【課題】被検物の三次元形状を測定する際に必要なメモリの容量を効率的に削減する。
【解決手段】形状測定装置において、ステップＳ５において、スポット光の照射位置が変化したと判定され、ステップＳ６において、過去にデータセットを記録した照射位置でないと判定された場合、測定データ、中間データおよび測定用画像データを含むデータセットを記録する。また、スポット光の照射位置が変化したか否かに関わらず、ステップＳ７において、現在のスポット光の照射位置でまだＮ回データセットを記録していないと判定された場合、データセットを記録し、すでにＮ回データセットを記録していると判定された場合、データセットを記録しない。本発明は、例えば、三次元形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】複雑な画像信号処理回路なしに簡単な構成で手などの人の動きを容易に検出できる小型で安価な光学式検出装置を提供する。
【解決手段】エリアセンサである発光素子２と、発光素子２から出射された光束を測定対象物２０に照射する発光レンズ部４aと、測定対象物２０からの反射光を集光する受光レンズ部５aと、受光レンズ部５aにより集光された測定対象物２０からの反射光を検出する受光素子３と、受光素子３からの受光信号を処理する信号処理部７とを備える。上記信号処理部７は、受光素子３からの受光信号に基づいて、受光素子３上の光スポット位置または光スポット形状の少なくとも一方からｘｙ座標平面上の測定対象物２０のｘ座標またはｙ座標の少なくとも一方を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物体が透光部材を押し込んだときの沈み込み深さを光学的に正確に検出することのできる光学式位置検出装置、並びに当該光学式位置装置を備えたハンド装置およびタッチパネルを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源装置１１が透光部材４０において対象物体Ｏｂが位置する第１面４１側とは反対側の第２面４２側から検出光Ｌ２を出射し、対象物体Ｏｂで反射して透光部材４０の第２面４２側に透過してきた反射光Ｌ３を光検出器３０で検出する。透光部材４０の第１面４１は、弾性および対象物体Ｏｂに対する吸着性を備えている。このため、位置検出装置１０では、対象物体Ｏｂと透光部材４０とが接触した瞬間、および対象物体Ｏｂが透光部材４０を押圧した際の沈み込み深さを正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ検査の精度を向上させること。
【解決手段】ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、前記第１搬送ユニットに隣接し、前記第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットに連結されて、前記検査ユニットを前記第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置と、を備え、前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止したとき、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する。 （もっと読む）

【課題】測定者に被測定物体に対するプローブの位置やライン光の照射角度をアシスト（支援）することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光学式センサにより被測定物体５１の形状を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、複数のアーム部１１ａ及びプローブ１２を回転可能に接続する２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、表示部３０と、測定情報及び角度情報から、被測定物体５１の形状情報を算出するとともに、形状情報を表示部３０に出力する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、制御部２０は、プローブ１２の操作を支援するアシスト表示を表示部３０に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】測定者の操作に応じて関節部の回転動作を補助するように構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、光学式センサ４０により被測定物体５１を非接触で走査して当該被測定物体５１の形状の測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂの各々に設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂにより接続された一方のアーム部１１ａ若しくはプローブ１２を他方のアーム部１１ａに対して回転駆動させる駆動部１５と、角度情報からプローブ１２の移動を検出して駆動部１５を作動させる制御部２０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定者の位置や姿勢に関わらず、常に、被測定物体の測定結果を目視で確認することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体５１の形状を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、表示部３０と、測定情報及び角度情報から、被測定物体５１の形状情報を算出するとともに、この形状情報を表示部３０に出力する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、表示部３０を、測定者の頭部に装着され、この測定者の少なくとも一方の眼前に形状情報を投影する投影部３５を有するヘッドマウントディスプレイで構成する。 （もっと読む）

