多軸統合（ＭＡＩ）を用いる画像取得システムおよび方法では、光軸統合（ＯＡＩ）技術と、時間遅延統合（ＴＤＩ）技術とをともに組み込み得る。本出願において開示したＭＡＩシステムおよび方法は、データが取得されたときにおいて、ｚ方向に画像データを統合し得、逆畳み込みの前に画像データを投影する。ｚ方向へのスキャン中における画像面の横方向への平行移動により、単一のスキャンシーケンスによる大面積の画像化が可能になる。
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【課題】 現状の方式では調整できない照明瞳面の「光量ムラ」を極力抑えて、高集積化や記憶容量の増加の下で、「照明光のムラ」を極力排除すること。
【解決手段】 光ファイバ４の出射端面の瞳面状態の「光量ムラ」が比較的大きい場合に、焦点切換用レンズ３１により、ＣＣＤカメラ１８の撮像面の焦点を、ウェハ１４の試料から、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面に切り換える。画像処理部１９で、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面の「光量ムラ」を算出・解析し、この解析結果に基づいて、照明光学系内で、光ファイバ４の出射端面の位置を調整する。これにより、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面を、「光量ムラ」の少ない箇所に切り換えることができる。 （もっと読む）

【課題】 垂直切断面全面をその外形エッジを含めて垂直の姿勢のまま正確に読み取ることができる垂直断面形状読み取り装置を提供する。
【解決手段】 搬送系により３次元物体を搬送する。スライダーは所定位置に来た３次元物体をスライドさせてその垂直断面方向が所定方向となるように姿勢しつつ搬送系の終端まで導く。さらにスライダーは３次元物体のみを撮像装置３０の方向に押し出して、その垂直断面を撮像装置３０に対向する所定位置までスライドさせる。撮像装置３０のスキャン焦点深度の位置は、搬送系の終端位置と撮像装置３０の画像読み取りガラス面位置との間に調整されている。撮像装置のスキャン焦点は搬送系の終端には合わず、３次元物体の垂直断面のみに合い、３次元物体の垂直断面のみが強調された画像データを読み取ることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高さ方向の変位を測定可能として、測定中の高さ方向変位が測定可能範囲に収まっているか否かを明確にし、測定値の信頼性を高めるとともに、形状が不明な測定対象に対して、測定可能か否か判別できるようにする。
【解決手段】光ビームを測定対象１０に投光し、測定対象面からの反射光を撮像素子３４で受光して、面内方向の変位を測定する面内方向変位計において、測定対象面１１に光ビーム２４を投光する投光手段と、該投光ビームの正反射位置に配設され、測定対象面からの正反射ビーム２６を、前記撮像素子の面内方向測定用受光領域３４Ａ以外に設定された高さ検出用受光領域３４Ｂに導く反射手段（４０）とを備え、該高さ検出用受光領域で受光された光量の重心を求めることにより、測定対象面の高さ方向位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】 バンプ検査装置において，撮像装置の焦点をバンプの表面に正確かつ迅速に合わせる。
【解決手段】 基板１１２上に形成された複数のバンプ１１５から，所定数を測定対象のバンプ１１５として任意に選択する（ステップＳ１０）。次いで，上記選択された所定数の測定対象のバンプ１１５に対して，バンプ１１５の表面に撮像装置１２０の焦点が合致するときの撮像装置１２０の最適な位置をそれぞれ測定する（ステップＳ２０）。さらに，測定した位置に基づき，測定対象以外のバンプ１１５の表面に撮像装置１２０の焦点が合致するときの撮像装置１２０の位置を補間により算出する（ステップＳ３０）。そして，算出された位置を用いて，各バンプ１１５に対する撮像装置１２０の位置を調整する（ステップＳ４０）。こうして，各バンプ１１５の表面に撮像装置１２０の焦点を合致させ，バンプ１１５の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 長尺状のフィルムワークの幅方向に撮像ユニットを走査し、ワークに形成されたパターンの画像を取得して検査を行なうフィルムワークのパターン検査装置において、フィルムワークに幅方向の湾曲が生じていても、撮像ユニットを湾曲に沿って焦点位置がずれないように走査し、ぼけのないパターン画像を取得する装置を提供すること。
【解決手段】 撮像ユニットの近傍に、ワーク表面までの距離を測定する距離センサを設け、撮像ユニットがワークの幅方向に走査移動されているとき、距離センサから距離情報に基づき、撮像ユニットをフィルムワークまでの距離が焦点距離になるように移動させる。フィルムワークを移動させても良い。 （もっと読む）

【課題】被認証者が認証処理を受ける度に一定の時間静止している必要がなく、認証処理時にあまりわずらわしさを感じさせない認証装置を提供する。
【解決手段】被認証者までの距離を測定する測距センサ２６と、測距センサ２６で測定された距離情報から被認証者の所定時間後の位置座標を推定する座標推定部と、被認証者を撮影する望遠カメラ２５と、望遠カメラ２５を座標推定部で推定された被認証者の座標方向に向けるように駆動する駆動部と、望遠カメラ２５で撮影された被認証者の画像を用いて認証処理を行う認証処理部４２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】撮像のゆがみが表面実装基板等の半田付けなどの検査に際して無視できるとともに、焦点深度を深くし、且つ、検査装置を高速移動しても装置振れや振動の影響が撮像に現れないようにし、同時に、検査装置自体をコンパクトで安価なものにする。
【解決手段】第１ミラー４を、長焦点レンズを備えたビデオカメラ３の下方に当該ビデオカメラ３の光軸に対し４５゜の傾斜角をなして配置し、第２ミラー５を、第１ミラー４から所定間隔を空けて当該第１ミラー４に対向する態様で配置し、第３ミラー６を、第２ミラー５から上方に所定間隔を空けて当該第２ミラー５に対向する態様で配置し、第４ミラー７を、第３ミラー６に対向するとともに、被検査対象Ｗに対向する態様で、且つ、第１ミラー６と第２ミラー７との間隔の略１／２に相当する距離を隔てて配置する。これにより、本外観検査装置１と被検査対象Ｗとの外見上の対物距離は短縮される。 （もっと読む）

