【課題】 ワークのエッジ位置に沿って誤差を識別することができるとともに、ワーク画像との対応関係を容易に把握することができる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 ワーク画像からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、ワークの輪郭情報及び輪郭位置の公差を含む測定設定データを保持する測定設定データ記憶手段と、ワーク画像及び輪郭情報を位置合わせし、ワーク画像上のエッジ位置とこのエッジ位置に対応する輪郭位置との変位量を示す誤差を算出する誤差算出手段と、算出された誤差を公差と比較し、良否判定を行う誤差判定手段と、抽出されたエッジ及び良否判定の結果をワーク画像上に表示する測定結果表示手段により構成される。測定結果表示手段は、誤差が不良と判定されたエッジ位置について、誤差の大きさが極大となるエッジ位置の誤差を数値表示する。 （もっと読む）

【課題】ライン光照明系の歪みが高精度に校正するための３次元形状測定機の校正方法、及び、この校正方法により校正された３次元形状測定機を提供する。
【解決手段】被検物１７にライン光を投影する照明部であるライン光投影装置１６と、被検物１７上に投影されたライン光の像を取得する撮像部である測定カメラ１１と、を有し、前記像から被検物１７の３次元座標を算出する３次元形状測定機１において、３次元座標に含まれるライン光投影装置１６の歪みを校正する３次元形状測定機１の校正方法であって、ライン光投影装置１６の光軸に対して略垂直に拡散面２１ａを配置するステップと、ライン光投影装置１６部により拡散面２１ａにライン光を照射して測定カメラ１１でライン光の像を取得するステップと、取得した像から３次元座標を校正する補正データを算出するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】パターン投影三次元計測装置で境界の信頼度を精度よく算出する。
【解決手段】パターン光を対象物体に投影し、対象物体により反射された反射パターン光から対象物体の三次元形状情報を算出するための三次元計測装置であって、明部と暗部とが交互に配置された縞パターン光の反射パターン光を第１の画像データとして撮像し、当該縞パターン光の明部と暗部とが反転した逆縞パターン光の反射パターン光を第２の画像データとして撮像する撮像部と、第１画像データおよび第２の画像データに基づき、明部と暗部との境界位置を決定する決定部と、第１の画像データの第１の輝度勾配と、第２の画像データの第２の輝度勾配との相関から境界位置の正確性を示す信頼度を算出する信頼度算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塗工パターンの幅方向および搬送方向の測定の同時性を実現し、光軸方向の距離変動の影響も無くすことができる塗工パターンの測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】 シートに塗工された塗工パターンの形状測定方法において、
1）シートの搬送方向に直交して水平ラインの撮影方向に複数のカメラを並べ、前記シートを前記複数のカメラで撮影する工程、
2）撮影した映像の水平走査信号または垂直走査信号の少なくとも一方を水平走査に同期させ前記複数のカメラの水平走査信号を順次切り替えて画像処理手段に取り込む工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】撮像系の歪み補正を行うことができる３次元形状測定機の校正方法、及び、この校正方法により校正された３次元形状測定機を提供する。
【解決手段】被検物１６にライン光を投影するライン光投影装置１５と、投影されたライン光の像を取得する計測カメラ１１と、を有し、被検物１６の３次元座標を算出する３次形状測定機１において、３次元座標に含まれる計測カメラ１１の歪みを補正する校正方法であって、物体面上に設置した基準点の像を取得するステップと、この像に基づいて、像面から物体面上の座標に座標変換した基準点の３次元座標（変換座標）を求めるステップと、基準点の予め測定された３次元座標と変換座標とを最小二乗式によりフィッティングしてフィッティング係数を求めるステップと、このフィッティング係数により、補正データを算出するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】焦点位置を高速に移動させることなく、測定対象物の表面に形成されるレーザ光の照射スポットを小さく保つことができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】
レーザ光を出射するレーザ光源１０と前記レーザ光を反射して走査するミラー３０を設ける。レーザ光源１０とミラー３０の間にスポット形成器２０を設ける。スポット形成器２０は、前記レーザ光を平行光に変換するコリメートレンズ２２、前記平行光をリング状の輪帯光に変換するフィルタ２３、前記輪帯光を集光する第１リレーレンズ２４及び第２リレーレンズ２５を備える。さらに、測定した測定対象物までの距離の平均値を算出して、前記算出した平均値に応じてスポット形成器２０を前記レーザ光の光軸方向に移動させる移動装置２０ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】費用を低減しながら位置の計測の精度を向上させること。