【課題】計測対象の寸法を求める隙間段差計測装置において、計測姿勢を正確に正対する必要がなく、容易に高精度の計測を行う。
【解決手段】計測対象Ｇを形成する２つのワークＷ１，Ｗ２の表面にスリット光Ｌ１を照射するスリット光照射手段４と、少なくとも前記スリット光が照射された状態の前記計測対象を含む第一の平面画像、及び前記スリット光が照射されない状態で、前記計測対象を形成する一対のワーク端部を含む第二の平面画像を取得する撮像手段６と、前記計測対象の寸法を算出する制御手段１０とを備え、前記制御手段は、前記第一の平面画像から、前記ワーク表面に照射されたスリット光の中心ラインＬＣを抽出し、前記第二の平面画像から前記一対のワーク端部のエッジラインをそれぞれ抽出し、前記スリット光の中心ラインと前記一対のワーク端部のエッジラインとの各交点Ｐ１，Ｐ２に基づき前記計測対象の寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素な構成でワークとハンド部との相対位置を検出することにより、ワーク把持動作の高速化を実現することのできるハンド装置を提供すること。
【解決手段】ロボットアーム２００のハンド４５０に位置検出装置１０を付加して位置検出機能付きのハンド装置４００を構成する。位置検出装置１０は、検出領域１０Ｒに向けて位置検出光Ｌ２を出射する複数の発光素子１２を備えた位置検出用光源部１１を有しており、検出領域１０Ｒに位置検出光Ｌ２の強度分布を形成する。また、検出領域１０Ｒで反射した位置検出光Ｌ３は光検出器３０で受光され、その受光結果に基づいて、位置検出部５０は、ワークＯｂとハンド４５０との相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】導体パターンの良否を精度よく検査することのできる検査装置および配線回路基板の検査方法を提供する。
【解決手段】回路付サスペンション基板の金属支持層２１および導体パターンに入射する入射光７を発光する発光部２と、入射光７が金属支持層２１および導体パターンにおいて反射された反射光１１を受光する受光部４とを備え、発光部２および受光部４は、入射光軸１３と反射光軸１４とが一致するように配置され、発光部２は、入射光軸１３と同一直線上にある直線光８と、回路付サスペンション基板に向かうに従って集光され、入射光軸１３に対して傾斜する傾斜光９とを含む入射光７を発光する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶＬにおいて用いるＥＵＶマスクの信頼性を向上させる。
【解決手段】多層膜と吸収体パターンとを有するＥＵＶマスク上の基準パターンを基点にして、吸収体パターンのレイアウトデータをメッシュに区分する（ステップＳ０１）。その後、ＥＵＶマスク上に欠陥が無い場合におけるＥＵＶ光に対する散乱光の補正信号強度を、メッシュごとに算出する（ステップＳ０３）。それに並列して、ＥＵＶマスクにＥＵＶ光を照射し、その散乱光の測定信号強度を計測する（ステップＳ０４）。続いて、メッシュごとに、測定信号強度から補正信号強度を差し引くことでメッシュ信号強度を算出する（ステップＳ０５）。そして、メッシュ信号強度の値から位相欠陥の有無を判定する（ステップＳ０６）。ここでは、メッシュ信号強度が所定の閾値を超える場合に、そのメッシュのＥＵＶマスク上に位相欠陥が有ると判定する。 （もっと読む）

【課題】光沢のあり照明光を正反射する被撮像面の正常状態維持領域と加工又は劣化等により非正常状態になった領域を区別することを、手間をかけないで安定的に、所定の精度で、短時間に、低いコストで、且つ自動的に得る方法を提供する。
【解決手段】
カメラの光軸が被撮像面に垂直な方向に対して所定の角度の傾斜を持つようにカメラを配置し、且つカメラの所定の画素範囲に対応する被撮像面上の範囲（撮像範囲）からカメラのレンズの有効径内に入る反射光の内、撮像範囲で正反射された照明光が正反射前に通過するべきトンネル空間（入射光トンネル空間）が照明装置の発光面を貫通するように照明装置を配置し、光沢があり照明光を正反射する被撮像面を撮像する。 （もっと読む）

【課題】 投射レンズの光軸と、スクリーンの法線の傾きを精度よく検出し、調整者にわかりやすく傾き情報を伝達することができる画像表示装置を得ること。
【解決手段】 画像表示素子と、該画像表示素子により表示された画像をスクリーン上に投射する投射レンズと、該スクリーン上あるいは該スクリーンと同一平面上であって、該投射レンズの光軸と直交する第１方向で該投射レンズの光軸を挟んだ２つの測距点と、該投射レンズの光軸と直交し、該第１方向と直交する第２方向において、前記２つの測距点とは位置が異なる１つの測距点の、少なくとも３つの測距点の距離情報を各々検出する少なくとも３つの距離測定手段と、該３つの距離測定手段で得られる距離情報を表示する表示手段とを備えた画像表示装置であって、該３つの距離測定手段の光軸は、該投射レンズの光軸に対して、同じ角度だけ異なる方向に傾けて配置されていること。 （もっと読む）

【課題】測定値がばらつき、エッチング加工される精密部品の母材に要求される形状精度を保障可能な測定精度を確保する。
【解決手段】板材形状測定範囲内での等間隔の棒状光源配置と位相変化測定板材上方に棒状光源を配置して、板材表面に観察される棒状光源の鏡像をカメラにて撮影した画像に基づき板材の形状を測定する板材の光学式形状測定方法において、
複数の棒状光源を板材形状測定範囲にわたって等間隔に配置し、カメラにて撮影した画像上の棒状光源の配列方向に垂直な方向の周期的な輝度分布波形を得て、
フラットな基準平面測定時の周期的な輝度分布波形に対する位相変化量を測定することにより、板材表面の角度分布を求めることにより、板材の光学式形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＤデータに対応する画像データの位置情報を検出するパターンマッチング装置において、ＣＡＤデータの形状とホールパターンの形状が大きく異なる場合でも、正確にパターンマッチングする。
【解決手段】ホールパターンの中心位置を画像化したデータ１１１を生成するＣＡＤホールパターン中心位置検出手段１０７と、画像データ１０５からパターンデータ１１２を抽出するパターン抽出手段１０８と、パターンデータ１１２からホールパターンの中心位置を検出し、画像データ１０５から検出したホールパターンの中心位置を画像化したデータ１１３を生成する手段１０９と、ＣＡＤホールパターン中心位置データ１１１と画像ホールパターン中心位置データ１１３との照合処理により、ＣＡＤデータ１０４に対応する画像データ１０５の位置データ１１４を検出する照合処理手段１１０と、信号出力インターフェース１０３と、で構成する。 （もっと読む）

