【課題】従来の光アナログ法は、画像情報の並列実時間処理には適するが光学装置の小型化が困難で装置構成に利便性を欠いていた。そのために複数画像の識別に、小型で並列画像処理を可能とする光アナログ画像処理法と装置を提供する。
【解決手段】識別物体導入手段または識別物体形状写出手段を、フーリエ変換レンズの前側で前焦点面に限定することなく設置し、多重マッチトフィルタ作成光学系の光路を短縮し、鮮明な光回折パターン取得光学系で多重マッチトフィルタの作成を容易にした。複数形状の同時並列実時間識別の小型簡便な方法と装置を提供した。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造で立体形状を高精度に計測可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置１００は、複数の波長成分を有する光を計測物５０に照射する光源１と、軸上色収差を有する回折レンズ２と、干渉画像生成部３と、分光画像生成部２１と、立体形状算出部２２とを備える。干渉画像生成部３は回折レンズ２からの光を、可変の光路長差を有する光束Ｌ１，Ｌ２に分割するとともに、その光束Ｌ１，Ｌ２を重ねることで干渉画像を生成する。分光画像生成部２１は、干渉画像が有する干渉光の強度の情報をフーリエ変換することによって、計測物５０からの光の分光スペクトルの情報を有する分光画像を生成する。波数ごとに分光画像は生成される。この分光画像に基づいて合焦点位置が算出されるとともに、その合焦点位置から計測物５０の立体形状が算出される。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面で構成される被検面の形状等を短時間で測定することが可能な光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９の被検面（コバ部表面９５、嵌合面９８、嵌合部底面９９）に対し、顕微干渉計１から測定光軸Ｌに沿って収束しながら進行する低可干渉性の測定光を照射し、被検面の回転位置毎に対応した各回転位置別干渉縞を第１撮像カメラ２４の１次元イメージセンサ２３により撮像する。この各回転位置別干渉縞の画像データに基づき被検面の形状が解析される。 （もっと読む）

【課題】マスク基板に対して洗浄加工を行なった場合の洗浄加工後にマスク基板に残る欠陥が洗浄加工プロセスによるものなのか、マスク基板自体の内部欠陥によるものなかを容易に判定する。
【解決手段】第１及び第２の受光手段に受光された散乱光に基づいて基板の両面（表面及び裏面）に存在する欠陥を検出することができるので、基板の洗浄加工の前後で両面の欠陥の存在位置をそれぞれ比較することによって、洗浄加工によって基板両面に存在していた欠陥が除去されたか否かを容易に判定することができる。すなわち、基板の洗浄加工処理によって基板から所定数の欠陥が除去されなかった場合には、マスク基板の内部に欠陥が存在する可能性が高いので、基板内部の欠陥の検出処理行い。その結果に基づいて洗浄加工によって除去できなかった欠陥が基板内部の欠陥であるのか、洗浄加工プロセスの問題によるものかを容易に判定することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面または互いに離間した複数の平面からなる被検面の傾斜角度、形状および径の大きさ等を短時間で測定可能な被検面測定装置を得る。
【解決手段】円錐レンズ３１と回折光学素子３２とからなる光偏向素子３０を配置し、測定光を照射する。光偏向素子３０に入射した測定光の一部は、参照基準面３１ｂにおいて参照光として反射され、その余は光偏向素子３０により放射状に偏向されて被検面７１の各部に垂直に照射される。被検面７１の各部から再帰反射された測定光の一部は、光偏向素子３０を経由し被検光として参照基準面３１ｂに戻る。この被検光と参照光の光路長差が低干渉光源１１からの出力光の可干渉距離以下となるように迂回路部１３における迂回距離の調整がなされ、撮像カメラ２３により撮像された干渉縞画像に基づき、被検面７１の各部の傾斜角度、形状および径の大きさが測定解析される。 （もっと読む）

