【課題】回折を用いる場合に所望の次数の回折光の全ての波長を検出に利用できるようにする。
【解決手段】反射光のうちワーク１表面付近で焦点を結んだ光以外の光の通過を規制する光ファイバ１２１と、光ファイバ１２１を通過した反射光を同一平面内に広がる回折光に分岐させる回折光学素子１２２と、回折光に含まれる１次回折光と高次回折光とのうちで１次回折光のみを検出する１次回折光検出手段１３０とを有する高さ検出手段１２０を備え、１次回折光検出手段１３０は、回折光を集光する回折光集光レンズ１３１と、集光される回折光を、同一平面外の方向へ波長毎に異なった角度で屈折させる波長分散フィルタ１３２と、１次回折光が集光される箇所にのみ検出部を有し、１次回折光のみの波長毎の光強度を検出する波長検出センサ１３３と、色収差レンズ１０２によって集光される白色光の各波長の焦点距離を記憶した制御マップを格納するメモリ１３４とを含む。 （もっと読む）

物体（８）の、特に、半透明な物体の少なくとも１つの部分の形状、例えば、歯の部分の形状を、好ましくは広帯域スペクトルを有する光を発生させるための光源（１）と、多焦点の照射パターンを作成するための装置（３）と、照射パターンの複数の焦点を物体に結像するための、大きな色収差を有する対物レンズ（６）と、対物レンズを介して物体に共焦点に結像される複数の焦点の波長スペクトルを決定するための検出装置（１０）とを用いて、測定するための方法であって、各々の波長スペクトルから、各々の焦点のスペクトルのピーク位置を決定し、該ピーク位置から、結像光線（Ｚ座標）の方向における物体の広がりを計算し、多焦点の照射パターンを、光源（１）と、大きな色収差を有する対物レンズ（６）との間に設けられた複数のライトガイド（５）によって形成し、対物レンズ（６）は、ライトガイドの、物体側の端部を物体に結像し、物体から反射された光を、ライトガイドの物体側の端部に結像し、ライトガイドによって導かれかつ反射された光を、検出装置（１２）へ向ける。構造的に簡単な措置によって極めて正確な測定を行なうことができ、サンプル上の測定点のできる限り良好な分布のみならず、検出装置における最適なスペクトル分布を可能にすることが意図されることを達成するために、物体側の照射パターンは、物体側の測定点分布が、照射側および検出側のマイクロレンズの分布またはピンホールの分布に依存していないように、ライトガイド（５）を介して、形成されることが提案される。 （もっと読む）

捕獲粒子に作用する光学力を測定するための装置および方法。一実施形態では、本装置および方法は、顕微鏡の上または内部に配置されたチャンバの入口面と出口面の間において、単一の光ビームを用いて浮遊媒体中に浮遊する粒子を捕獲するように構成された光学顕微鏡の光学列中で使用することができる。この装置および方法は単一の収集レンズ系を使用し、この収集レンズ系は、チャンバ中に粒子を浮遊させるための浮遊媒体の屈折率以上の開口数を有し、浮遊チャンバの出口面近傍またはこの出口面と接触させて設置することができる。光検知デバイスは、収集レンズの後焦点面内または後焦点面の近くに配置されるか、あるいは後焦点面の光学等価物に配置され、収集レンズによって光検知デバイスの上に投影された光分布の重心のｘ座標とｙ座標から導出される、前記粒子に作用する光学力の測定値を直接または間接に生成することができる。
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【課題】タイヤ内面の検査において、ハレーションを抑制してタイヤ内面のキズや汚れ及び異物などの検出精度を向上させるタイヤ内面検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ内面検査装置が、タイヤ内面の一方のタイヤサイド側に光を照射する第１照射手段とタイヤ内面の他方のタイヤサイド側に光を照射する第２照射手段と、第１照射手段の照射面に取り付けられる第１偏光手段と第２照射手段の照射面に取り付けられる第２偏光手段と、第１照射手段と第２照射手段が照射する光に基づき一方、他方のタイヤサイドを含むタイヤ内面を撮像する撮像手段とを備え、撮像手段が第１照射手段と第２照射手段によってタイヤ内面に照射された光のタイヤ内面からの反射光を偏光する撮像用偏光手段を備える。 （もっと読む）