【課題】同期信号等の出力インタフェースを有しないカメラを使用し、撮像と被測定物またはカメラの位置情報を、制御回路を使用せずに同期して撮像を行う非接触計測装置および非接触計測方法を提供することを課題としている。
【解決手段】非接触計測装置は、アクチュエーター１０、レーザー１２、カメラ１３、信号処理・制御ユニット２０、画像表示装置３０から構成されている。信号処理・制御ユニット２０は、制御部１０１と、画像データ取り込み部１０２と、グレースケール変換部１０３と、画像データ記憶部１０４と、相関比較部１０５と、停止判定部１０６と、輝度抽出部１０７と、重心算出部１０８と、高さ算出部１０９と、計測結果出力部１１０とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】ワークの表面形状を非接触で高速に測定でき、測定時のワークの振れを特殊な機構を用いることなく補正可能であるなど極めて実用的な表面形状測定装置の提供。
【解決手段】ワークに測定光を照射する照明手段と、測定光の反射光を撮像する撮像手段とを有し、ワークと撮像手段とを相対的に回転させながら該ワークの外周表面に測定光を照射し、このワークからの反射光を撮像手段により撮像して該ワークの表面形状を測定する表面形状測定装置であって、測定光をワークに撮像手段の光軸と同軸方向で照射する同軸落射照明手段を有し、更に、撮像手段により撮像した各画像データに基づいて撮像手段の光軸方向成分においてワークの外周上で該撮像手段に最も近い点の該撮像手段の光軸垂直面内における変位を積分し該ワークの表面形状を算出する演算手段を有するもの。 （もっと読む）

【課題】表面がフラットでない樹脂層の厚みを正確に測定する。
【解決手段】光透過性着色樹脂層（樹脂層）３が表面に形成された線材２を含む撮像領域Ｄを撮像して画像データＤ１を出力するカメラ５と、樹脂層３の厚みと彩度との対応を示す彩度相関データ、および樹脂層３の厚みと色相情報との対応を示す色相相関データが記憶された記憶部６と、画像データＤ１を画像処理して撮像領域Ｄ内の各位置における彩度および色相を抽出する色情報抽出処理、彩度および色相と彩度相関データおよび前記色相相関データとに基づいて撮像領域Ｄ内における樹脂層３の形成領域を検出する領域検出処理、並びに彩度および色相のうちのいずれか一方の情報と彩度相関データおよび色相相関データのうちのこの一方の情報に対応する一方の相関データとに基づいて形成領域における樹脂層３の厚みを測定する厚み測定処理を実行する画像処理部７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクトセンシングで物体の移動状態を高精度で且つ確実に検出すること。
【解決手段】 搬送ベルトには複数の孤立パターンから構成される検出用パターンがマーキングされている。第１画像データから切り出したテンプレートパターンに含まれる検出用パターンの一部が、いかなる場合も第２画像データのサーチ領域内で唯一の固有パターンとなるように、検出用パターンの中の複数の孤立パターンの形態、テンプレートパターンを切り出すテンプレート領域のサイズ、サーチ領域のサイズが関係付けられている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物と撮像部との間に透明体が介在する監視環境にあっても、被搬送物の搬送状態を高精度に管理可能な装置及び方法を提供する。
【解決手段】第１の搬送監視装置１０Ａは、透明体１越しに被搬送物２の搬送状態を監視し、被搬送物２及び搬送部３の画像を取得する撮像部１１と、撮像部１１が取得した画像のベクトルデータを演算する演算部１２と、被搬送物２及び搬送部３のモデルデータを記憶する記憶部１３，１４と、画像中の被搬送物２及び搬送部３の位置を抽出する位置抽出部１５，１６と、被搬送物２及び搬送部３の相対的位置を算出する相対位置算出部１７と、被搬送物２及び搬送部３の正常な相対的位置関係を記憶する記憶部１８と、相対位置算出部１７が算出した相対位置が正常か否かを判定する判定部１９と、判定部１９での判定結果に応じて所定の警告を発する警告部２０とを具備する。 （もっと読む）