【課題】 より少ない部品数でより高い検出精度を実現可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】 位置検出装置Ａ１は、ｘ方向に延びる読み取り領域を有し、上記読み取り領域において受光した光量に応じて信号を出力する受光手段４Ａと、ｘ方向と直交するｙ方向において検出基準面１を挟んで受光手段４Ａと対向するように設置されており、上記ｘ方向において上記読み取り領域の幅よりも長い領域を照明する帯状光束をｙ方向に向けて出射する光学ユニット３Ａと、光学ユニット３Ａに光を供給する光源手段２１，２２と、を備えており、受光手段４Ａが出力する信号の値の偏りから検出基準面１に近接する検出対象物のｘ方向における位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】被検曲面の傾きが大きい場合でも被検曲面の形状を高精度に測定することが可能な被検曲面形状測定装置を得る。
【解決手段】被検曲面Ｐの形状の設計データに基づき形成された反射曲面３１を有する反射偏向素子３を用いて測定を行う。この反射曲面３１は、干渉計１から反射曲面３１に入射した測定光の各光線が、被検曲面Ｐに対し垂直に入射して再帰反射され反射曲面３１を経由して干渉計１に戻るとともに、該各光線の光路長が互いに等しくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】光学素子の被検面の加工誤差を定量的に評価するのに好適な光学素子形状評価方法を提供すること。
【解決手段】光学素子形状評価方法を、理想面に対する被検面の偏差形状を多項式近似する多項式近似ステップと、多項式近似の結果から偏差形状の回転対称イレギュラリティ成分を切り出して評価形状を計算する評価形状計算ステップと、評価形状の瞳中心を含む領域が平面状に変形するように該評価形状に球面成分又２次成分を付与する成分付与ステップと、球面成分又２次成分が付与された評価形状に基づいて被検面の加工誤差を計算する加工誤差計算ステップとを有する方法とした。 （もっと読む）

【課題】カメラの台数を増やすことなく、帯状部材の端部位置などの複数箇所の変位量を計測して、帯状部材の形状を効率良く測定する方法とその装置、及び、この装置に用いられる変位センサーとを提供する。
【解決手段】帯状部材４０の表面に帯状部材の長手方向に沿って延長するレーザー光を照射するレーザー装置１２１と、レーザー光の反射像を撮影する撮像手段１４と、前記反射像から帯状部材４０の変位量を計測する変位量計測手段１５とを備え、変位量計測手段１５で計測された帯状部材４０の変位量に基づいて、帯状部材の表面形状を測定する帯状部材の形状測定装置において、照射するレーザー光を透過光と回折光とに回折分離して、帯状部材の幅方向に互いに離隔した複数のレーザー光Ｔ１〜Ｔ３を帯状部材４０に照射することで、帯状部材４０の幅方向の複数箇所の変位量を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】 大口径の被検光学系の面形状を測定する波面形状測定方法、及び大口径の被検光学系の面形状を測定するための波面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検光学系の面形状を測定するための波面形状測定方法において、重力方向に伸びた回転軸（ＫＪ）を中心に液体（ＥＴ）を入れた容器（ＹＫ）を回転させることにより、重力方向に凹んだ回転放物面の液体反射面（ＥＨ）を形成する液体反射面形成工程と、反射平面（ＨＭ）を有する基準平面鏡（ＫＨ）を液体反射面に対向するように配置する工程と、干渉計（ＫＳ）から可干渉性を有する光束を液体反射面に照射し、液体反射面で反射された光束が基準平面鏡で反射され、再び液体反射面を経由して干渉計に戻った光束を干渉させて、基準平面鏡の面形状を測定する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定面の位置をその反射率に左右されず、安定して高精度に測定し得る共焦点分光方式の光距離計及び距離測定方法を提供する
【解決手段】光距離計２１は、白色光源２２からの照明光を複屈折板２７により常光成分と異常光成分とに分離し、被測定面３４ａの光軸上の異なる位置で結像するように投射する。被測定面からの反射光を合波し、回折格子２９により波長毎に分散させ、複屈折板３０により再び常光成分と異常光成分とに分離して撮像素子３１に入射させる。信号処理部３３が、撮像素子から出力された電気信号を処理して常光成分及び異常光成分の光強度Ｐ１，Ｐ２を検出しかつ差分ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２を算出する。差分ΔＰが０となる波長λ０を検出することによって、被測定面の位置が求まる。 （もっと読む）

