【課題】ワークに対してカメラを任意の位置、姿勢に移動させながら視覚検査を行うことができるものであって、設備全体の小型化を図る。
【解決手段】支持台２上にＹＺロボット３を設け、その前方に回転テーブル４を設ける。ＹＺロボット３は、Ｚ軸移動機構５、Ｙ軸移動機構６、前後（Ｙ軸）方向に延びる光軸Ｏを有しワークＷを撮影するカメラ７を備え、カメラ７を前後（Ｙ軸）及び上下（Ｚ軸）方向に自在に移動させる。回転テーブル４は、ワークＷを載置し、垂直方向に延びる回転軸θ周りに自在に回転させる。カメラ７の先端に１８０度以上の画角を有する超広角レンズ１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】熱的に補償されたクロマティック共焦点センサ用のレンズ構成を提供する。
【解決手段】熱補償を含む色分散レンズ構成が色範囲感知用のクロマティック共焦点センサ光学ペンに用いられ得る。レンズ構成は負の屈折力の複レンズおよび正の屈折力のレンズ部分を含み得る。正の屈折力のレンズ部分は、クロマティック共焦点センサ光学ペンの全体的な熱感度を補償する少なくとも２つのレンズ素子を含む。熱感度を補償する正の屈折力のレンズ部分のレンズ素子は、小さくても１０ｐｐｍ／℃の範囲にある平均熱焦点ずれ係数を有する。レンズ構成は、標準の市販のクロマティック共焦点センサ光学ペンに適合する一方、色範囲感知に十分な光学性能レベルを維持する寸法で実装できる。 （もっと読む）

【課題】上述のような液体レンズを用いて、ワークに対する画像処理を適切に行うことが可能な画像処理方法および画像処理装置を提供する。
【解決手段】液体レンズへの駆動電圧の印加後、撮像部に画像データを順次生成させるとともに、これらの画像データを記憶する。そして、記憶した画像データに対して合焦判定を行って、その合焦判定の結果に基づいて、後段の画像処理に適切な（１または複数の）画像データおよび／または（１または複数の）部分画像を選択する。さらに、選択された画像データまたは部分画像を用いて、画像計測処理や画像合成処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光軸方向において、投射光学系の小型化を図り得る情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置は、所定波長帯域のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、レーザ光源から出射されたレーザ光を平行光に変換するコリメータレンズ１１２と、目標領域から反射された反射光を受光して信号を出力するＣＭＯＳイメージセンサ１２５と、ＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される信号に基づいて目標領域に存在する物体の３次元情報を取得するＣＰＵとを備える。コリメータレンズ１１２の出射面１１２ｂに、レーザ光を回折によりドットパターンを持つレーザ光に変換する光回折部１１２ｃが一体的に形成されている。 （もっと読む）

【課題】トナーパターンのトナー濃度や位置を、より高精度に検出できる反射型光学センサを提供する。
【解決手段】発光部Ｅ１〜Ｅ９を配列した照明系と、受光部Ｄ１〜Ｄ９を配列された受光系と、共に平凸形状の照射用マイクロレンズアレイＬＥ１〜ＬＥ９および受光用マイクロレンズアレイＬＤ１〜ＬＤ９とを有し、照射用マイクロレンズの光軸は、対応する発光部Ｅ１〜Ｅ９の中心を通り発光部に垂直な発光部軸に平行で、この発光部軸に対して受光系側へ所定距離ずれ、各受光用マイクロレンズＬＤ１〜ＬＤ９の光軸は、対応する受光部の中心を通り受光部に垂直な受光部軸に対して平行で、受光部軸に対して、照明系に近づく側もしくは遠ざかる側にずれており、照射用マイクロレンズと受光用マイクロレンズとは、レンズ面積、レンズ面曲率半径、レンズ肉厚が、何れも互いに異なり、受光用マイクロレンズのレンズ面積が照射用マイクロレンズのレンズ面積より大きい。 （もっと読む）