【課題】記録材の表面に光を照射して記録材の表面状態を検出する記録材表面検出装置、及びそれを備える画像形成装置において、その検出精度を向上させ、良好な画像品質を得る。
【解決手段】照射用ＬＥＤ４２、導光体４５Ｌ、ＣＭＯＳラインセンサ４３Ｌ、及び駆動・演算部を有する記録材表面検出装置４０であって、導光体４５Ｌは、記録材Ｐに当接して記録材Ｐを支持する導光体上流部４５Ａ、導光体下流部４５Ｂと、凹部４５Ｓと、を有しており、撮像領域を挟んだ両側の撮像領域外において導光体上流部４５Ａ、導光体下流部４５Ｂが記録材Ｐを支持し、撮像領域が凹部４５Ｓと対向することで撮像領域が導光体４５Ｌに接触せず、導光体４５Ｌによって導かれた光が記録材Ｐの表面に対して斜めから入射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】計測レンジを維持しつつ、計測可能な高さを簡便に拡張する。
【解決手段】計測対象に投影された、位置に応じて周期的に輝度が変化する光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測システムは、計測対象の高さの基準面を有する取付台に計測対象が取り付けられ、計測ヘッドが計測対象および基準面に光パタンを投影して撮像し、変位部が計測ヘッドを高さ方向へ変位させる。撮像された画像の或る画素における光パタンの位相を位相算出部７５が算出し、算出された位相に基づいて高さ算出部７７が計測対象の高さを算出し、算出された高さに基づいて送り量算出部７８が変位部を変位させるべき変位量を算出する。高さ算出部７７は、位相算出部７５が算出した位相に基づいて高さを算出し、算出した高さを、変位量に基づいて補正することにより、計測対象の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】光導電性感光体におけるフィラー微粒子を分散させた表面層の膜厚及びフィラー微粒子を分散させた表面層を含む感光層の膜厚を、同時に且つ精度良く確実に測定すること。
【解決手段】中間層及び感光層を有し、感光層の所定厚さ部分が表面層として形成された光導電性感光体の膜厚を測定する際に、光源からの光を光導電性感光体に垂直入射し、表面層表面において反射した第１の反射光と、中間層表面において反射した第２の反射光とが干渉した第１の干渉光、及び、第１の反射光と、入射光の中で表面層の中間層側の面において反射した第３の反射光とが干渉した第２の干渉光を、分光手段に導いて分光し、分光した分光スペクトル強度から反射率を演算する際に、反射率を任意の大きさに拡大することにより干渉波形を求め、干渉波形の低周波成分に基づき表面層の膜厚を演算算出し、干渉波形の高周波成分に基づき感光層の膜厚を演算算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テーパ孔や、孔の軸線が傾いていても正確に孔形状を測定できる孔形状測定方法を目的とする。
【解決手段】第１の測定位置となる孔円周面の３点以上の箇所に同時または逐次測定光を照射し、反射光を導光部材により結像レンズに導き受光素子に導光し、受光素子の受光位置に基づき光学式プローブの軸線から孔内周面までの距離a、b、ｃ・・を求め、光学式プローブをプローブ軸方向の第２の測定位置に移動して前記と同様に光学式プローブの軸線から孔内周面までの距離a1、b１、c１・・ を求め、得られた距離aとa1、距離bとｂ１、距離cとｃ１・・との各比が異なる場合、光学式プローブの軸線と孔の軸線が一致していない、あるいは平行になっていないと判定し、距離aとa1、距離bとｂ１、と距離cとｃ１・・間の各傾き角度を求め、各傾き角度から測定位置のずれを補正して第１と第２の測定位置の中心座標から第１と第２の測定位置の孔内径を求めて孔形状を得る。 （もっと読む）

【課題】干渉計による２次元位相デ−タのアンラップ方法および装置において、データの欠落があっても有効領域内の２次元位相データ全体をアンラップすることができるようにする。
【解決手段】同一のオフセット値を有すると見なすことができる２次元位相データの集まりである共通オフセット位相データ群を生成する共通オフセット位相データ群生成工程Ｓ１０と、共通オフセット位相データ群の各オフセット値ｚ_０ｉに対応するパラメータＺ_１＿ｉをフィッティング関数を仮定して推定するオフセット推定工程Ｓ１１と、推定された各パラメータＺ_１＿ｉのうちいずれか、またはＺ_１＿ｉによる加重平均位相を基準位相値Ｏとして、ｚ_０ｉ＝２π・ｒｏｕｎｄ｛（Ｚ_１＿ｉ−Ｏ）／２π｝を算出し、このオフセット値ｚ_０ｉを共通オフセット位相データ群からそれぞれ減算して２次元位相データを生成するアンラップ工程Ｓ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】深い測定の深度と高い測定の分解能の双方を両立することができる形状測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光源から出射した光を平行光にし、その平行光を２つに分岐し、分岐した光の１つを円錐レンズにより距離に亘って光軸上のエネルギー密度が極大になる光（ビーム）に変え被測定物の表面に照射し、分岐した光のもう１つは参照ミラーに照射し、被測定物の表面に照射した光（ビーム）の後方散乱光と、参照ミラーからの反射光の干渉光を検出することで被測定物の形状を測定する。 （もっと読む）