【解決手段】対象物（２）の外壁（２ｄ）の予め設定された凹部中心位置を中心とする同心円上に配置された複数の凹部（１８）と、を有する前記凹部（１６）と、対象物（２）に対して光を照射する光源部（３２）と、対象物（２）からの光を受光する受光部（３３ａ）と、凹部（１６）から反射された光の濃度分布に基づいて、対象物（２）における凹部（１６）の位置を測定する凹部測定手段（３６ｄ）と、を備えた位置測定装置（３２〜３６）。 （もっと読む）

【課題】光切断線の湾曲成分を除去し、太陽電池ウエハの断面形状データを精度良く算出する。
【解決手段】ウエハ形状データ取得部２２１は、ウエハ画像から光切断線の形状を示すウエハ形状データを取得する。標準平面形状データ取得部２２２は、所定の標準平面の高さを数段階変化させ、標準平面画像から各高さにおける光切断線の形状を示す標準平面形状データを取得する。形状補正部３４１は、ウエハ形状データと形状が最も近い標準平面形状データを、標準平面形状データ記憶部８０から特定し、特定した標準平面形状データ及びウエハ形状データの差分を補正ウエハ形状データとして算出する。断面形状算出部３４２は、形状補正部３４１で算出された補正ウエハ形状データからウエハ断面形状データを算出する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーを用いてレーザ光を走査する３次元形状測定装置において、使用開始から長期間が経過してもミラーの回転角度を精度よく取得でき、測定精度を一定に保つことができるようにする。
【解決手段】
回転可能に支持されたミラー１４ａと供給される電気信号に応じてミラー１４ａを回転させて変位させる駆動回路とが一体的に形成された第１ミラー１４を設ける。ミラー１４ａは、それぞれレーザ光を反射可能な第１反射面及び第２反射面を有する。第１反射面に測定装置と測定対象物ＯＢとの距離を測定するためのレーザ光を照射する。第２反射面にミラー１４ａの回転角度を検出するためのレーザ光を照射する。第２反射面からの反射光を受光する受光センサ２６を設ける。受光センサ２６における反射光の受光位置からミラー１４ａの回転角度を計算するミラー角度検出回路４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】複数の方向から計測対象物体を撮像して三次元形状を計測する三次元形状計測装置のキャリブレーションを、簡便な作業で短時間に行う。
【解決手段】三次元形状計測装置１は、キャリブレーション用ブロックと、撮像部１２−１，１２−２がそれぞれ撮像した撮像画像領域から、キャリブレーション用ブロックの上面に照射されたスリット光による光切断線をそれぞれ検出する光切断線検出部２３と、光切断線検出部２３がそれぞれ検出した光切断線から特徴点をそれぞれ検出して二次元座標値を取得する特徴点検出部２４と、二つの撮像画像領域それぞれにおける特徴点の二次元座標値を単一の二次元座標系の二次元座標値に変換するための座標変換パラメーターを計算する座標変換パラメーター計算部２５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】２次元画像上における画像特徴と３次元形状モデルを構成する幾何特徴とを対応付け、その結果に基づいて物体の位置及び姿勢の計測を行なう。
【解決手段】位置姿勢計測装置は、３次元形状モデルを保持するモデル保持手段と、物体の位置及び姿勢を示す概略値を取得する手段と、撮像装置により撮像された物体の２次元画像を取得する手段と、概略値に基づいて３次元形状モデルにおける幾何特徴を２次元画像上に投影し、当該２次元画像上に投影された３次元形状モデルの幾何特徴の方向を算出する手段と、２次元画像から画像特徴の方向を算出する手段と、算出された画像特徴の方向と、３次元形状モデルから算出された幾何特徴の方向とを比較することにより、画像特徴と幾何特徴とを対応付ける手段と、当該対応付けられた画像特徴と幾何特徴とにおける距離に基づいて概略値を補正することにより物体の位置及び姿勢を算出する位置姿勢算出手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】測定作業の容易化およびコストダウンを図る上で有利な操舵角検出装置および操舵角検出方法を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール２の回転部２Ｄの外周に沿って被検出部１２を設ける。被検出部１２は、回転部２Ｄの外周に沿って設けられ、外周の延在方向に沿った一定の長さの領域の光の反射量が回転部２Ｄの外周に沿って単調に増加または減少する。操舵角検出装置１０は、予め定められた測定箇所において被検出部１２を撮像して濃淡画像を生成すると共に、濃淡画像のうち回転部２Ｄの外周方向に沿った一定幅の濃淡画像の領域である検出領域２４に該当する画像の輝度を検出し、操舵角θと輝度Ｌとを対応付けたデータテーブルから操舵角θを特定し該操舵角θを示す操舵角データを出力し、操舵角θの特定は、検出された輝度Ｌと、直近の操舵角θ_０とに基づいて行う。 （もっと読む）

【課題】電極パターンまたは配線パターンに安定的に焦点を合わせることができる画像取得装置、欠陥修正装置および画像取得方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、欠陥が生じている基板１１１の一部を拡大した画像を取得する欠陥修正装置１００であって、基板１１１の一部を撮像する撮像部１２１と、基板１１１を載置したステージを移動するステージ移動部１１３と、対物レンズ１２９の基板１１１に対する焦点合わせを行う合焦検出部１２３と、ステージ移動部１１３を制御して、合焦検出部１２３が焦点合わせを行う場合に合焦検出領域から基板１１１の画像取得対象領域内に含まれる欠陥を退避させるステージ制御部１５６と、合焦検出部１２３による焦点合わせ後の焦点条件を固定する合焦制御部１５５と、合焦制御部１５５による焦点条件の固定後に撮像部１２１に基板の一部を撮像させる撮像制御部１５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記被検物の温度を計測する温度計測手段と、前記被検物の温度を調整する気体流を形成する気体流形成手段と、前記温度計測手段からの情報に基づいて、前記気体流形成手段を制御して、前記被検物の温度を所定温度範囲に保持する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の外縁と回転保持台の回転軸との距離が三次元測定機の測定可能範囲の長さよりも長い場合であっても回転軸の位置および姿勢の情報を取得する。