【課題】小型で広い範囲の曲率を精度よく測定できる曲率測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体３を載置台５に載置し、レーザ発光器１０により発光されたビーム光をポリゴンミラー２２で等角速度走査し、ｆθレンズ５０を介して、被検査体３表面を走査する。被検査体３表面から反射されたレーザ光をシリンドリカルレンズ６０で集光し、載置台５の一点から等距離で、互いの距離が一定である位置に配置され、被検査体３から反射されるビーム光を検出する２つのビーム光検出センサ（第１及び第２レーザ光検出センサ３０，３２）でレーザ光を検出した時間差及び２つのビーム光検出センサ３０，３２の間の距離ｄ２、被検査体３表面からの距離Ｌに基づいて、被検査体３の表面の曲率を算出する。 （もっと読む）

【課題】露光工程のスループットを高め、基板の複数のパターン形成領域に互いに異なるパターンを露光できるようにする。
【解決手段】シート基板Ｐの露光装置であって、シート基板Ｐを走査方向Ｄ１に移動する基板駆動装置１０と、マスクＭ１〜Ｍ３を保持して上面ＭＢａに沿って移動するマスクステージＭＳ１〜ＭＳ３と、駆動対象のマスクステージＭＳ２の走査方向Ｄ２の位置情報を計測する干渉計３３ＸＡ，３３ＸＢと、この計測結果に基づいて、マスクステージＭＳ２を走査方向Ｄ２に移動する駆動装置と、マスクステージＭＳ１〜ＭＳ３の走査方向Ｄ２の位置を相互に入れ替えるステージ入れ替え装置２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定部の振動の影響を好適に除去し、高精度の形状計測を行うことのできる形状計測方法及び形状計測装置を提供する。
【解決手段】測定部表面７に当てられた光スポットの散乱光を結像レンズにて集光するとともに、その集光位置の変化から測定部表面７の形状を計測する方法であって、散乱光を結像して得られた光スポットを光位置センサー９で直接受光してその集光位置の変化を計測するとともに、上記散乱光を結像して得られた光スポットをスリット１１を介して光位置センサーで受光してその集光位置の変化を計測し、それら計測した集光位置の変化量の差分から測定部表面７の形状を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】 参照光と被検光との相対位置及び光路長差を独立して調整することにより、被検物の面位置を高精度に計測する。
【解決手段】 白色光源からの光を用いて被検物の表面の位置を計測する計測装置は、白色光源からの光を参照光と被検光とに分割し、被検光と参照光とを合成する光学系と、被検光と参照光との干渉光を検出する検出器と、参照光又は被検光の光路内に配置された光学部材であって、参照光と被検光との光路長差及び相対位置とを変更するための光学部材と、光学部材の位置を可変とする位置可変機構とを有する。位置可変機構を用いて光学部材の位置を変更することにより参照光と被検光との光路長差及び相対位置を独立して調整する。 （もっと読む）

【課題】被計測物体の表面に微少な面角度の変化があっても、均一な強度の反射光を得ることができる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】被計測物体２を境とする一方側にレーザ装置１１を他方側にカメラ１２を設け、カメラ１２に画像処理装置１３を接続する。レーザ装置１１と被計測物体２間にレンチキュラレンズ７１を配設し、レンチキュラレンズ７１を透過したレーザライン光２３を被計測物体２に照射する。レンチキュラレンズ７１を、平板８１とシリンドリカルレンズアレイ８２で構成し、シリンドリカルレンズアレイ８２を、複数のシリンドリカルレンズ部８３，・・・で構成する。各シリンドリカルレンズ部８３，・・・を半円柱状に形成し、その周面を平面部８４と曲面部８５で構成する。平面部８４が平板８１に面接して固定し、各シリンドリカルレンズ部８３，・・・を幅方向に密着して並設する。 （もっと読む）