本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】形状の変化幅が数μｍを超えるような被検面を短時間で測定することが可能で、かつ装置構成が簡易なミロー型干渉計装置を得る。
【解決手段】光源部１０は、その出力光の可干渉距離が５０μｍ以上１０００μｍ以下となる中コヒーレント光源が用いられる。また、参照ミラー１４は、光透過率が８０％以上９８％以下となるように形成されている。さらに、ビームスプリッタ１６の光軸Ｚ方向の厚みｔ_Ｂが、上記出力光の可干渉距離の２分の１よりも大となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】情報機器の入力装置などにおいて、３次元化されたアプリケーションに対する奥行方向のカーソル等の移動の不自然さを解消する。
【解決手段】本発明では、複数のレンズが略平面状に配列されたレンズアレイと、該レンズアレイに対して垂直方向に移動する被写体について、前記レンズアレイの複数のレンズによりそれぞれ結像される個眼画像の集合である複眼画像を取得する撮像素子とからなる複眼撮像手段と、該複眼撮像手段で取得される複眼画像を時系列に入力して、該複眼画像の個眼画像間の画像シフト量を順次算出するシフト量算出手段と、該シフト量算出手段で算出された第１の時刻の画像シフト量と、該第１の時刻と異なる第２の時刻の画像シフト量とにもとづいて、前記被写体の移動量を算出する移動量算出手段とを備えることを基本構成とする。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが限られていても測定しやすい干渉計を提供すること。
【解決手段】レーザ光源２からの光Ｌ１を参照面７２１に入射させるとともに被測定物４に入射させ、偏光面が直交する参照光Ｌ４および測定光Ｌ５を得、それらの合波光Ｌ６を射出するセンサヘッド７が、レーザ光源２などを備える本体部１０に、可撓性を有する偏波保存ファイバ３０９により接続されているので、センサヘッド７を適宜の位置に配置でき、設置スペースが限られていても簡単に被測定物４の変位量を測定できる。また、センサヘッド７が、偏光面を保存して導光する偏波保存ファイバ３０９により本体部１０と接続されているので、センサヘッド７から射出された合波光Ｌ６が偏波保存ファイバ３０９を透過する際に、参照光Ｌ４および測定光Ｌ５の偏光面が互いに直交した状態のまま保存される。そのため、合波光Ｌ６から被測定物４の変位量を正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面で各地点の微細な高さ変化（段差）や突出、凹入、表面損傷、表面粗さなどの表面状態を正確に測定できる光学式表面測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】干渉計の信号及びＰＳＤの焦点誤差信号を共に利用することで、測定対象物の微細な表面状態をより正確に測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高さ調整可能なヘッドレストを備えたシートを含む車室内の状態をより適正に認識する。
【解決手段】本発明の車室内状態の認識装置は、高さ調整可能なヘッドレスト５１〜５６を備えたシート２〜６を含む車室内に赤外線を照射する赤外線照射手段１５と、この赤外線照射手段１５から赤外線が照射された車室内を撮像する撮像手段１６と、この撮像手段１６により撮像された画像に基づき所定の情報を認識する画像認識手段１８とを備えている。上記撮像手段１６による撮像対象には、上記ヘッドレスト５１〜５６を含むシート２〜６の上部と、該シート２〜６に着座した着座乗員（Ａ〜Ｄ等）とが含まれ、上記画像認識手段１８は、上記撮像手段２により撮像された上記ヘッドレスト５１〜５６の画像に基づいて、上記着座乗員に対するヘッドレスト５１〜５６の高さを判定する （もっと読む）

【課題】装置のサイズを大きくすることなく、口腔内を高精度に測定することを可能にする口腔内測定装置及び口腔内測定システムを提供する。
【解決手段】口腔内の少なくとも歯を含む被測定物に光を照射する投光部と、前記被測定物で反射された光を集光させるレンズ系部と、前記レンズ系部が集光した光の焦点位置を変化させる焦点位置可変機構と、前記レンズ系部を通過した光を撮像する撮像部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に写った矩形枠の四つ角を撮像画像の歪みの影響によらず正しく検出可能な「画像処理装置および矩形枠の四つ角検出方法」を提供する。
【解決手段】輪郭形状抽出部３１によって撮像画像中から抽出された輪郭形状２０２の内部を塗り潰す塗り潰し部３２と、塗潰し画像２１０の外周に沿って円形の走査点２２０を１画素ずつ順次走査させ、各走査点２２０の周囲に設定した検出枠２２１のコーナー値を算出するコーナー値算出部３３と、全走査点２２０に対応するコーナー値のうち、値が小さい方から４つに対応する走査点２２０を輪郭形状２０２の四つ角として検出する四つ角検出部３４とを設け、矩形枠が写った撮像画像中の輪郭形状に外接する長方形の中心点からの距離とは無関係に、輪郭形状の中で最も角度が小さい方から４つの点を矩形枠の四つ角として検出することができるようにする。 （もっと読む）

【課題】紫外光を含む波長域において高解像な画像を取得可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置の撮像部３５が、ステージに支持されたウェハを撮像するための可視光用撮像素子３８と、ステージに支持されたウェハの表面からの紫外光を受光し、紫外光によるウェハの像を中間像として結像させる対物レンズ３６と、対物レンズ３６により結像した中間像を可視光による中間像に変換する蛍光板４３と、可視光による中間像を可視光用撮像素子３８の撮像面上に結像させる結像レンズ４４とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計は、ワークＷの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するＣＣＤ３１を有する干渉計本体と、ＣＣＤ３１により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部７０と、表示部７０に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）