の傾きが大きくても正しい欠陥検査を行える検査装置を提供する。
【解決手段】 被検面１０Ａの少なくとも一部の領域を一括して撮像する撮像手段１３と、撮像手段の光軸３Ａに対する被検面の傾き角を設定する設定手段１１,１６と、設定手段が設定した傾き角に応じて撮像手段が撮像する複数の焦点位置を決定し、撮像手段が領域を撮像して出力する撮像信号に基づいて、焦点位置の異なる複数の画像を取得する取得手段１６,１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 紡糸口金に穿設された吐出孔を通過する通過光を奥行き方向に沿って複数箇所で撮像して得た画像データ群から、正確かつ確実に孔内異物を判別する孔内異物の検出する。
【解決手段】 吐出孔の一方側から照射しされて該吐出孔を通過した光を吐出孔Ｈの奥行き方向に沿って被写界深度が異なる複数箇所において電荷結合素子カメラ（ＣＣＤカメラ）で光学的に画像を拡大してそれぞれ撮像し複数の画像データ群を取得し、取得した前記画像データ群に含まれる画素群の明暗の諧調を画像処理装置にそれぞれ記憶すると共に、予め設定した判別基準値を基にして各画像データに含まれる画素群を「明」と「暗」との何れかの値にそれぞれ振り分ける二値化処理を行い、二値化処理された各画像データから画像処理によって吐出孔の奥行き方向に沿って存在する孔内異物の存在を判別することを特徴とする孔内異物の検出方法とその検出プログラムである。 （もっと読む）