【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、且つ、使用環境に関わらず入力操作の検出が可能な操作装置を提供する。
【解決手段】操作装置１に、入力操作の種別を示す操作パネル３０と、操作パネル３０の操作面３１側に操作面３１に沿って光を照射可能な発光部と、一次元配列された受光素子を有するラインセンサと、を備え、操作パネル３０への入力操作が行われた場合には、入力操作を行う指で反射した発光部からの光の反射光をラインセンサで受光し、ラインセンサ上での受光位置と受光した光の強度とに基づいて指の位置を２次元的に推定する。 （もっと読む）

【課題】計測装置の測長軸の調整を不要とし、簡便な取り付け及び光学素子の汚染防止の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置であって、光源からの光を分割させる光分割素子と、前記参照面、前記被検面及び前記光分割素子を内部に収納すると共に、前記内部において前記参照面及び前記光分割素子を固定するハウジングと、前記ハウジングの外部に設けられ、前記光分割素子から前記参照面までの第１の光路長と前記光分割素子から前記被検面までの第２の光路長とが等しくなるときの前記被検面の位置を示す測長基点を表示する第１の表示部と、前記ハウジングの外部に設けられ、前記第２の光の光路に平行な軸を示す測長軸を表示する第２の表示部と、前記参照面と前記被検面からの反射光との干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の距離を算出する処理部と、を有することを特徴とする計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】記録紙の種類を詳細に判別することのできる小型の光学センサを低コストで提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を、記録媒体に照射する光照射系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において正反射された光を検出する正反射光検出系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において拡散反射された光を検出する前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子を備えた拡散反射光検出系と、を有する測定系を複数有していることを特徴とする光学センサを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被検査物を変更する際の洗浄を、従来装置に比べてより簡単に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｋを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Ｋを搬送する搬送装置と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Ｋの画像を撮像する撮像装置５０と、被検査物Ｋの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Ｋを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。整列供給装置、搬送装置及び選別装置は、閉塞空間たる搬送空間内に配設される一方、撮像装置及び画像処理装置は搬送空間の外側に配設される。撮像領域と対峙する仕切板７に、透明な部材から構成される窓部６５を設け、撮像装置５０は窓部６５を通して被検査物Ｋの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたレール変位の測定に於いて、降雨時の雨滴による光路遮りを低減し且つ降雨時の雨侵入によるガラス汚染を低減して測定精度を向上する。
【解決手段】フード手段とレールとの間にさらに筒型フード手段を設け、筒型フード手段の先端部とレールとの間の間隙をより小さくすると共に筒型フード手段の開口面積すなわち外気に接する箇所を極力小さくすることによって雨滴による照射光及び反射光の光量低下という影響を減ずるようにした。この筒型フード手段は、照射光及び反射光を通過させるためにフード手段に設けられているスリットの開口面を含む大きさの内壁面を備えていれば十分である。従来のフード手段を設けることなく、検出器本体に直接、上記筒型フード手段と同様のものを設け、筒型フード手段の先端部とレールとの間の間隙をより小さくする。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。
【解決手段】ベースプレート３６と、これの上に置いたブロックゲージ３４の干渉縞画像を複数得る。取得した複数の画像において、ベースプレートとブロックゲージの境界であるエッジ抽出を行い、エッジ画像を得る。エッジ画像を加算して、さらに所定のしきい値により二値化し、ベースプレートとブロックゲージの境界を抽出する。得られた境界に基づきブロックゲージ上の干渉縞画像を得る。 （もっと読む）