【課題】 パッドとボール部分を照らす照明光として撮像手段のレンズ光軸と平行な同軸光を用い、この同軸光の色を検査内容に応じて最適な色に切り替えることにより、ボールの接合状態を画像処理によって正確に検出できるようにしたワイヤボンディングにおけるボールの検査方法を提供する。
【解決手段】 半導体チップ１のパッド３と外部電極との間をボールボンディングによって配線するワイヤボンディングにおけるボールの接合状態の検査方法であって、パッド３とボール５の部分を撮像手段１２で撮像し、該撮像手段で撮像した平面画像から画像処理によってボール５の接合状態を検出するようにしたワイヤボンディングにおけるボールの検査方法において、パッド３とボール５の部分を照らす照明光として撮像手段１２のレンズ１３の光軸と平行な同軸光を用い、該同軸光の色を検査内容に応じて切り替えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 薄膜太陽電池の透明電極膜基板の状態を定量的に精度よく検査でき、且つ、検査ライン上に基板を配置したままの状態で成膜状態などを目視できる透明電極膜基板の検査装置を提供する。
【解決手段】 検査ライン上に配置されたＴＣＯ基板Ａの表面を撮影する撮影装置２と、撮影装置２により取得された画像を処理することにより、ＴＣＯ基板Ａに存在する欠陥を検出し、ＴＣＯ基板Ａの検査を行う処理装置３と、撮影装置２により取得された画像を表示するモニタ４とを備え、撮影装置２は、フォーカス位置を変化させるフォーカス位置変更機構を備え、処理装置３は、撮影装置２により取得されたフォーカス位置の異なる複数の画像の中からフォーカスが最も合致しているフォーカス合致画像を抽出し、抽出したフォーカス合致画像を用いて、欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 検出波形が非対称な信号の場合であっても高いフォーカス精度を実現し、歩留まりの向上を達成する露光装置を提供する。
【解決手段】 被露光体に光を照射して当該被露光体の位置波形を検出し、前記位置波形から波形を選択する波形選択方法であって、前記被露光体からの反射光から位置信号である第１の波形を所定の検出方向で検出するステップと、前記第１の波形に基づいて前記検出方向と直交する副検出方向の位置信号である複数の第２の波形を取得するステップと、前記複数の第２の波形の中に非対称性波形があるかを判断するステップと、前記複数の第２の波形の中に非対称性波形が存在する場合、前記非対称性波形を除く波形を選択するステップとを有することを特徴とする波形選択方法を実施する露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の結像性能を高精度に算出する。
【解決手段】第１の照明条件下で、投影光学系を介して投影光学系の光軸に直交する面内の少なくとも１つの評価位置に計測マークの第１の像が形成される（ステップ３０２、３０４）。また、第２の照明条件下で、投影光学系を介して前記少なくとも１つの評価位置に前記計測マークの第２の像が形成される（ステップ３０８、３１４）。この場合、第１の照明条件下、第２の照明条件下における、デフォーカス量と位置ずれ量との関係は既知である。そして、上記の関係と、投影光学系の光軸に直交する面内における前記第１の像の位置と前記第２の像の位置とに基づいて、前記投影光学系の結像性能を算出する（ステップ３２４）。従って、描画誤差やシフター誤差などの影響を受けることなく、投影光学系の結像性能を高精度に求めることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 測距装置、特に撮像測距装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、三次元光景に対して同時に測距が可能な測距装置に関するものである。照射手段（２２）は、スポット（１２）の２次元アレイを使用して光景を照射する。検出器（６）は、照射手段（２２）の近くに位置し、光景の方向を見るように配置される。プロセッサ（７）は、検出器（６）からの出力に応答し、光景の画像内のスポットの位置からそのスポットまでの距離を判断する。どの投射スポットが考慮されているかを判断する際の曖昧さを解消するために様々な技術が使用される。
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【課題】ステンシルマスクの支持部または梁の側壁に付着する異物を簡単な方法で効果的に検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】ステンシルマスク（１０）の表面に対して実質的に垂直に形成された支持枠（１９）または梁（１８）の側壁（２１）を検査する方法であって、撮像手段（４１）をその光軸（３８）がステンシルマスクの表面に対する垂直の方向に対し、所定の角度（θ）で傾斜するように配置し、支持枠または梁の側壁に対し撮像手段の焦点位置を変えた複数の画像を撮影し、複数の画像から支持枠（１９）または梁（１８）の側壁に対する全焦点画像を合成し、全焦点画像を表示手段（５１）により表示する工程を含む、支持枠（１９）または梁（１８）の側壁を検査する方法。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】 被写体の視覚情報である２次元画像情報と赤外線により被写体の距離情報である３次元画像情報を検出する３次元画像検出装置において、各検出を迅速かつ常に合焦された状態で行う。
【解決手段】 ＣＣＤの色分離フィルタＦに赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各波長を中心にした狭い帯域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタと赤外領域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタを用いる。ＲＧＢの色フィルタが設けられた画素に対してコントラスト方式の焦点調節を行う。２次元画像情報を検出後、メモリ２４に記録されたデータに基づいて、レンズ駆動回路２７を駆動し光学系の焦点面を所定距離移動させる。赤外線レーザをレーザダイオード１４ａから照射して３次元画像情報として検出する。 （もっと読む）