【課題】 正確かつ簡単にディストーションを求めることができ、正確な面形状を測定することができる面形状計測装置を提供すること。
【解決手段】 光源からの光を測定光と参照光とに分割し、被測定面で反射した測定光と参照光とが干渉することで形成される干渉縞に基づいて、被測定面の形状を測定する面形状測定装置は、干渉縞を撮像する第１の撮像素子と、測定光および参照光を第１の撮像素子に導く光学系と、光学系を経由していない光源からの光の光量分布を測定する第２の撮像素子と、第１の撮像素子で撮像した干渉縞に基づいて被測定面の形状を算出する算出手段とを備える。まず、光学系を経由した光源からの光の光量分布を、第１の撮像素子で測定する。そして、第１の撮像素子で測定した光量分布と第２の撮像素子で測定した光量分布とに基づいて、算出手段で算出される被測定面の形状を補正する。 （もっと読む）

【課題】校正用ターゲットを用いることなく、カメラ校正を実施することができるコークス炉壁観察装置のカメラ校正方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】カメラ３０をコークス炉１０内に挿入し、炉壁画像ＯＩを撮影し、炉壁画像ＯＩを視点変換処理して視点変換画像ＴＩを生成するコークス炉壁観察装置における、カメラ３０の取り付けを校正するために、コークス炉１０の形状を指標としてカメラ校正を行う。カメラ３０の取り付け誤差の影響のない視点変換画像ＴＩを生成することができ、炉壁全体画像ＷＩの合成を行っても視点変換画像ＴＩの繋ぎ目で不一致が生じることがない。校正用ターゲットを高温となるコークス炉内に設置する必要がない。 （もっと読む）

【課題】ゴースト光に起因した干渉計の測定制度の低下を抑制することができる干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計は、光源と、前記光源から射出された光のうち第１偏光成分を参照光として反射し、第２偏光成分を測定光として透過する第１偏光ビームスプリッタと、前記光源と前記第１偏光ビームスプリッタとの間に配置された複屈折材料の素子と、前記第１偏光ビームスプリッタを透過し被検面である反射面で反射され前記第１偏光ビームスプリッタを透過した測定光と前記第１偏光ビームスプリッタで反射された参照光との干渉光を受光する受光素子と、を備える。前記参照光と前記測定光とは、前記第１偏光ビームスプリッタと前記受光素子との間で前記複屈折材料の素子を通過する。 （もっと読む）