【解決手段】情報処理システムは、対象物の三次元形状を測定する三次元測定機と、所定の特徴部と、保持基準部とを備えた校正用対象物と、校正用対象物を保持する回転保持手段と、三次元測定機に対する回転保持手段の回転軸の位置および姿勢の情報である回転軸情報を取得する回転軸情報取得手段と、を備える。そして、保持基準部は、特徴部に対する回転軸の位置および姿勢が既知の配置関係に保持されるための基準であり、回転軸情報取得手段は、保持基準部によって回転保持手段に保持された校正用対象物の特徴部を三次元測定機が測定して得た測定情報を、前記既知の配置関係に基づいて変換することにより回転軸情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】照明光の連続性を確保し、被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に特定色の光を投射する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光のうち特定色の反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する複数の照明装置１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃのうち特定色を含む照明光を照射する照明装置１２０ａを、制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】三次元形状計測における高さ方向のキャリブレーションを効率的に且つ高精度に行う。
【解決手段】階段形状のキャリブレーション用ブロックと、これが載置される載置台４０を移動させる載置台駆動部３０と、撮像画像から光切断線を検出する光切断線検出部２２と、光切断線から特徴点を検出して特徴点座標値を計算し、この特徴点座標値と載置台４０の移動ピッチとキャリブレーション用ブロックの所定の属性データとを関連付けた特徴点情報を生成する反射位置計算部２３と、特徴点座標値と移動ピッチとから世界座標系における特徴点の三次元座標値に変換する変換行列を計算する変換行列計算部２４と、特徴点情報と変換行列とに基づいて、撮像画像の画像平面の二次元座標値とこれに対応する世界座標系の三次元座標値との組み合わせを求めて校正用データを生成する三次元座標変換部２５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてパターンの照射範囲を容易に設定可能で、高精度で距離計測が可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測面を撮像する撮像部１１と、撮像部からのタイミング信号にて動作制御され、投光パターン１５を形状計測面に投影する照射部７と、投光パターンの設定を行う投光パターン設定部５１と、投光パターン及び撮像画像により、投光パターンの照射範囲を設定する照射範囲設定部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】圧延材等の帯状体に空間定在波が発生した場合にも正確な形状測定を可能とする。
【解決手段】長手方向に搬送される圧延材１０１の表面に光源１０６から長手方向のスリット光１０６ａを照射し、そのスリット光１０６ａを２次元カメラ１０７により撮像する。形状測定装置は、２次元カメラ１０７で得られた画像データから光切断法により圧延材１０１の長手方向の板高さ分布を計算する板高さ分布計算部２と、板高さ分布計算部２で計算した板高さ分布に基づいて圧延材１０１に空間定在波１０４が発生しているか否かを判定する判定部３と、判定部３で空間定在波１０４が発生していると判定した場合、板高さ分布計算部２で計算した板高さ分布を用いて圧延材１０１の走行軌道Ｓを計算する走行軌道計算部４と、走行軌道計算部４で計算した走行軌道Ｓに沿って圧延材１０１の形状（平坦度）を指す指標である板伸び率を計算する形状測定部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】１回のパターン投影、及び撮影により計測対象の３次元形状を復元する。
【解決手段】投影装置１は、所定の投影パターン（円形白黒コード群）を計測対象４に投影する。撮像装置２は、投影パターンが投影された計測対象４を撮影する。コード抽出部３−２は、撮影した画像からコードを抽出する。コード識別部３−３は、抽出したコードからコード番号を識別する。ワード生成部３−４は、着目コード番号の４近傍のコード番号を探索してワードを生成する。対応点算出部３−５は、生成されたワードを用いて、撮影画像中のワードと投影パターンのワードとの対応をとり、対応点の座標を得る。３次元位置算出部３−６は、３角測量の原理を用いて、撮影画像中のワードの中心座標と投影パターンの中心座標とから３次元座標位置を算出する。 （もっと読む）