【課題】ケーブル支持帯の移動に伴う挙動の影響を受けにくく、測定精度の悪化を防止できる同期移動装置およびこれを備えた画像測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘスライダ５３と、Ｘスライダ５３を移動させる送りねじ軸５４１と、送りねじ軸に螺合されたナット部材と、Ｘスライダ５３およびナット部材を連結するフローティングユニット７と、Ｘスライダ５３へ配線されるケーブルの支持および案内を行うケーブル支持帯６５とを備える。フローティングユニット７は、Ｘスライダに固定された第１の部材７１と、ナット部材に固定された第２の部材７２と、これらに介在して設けられ、かつ、送りねじ軸の軸線に対して直交する面内での送りねじ軸の振れ運動を吸収する中間部材７３を含んで構成されている。Ｘスライダ５３へケーブルを配線する側のケーブル支持帯の端部は、ワイヤ８５，８６を介して第２の部材７２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】バーミラーを用いることなく、干渉計の測長光路を減圧して位置決め精度を向上させることで、ステージ外部の減圧が困難な加工装置等への適用及び装置の小型化を可能にする。
【解決手段】位置決め装置の固定部であるベース１は、Ｙガイド面２を有し、Ｙ凹空間部６、シール部７、Ｙ軸受８を有するＹスライダ３は、Ｙガイド面２に沿って移動する。Ｘ凹空間部９、シール部１０、Ｘ軸受１１を有するＸスライダ５は、Ｙスライダ３上をＸガイド面４に沿って移動する。干渉計２５ａ及びミラー２７ａ、２７ｂは、Ｘスライダ５のＸ凹空間部９に配置され、干渉計２５ｂ及びミラー２７ｃ、２７ｄは、Ｙスライダ３のＹ凹空間部６に配置される。各凹空間部６，９は、それぞれ排気ホース１５、１６によって減圧される。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定装置において、大気の揺らぎに起因するレーザ干渉測長器の測定誤差を低減することができ、曲率半径の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定装置１００は、可干渉性の光束を参照面で参照光と測定光とに分割し、この測定光を曲面からなる被検面８ａに向けて集光位置Ｐに収束するように照射し、被検面８ａの被検面反射光Ｌ_３と参照光とを干渉させて干渉縞を観察する干渉計２と、干渉計２の光軸Ｃ方向に沿って集光位置Ｐに対する被検面８ａの相対位置を変化させる移動機構１４と、移動機構１４によって移動される反射鏡に測長光を照射して移動距離測定を行うレーザ干渉測長器１０と、レーザ干渉測長器１０と反射鏡との間で、測長光の光路に沿う方向に伸縮可能とされ、測長光の光路を側方から囲繞する蛇腹カバー９とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のレベリング装置においては、車体の仰伏方向への傾きを、車体とサスペンションの伸縮との相互位置関係で検出していたので、路面状態、走行条件などの影響を受けやすく、レベリング動作が不安定なものとなっていた。
【解決手段】本発明により、１つの被写体を、既知の間隔に設定した２つの受光部に入射させ、この受光部における被写体が投射された位置の差（視差）から被写体までの距離を計測するステレオ法により、例えば、車体の路面からの前後の高さの差を演算するこのとしたことで、可動になどによる機械的誤差の影響を受けないものとして精度の向上を図ると共に、小形化も可能として、課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】複数の計測機器を設置しなくても、鋼板の先端の最大の反りを検出できるようにする。
【解決手段】搬送される粗圧延後の鋼板Ｓを側方から撮影する撮像装置１００と、撮像装置１００により撮影した鋼板Ｓの先端を含む画像に基づいて、鋼板Ｓの先端の反りを検出する反り検出装置２００とを備える。反り検出装置２００は、撮影画像上で、明度に基づいて搬送方向における鋼板Ｓの先端位置を検出する先端位置検出部２０２と、撮影画像上で、先端位置検出部２０２により検出された鋼板Ｓの先端位置から、搬送方向と逆方向に複数の反り検出エリアＥ₄を設定する反り検出エリア設定部２０３と、反り検出エリア設定部２０３により設定された各反り検出エリアＥ₄で、明度に基づいて鋼板Ｓの板厚方向の表面側エッジ位置を検出するエッジ位置検出部２０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の振幅ゆらぎに影響されず、干渉縞の位置の決定を精度良く行える長さ測定方法を実現する。
【解決手段】測定干渉計３と参照干渉計４が、光ファイバー５を介して結合されているタンデム低コヒーレンス干渉計１を利用した寸法測定方法において、低コヒーレンス光源により、中心波長の異なる２つの波長をタンデム低コヒーレンス干渉計１に入力し、２つの波長のそれぞれについて、被測定ブロックゲージ２の２点（ゲージ表面とベースプレート表面）についての干渉縞を形成し、上記２点についての互いに対応する干渉縞の位相を測定し、２つの波長についてそれぞれ測定した上記位相について、互いに最も合致した値の位相の組み合わせにより、被測定物の２点間の距離を決定することを特徴とする低コヒーレンス干渉の合致法による高精度長さ測定方法。 （もっと読む）

【課題】ステレオマッチング処理を行い、外界の環境の変化と、ワイパや付着物等によるノイズとを的確に判別して物体を検出することができる物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置１は、基準画像Ｔ_Oと比較画像Ｔ_Cとを出力するステレオ撮像手段２と、ステレオマッチング処理を行うステレオマッチング手段７と、基準画像Ｔ_O上に物体Ｏを検出する物体検出手段１０と、前回フレームでの基準画像Ｔ_O上の物体Ｏの距離Ｚ等とに基づいて、今回フレームにおける当該物体Ｏの予測領域Ｒ_Oest、Ｒ_Cestを基準画像Ｔ_Oと比較画像Ｔ_Cに設定する予測領域設定手段１１と、予測領域の輝度値の平均値ｐ１ij_ave、ｐ２ij_aveの差の絶対値が所定の閾値Δｐth以上である場合には基準画像Ｔ_O上の予測領域Ｒ_Oestに検出された物体Ｏの情報または物体Ｏが検出されなかったという情報にノイズが含まれている旨の情報を対応付ける判断手段１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置自体をコンパクトに形成すると共に高精度の計測を実現するレーザ干渉測長装置を提供する。
【解決手段】レーザ干渉測長装置１０は、基盤部に表面に複数の目盛が設けられたスケール１１を載置する載置台２０を設け、基盤部に対して特定方向に移動可能に配設された検出装置に、スケール１１の目盛位置を検出する検出器１９が設ける。検出装置を移動させ、一側側干渉計３４、他側側干渉計３５、中央干渉計３６により、入射した測定光と一側側ベローズ３８、他側側ベローズ３９、中央ベローズ４０を通過した測定光との干渉によって検出器１９の移動距離を検出し、スケール１１に設けられた目盛同士の間隔を検出する。 （もっと読む）