【課題】目標とする非球面波をより正確に発生する非球面波発生光学系。
【解決手段】非球面波を発生するための非球面波発生光学系は、第１非球面を有する第１アルバレツレンズと、第２非球面を有する第２アルバレツレンズと、前記第１アルバレツレンズと前記第２アルバレツレンズとの間に配置されたリレー光学系とを備え、前記第１非球面および前記第２非球面が前記リレー光学系に関して互いに共役な位置に配置され、前記非球面波発生光学系の光軸をｚ軸とするｘｙｚ座標系において、前記第１非球面の形状をｚ＝ｆ１（ｘ、ｙ）、前記第２非球面の形状をｚ＝ｆ２（ｘ、ｙ）とし、前記リレー光学系の倍率をβ、定数をＣとしたときに、前記第１非球面および前記第２非球面が、ｆ２（ｘ，ｙ）＝ｆ１（βｘ，βｙ）＋Ｃを満たすことができる形状を有する。 （もっと読む）

【課題】複数種類の画像において被写体の対応位置を容易に認識し得る光学素子及び撮像装置を提供できるようにすることを目的とする。
【解決手段】外郭15内に中心部Oを中心に当該中心部Oを含んだ内側領域ER１に可視光・近赤外光透過レンズ12を設け、中心部Oを中心にして内側領域ER1を囲むように形成された外側領域ER2に遠赤外光透過レンズ13を設けることで、可視光・近赤外光透過レンズ12の光軸と、遠赤外光透過レンズ13の光軸とを一致させることができるので、これら可視光・近赤外光透過レンズ12と遠赤外光透過レンズ13を透過した可視光Laと遠赤外光Lbから被写体画像の対応位置が一致した色画像及び温度画像を生成でき、各色画像及び温度画像において被写体の対応位置を容易に認識し得る。 （もっと読む）

【課題】パスライン変動の影響を最小限とし、塗工パターンに柔軟に対応できると共に、小型化できる塗工パターン寸法測定装置を実現する。
【解決手段】搬送方向に沿って走行するシート基材上に塗工材を塗布または印刷した塗工パターンの寸法を、塗工部と前記シート基材の反射率の差を光学的に撮像する光学読み取り手段により測定する塗工パターン寸法測定装置において、
前記光学読み取り手段は、
前記搬送方向に直交して前記シート基材に密接配置される、複数のレンズが線状に配置されたレンズアレイと、
前記レンズアレイの結像位置に線状に配置された一次元イメージセンサと、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 被検面の形状や被検光学系の透過波面を簡便かつ迅速に計測する。
【解決手段】 被検面の形状又は被検光学系の透過波面を計測する計測装置であって、光源から出射された光を参照光と被検光とに分割する分割部と、前記被検光を回折することにより分割し、当該分割された被検光を前記被検面又は前記被検光学系の瞳の複数の領域へそれぞれ出射する回折光学素子と、前記参照光と前記被検面又は前記被検光学系の反射面で反射され前記回折光学素子で再度回折された前記被検光とによって生じた互いに部分的に重なり合う複数の干渉縞を検出する検出器と、前記検出器によって検出された互いに部分的に重なり合った複数の干渉縞から、前記複数の干渉縞それぞれの情報を分離して取得し、前記取得されたそれぞれの情報から前記複数の領域それぞれにおける面形状又は透過波面を算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ走査干渉を用いて円筒面の形状を簡単に、かつ、短時間で測定することができ、同時に円筒面の表面画像を得ることのできる、円筒面の形状計測方法を提供する。
【解決手段】テレセントリックｆθレンズ８の焦点面近傍に近接配置した参照平面９ａ及び被観察円筒面10ａからの反射光を前記テレセントリックｆθレンズ８により平行光束に変換し、結像レンズ11によって集光してテレセントリックｆθレンズ８の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12ａを通過させ、ピンホール12ａを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する。レーザ光源１からのレーザ光を連続点灯又はパルス点灯させるとともに、走査光を被観察円筒面10ａの母線に沿って走査させ、かつ、被観察円筒面10ａを有する被測定物10をその円筒軸10ｂを中心に回転させながら計測する。 （もっと読む）