【課題】フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計において、簡素な構成を用いて、容易かつ高精度な形状測定を迅速に行うことができるようにする。
【解決手段】位相増分Δφずつシフトして、ｎ個の干渉縞画像を取得して被測定面の形状を算出するフリンジスキャン干渉縞計測方法であって、位相増分Δφを細分する位相量でシフトして候補画像を取得する候補画像取得工程（ステップＳ１）と、各候補画像の同一位置における輝度変化を取得する輝度変化取得工程（ステップＳ２）と、この輝度変化を用いて位相変化を算出する位相変化算出工程（ステップＳ３）と、位相量が、Δφ・（ｋ−１）（ただし、ｋ＝１，…，ｎ）の近傍の複数の候補画像を補間演算用画像として選択する補間演算用画像選択工程（ステップＳ４）と、この補間演算用画像を用いて補間演算を行うことにより、前記ｎ個の干渉縞画像を取得する干渉縞画像算出工程（ステップＳ５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】高輝度パルス光源構成を提供する。
【解決手段】高輝度光源構成は、長寿命を有し高速度で変調することができる。本構成は、アクチュエータに取り付けられた可動部材と、可動部材に関連する発光蛍光体領域と、放射光出射領域に対し固定された点において発光蛍光体領域を照射する入射光源と、可動部材アクチュエータと入射光源を制御する光源制御装置と、を含む。入射光源（例えばレーザー）は照射スポットに高輝度入射光を供給し、発光蛍光体領域に高輝度出射光を放射させる。発光蛍光体領域は消光と光退色を低減するように照射スポットに対して動かされ、これにより光源構成の寿命を延ばす。蛍光体領域は広帯域光を放射することができる、および／またはそれぞれのピーク波長を放射する蛍光体を有するそれぞれのサブ領域を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】線幅測定においてインラインで測定可能な測定技術を提供し、線幅の変化を抑えた高精細カラーフィルターを低コストで供給可能な製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】透明基板上に該透明基板とは異なるＯＤ値を有する規則的な遮光パターンが形成された被測定物における該遮光パターンの線幅を測定する測定装置であって、該被測定物を支持するステージと、該遮光パターンの所定領域を撮像する撮像手段と、該被測定物に対して、該撮像手段と反対側から白色光を照射する照明手段と、該撮像手段で撮像した画像データを画像処理する画像処理手段と、該画像処理手段によって得られたデータから遮光積算量を算出する算出手段と予め測定した遮光パターンの線幅と遮光積算量のデータを格納するデータ格納手段と、該算出手段により算出された遮光積算量と、該データ格納手段に格納された線幅と遮光積算量の関係から前記遮光パターンの線幅を算出する演算手段を備えることを特徴とする線幅測定装置。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、有効測定範囲を認識可能で高精度な測定を実現できる光学式寸法測定装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出力する発光部１０と、レーザビームによりワークＸが配置される測定領域を走査する走査部２０と、測定領域を通過したレーザビームを受光する受光部３０と、受光部３０で得られた走査方向の明暗パターン（受光信号）からワークＸの寸法を算出する寸法算出プログラム５１２と、を備えた光学式寸法測定装置１００において、レーザビームの走査中における点灯区間及び消灯区間をユーザ操作により設定するためのキーボード４８と、設定された点灯区間及び消灯区間におけるレーザビームの点灯制御を行う点灯制御プログラム５１１と、を備え、寸法算出プログラム５１２は、点灯区間を測定領域中の有効測定範囲とし、有効測定範囲における受光信号からワークＸの寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】位置感知光検出器を使用する線形変位センサを提供する。
【解決手段】位置感知装置は、ソース拡散光を光軸方向に沿って検出器に放射する光源と、光源と検出器のとの間に位置決めされ、光軸方向に垂直に移動する移動アパーチャ機構とを備える。移動アパーチャ機構は、ソース拡散光を角度的にフィルタリングして透過し、検出器上に測定スポットを形成する第１および第２の制限アパーチャを備える。検出器により出力される少なくとも１つの信号は、測定軸に沿った可動部材の位置を示す。測定スポットを形成する角度フィルタリング済みの光線の角度強度分布は、ソース光の角度強度分布よりも、測定軸に沿った位置に応じてより均一化している。結果として生成される、測定スポット内の測定範囲全体を通して均一な強度分布は、測定の線形性および精度を高める。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクトセンシングで物体の移動状態を高精度で且つ確実に検出すること。
【解決手段】 搬送ベルトには複数の孤立パターンから構成される検出用パターンがマーキングされている。第１画像データから切り出したテンプレートパターンに含まれる検出用パターンの一部が、いかなる場合も第２画像データのサーチ領域内で唯一の固有パターンとなるように、検出用パターンの中の複数の孤立パターンの形態、テンプレートパターンを切り出すテンプレート領域のサイズ、サーチ領域のサイズが関係付けられている。 （もっと読む）

【課題】対象物体に動きがある場合であっても測定精度の低下を抑止すること。
【解決手段】投影装置がそれぞれ異なる第一〜第三模様を物体に対して投影する状態で繰り返し遷移し、撮像装置が第一〜第三模様が投影された物体の画像をそれぞれ生成し、立体形状測定装置が各画像において、各ピクセルの輝度値の時間変化を表す波形の位相をピクセル毎に算出し、異なる撮像装置によって撮像された各画像において、各ピクセルの輝度値及び位相に基づいて、物体の三次元空間上の同一点が撮像された画像平面上のピクセルの対応付けを行い、各対応点の画像上の座標に基づいて物体の立体形状を測定する。 （もっと読む）