工作機械の工具などの機械構成部品をチェックするための装置は、光ビーム、例えばレーザビームを放射して受光するための光学デバイスと、そのような光ビームの遮断を検出するためのセンサとを使用する。光学デバイスのうちの少なくとも一方のための保護デバイスは、空気圧導管と、光ビームが通過する中心導管の周囲に位置する複数の穴から空気流を出力するノズルとを含み、それにより、光ビームを取り巻く管状シールドを形成する。保護デバイスは、中心導管が閉じられて保護デバイスの内側が加圧される休止位置から、ノズルが管状シールドの形態を成す空気流を送出する作動位置へと移動させることができるシャッタを更に含む。休止位置から作動位置へと通り過ぎる際、シャッタは、短い時間間隔にわたってエアブラストが中心導管を通じて出力される中間移行位置をとる。シャッタは、円筒面を有するとともに、保護デバイスのシェルの内側をスライドし、平坦な回転防止面によっても駆動される。
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光源（１０４）により放射される光放射の異なる波長の焦点が、測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合うように、光放射処理ユニット（１１２）が、測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、異なる波長を測定される対象（１１４）に向ける。可能性のある偏光子（１２０、１２２）が、表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に、反射された光を偏光させる。光放射処理ユニット（１１２）は、測定される対象（１１４）から受けた偏光された光放射を検出器（１０８）に向ける。信号処理ユニット（１２４）が、検出器（１１２）により提供された信号に基づいて、検出された放射から、放射の強度が最も高い波長を決定し、決定された波長により表面（１１６）の位置を決定する。両側から対象（１１４）を測定するとき、測定される対象（１１４）の厚みが、表面の位置を使用して決定可能である。
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【課題】写真測量を用いた測定対象の三次元形状の測定において、処理を自動化することによって手間を省略するとともに、より正確に測定する
【解決手段】複数の撮影装置で撮影された撮影画像から測定画像を作成する測定画像作成部３３ｂと、測定画像からそれぞれの撮影装置に対応する対応点座標を抽出する対応点抽出部３３ｃと、前記対応点座標から前記測定対象の三次元形状を求める形状測定部３３ｄと、前記対応点座標に対し前記測定対象の撮影位置と前記設計データによって決定されている前記測定対象の基準位置との誤差補正を行い、前記測定対象の三次元形状を補正する位置補正部３３ｅと、前記位置補正部により補正された三次元形状と前記設計データを比較することによって、前記測定対象の変形箇所の位置と変形量とを算出する変形量算出部３３ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】スキャナの駆動特性の評価装置及びその評価方法を提供する。
【解決手段】ビームを照射する光源１０１と、光源とスキャニングミラー１００との間に配置されスキャニングミラー上に焦点を有する対物レンズ１０９と、スキャニングミラーで反射されて対物レンズを透過した反射ビームを受光して、スキャニングミラーの回転角の変化を感知する位置感知素子１１５と、位置感知素子で感知された信号を処理する信号処理部１２１、１２５とを備え、スキャニングミラーの回転角の変化にかかわらず反射ビームを光源から照射されて対物レンズに入射されるビームに対して平行なビームにする。 （もっと読む）

【課題】 手軽且つ安価に構造物の目視による観察検査が可能な観察検査装置及び観察検査方法を提供する。
【解決手段】 防水ケース１１に収納したデジタルカメラ１と、デジタルカメラ１が捉えた映像を写し出すモニター装置２と、デジタルカメラ１とモニター装置２とを繋ぐＡＶケーブル３と、デジタルカメラ１を構造物の被検査部位に接近させるためにポール４１を継ぎ足して形成した治具４と、デジタルカメラ１のシヤッターを操作可能な遠隔操作装置５と、映像を録画する録画記録装置７とからなり、デジタルカメラ１を被検査部位に吊下げ、観察位置に設置したモニター装置２により被検査部位を観察し、シヤッターを操作して画像をデジタルカメラ１が備える記憶装置に記憶する。 （もっと読む）