【課題】広角カメラの姿勢パラメータを容易にかつ正確に推定する技術を実現する。
【解決手段】カメラ姿勢パラメータ推定装置は、半球以上の視野を有する広角カメラにより得られる広角画像から、実空間における、相互に平行な少なくとも２つの第１直線及び第２直線と、第１直線及び第２直線と垂直な関係を有する１つの第３直線とから構成される特定パターンを形成し得る各線分をそれぞれ取得するパターン取得手段と、このパターン取得手段により取得された特定パターンを形成し得る各線分を用いて上記広角画像に対する２組の消失点ペアを決定する決定手段と、この決定手段で決定された２組の消失点ペアを用いて地面に対する広角カメラの姿勢パラメータを推定する推定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象に投影されたターゲットが検出し難い場合に、投影用ターゲット画像を補正して、再度投影できるターゲット投影装置を提供する。
【解決手段】ターゲットＴが表示された投影用ターゲット画像Ｆ１を測定対象２に投影する投影部３、投影部３から投影用ターゲット画像Ｆ１を投影して測定対象２に映されたターゲット映像Ｆ２を撮影して撮影画像Ｆ３を得る撮影部４、撮影部４で撮影された撮影画像Ｆ３からターゲットＴの特徴を検出するターゲット特徴検出部６２、撮影画像Ｆ３におけるターゲットＴの特徴に関する所定の許容条件を記憶する許容条件記憶部５４、撮影画像Ｆ３が所定の許容条件を満たすか否かを判定する許容条件判定部７、許容条件判定部７が所定の許容条件を満たさないと判定した場合には、所定の許容条件を満たすようにターゲットＴの特徴を変更して投影用ターゲット画像Ｆ１を補正する画像処理部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】測距精度を向上させることが可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】この撮像装置５０は、被写体（図示せず）に対向する位置に配設され、複数のレンズ１ａ、１ｂをアレイ状に配列したレンズアレイ１と、レンズアレイ１の像面側に設けられ、複数のレンズにより結像された被写体の縮小像（以下、個眼像と呼ぶ）の集合である複眼像を撮像するＣＭＯＳセンサ（撮像素子）４と、ＣＭＯＳセンサ４により撮像された複眼像を処理する演算器１０と、レンズアレイ１を構成する隣接する各レンズ間での光線のクロストークを防止する遮光壁２と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】アイセーフ波長のレーザ光を用いて低コストかつ高精度に距離を測定する。
【解決手段】レーザ光源２４からのアイセーフ波長のレーザ光は、ポリゴンミラー２１により走査されつつ測定対象に照射される。測定対象からの光はＧＬＶ３２へと導かれ、ＧＬＶ３２からの回折光が光検出器３５にて受光される。光検出器３５は単一のフォトダイオードを備える。ＧＬＶ３２からは可干渉性の強い光のみが光検出器３５へと導かれるため、レーザ光に由来する光のみが光検出器３５にて検出される。ＧＬＶ３２において回折光を出射する領域を移動することにより、レーザ光に由来する光の入射位置が求められる。これにより、背景光の影響を受けることなく精度よく距離を測定することができる。また、単一のフォトダイオードを用いることにより、アイセーフ波長の光を低コストにて検出することができる。 （もっと読む）