【課題】高速，かつ高精度に試料上の微小突起物の高さ検査を行えるようにする。
【解決手段】光源201からの光は第１のハーフミラー221、偏光器202、結像レンズ203,204、折り返しミラー205、対物レンズ206を介して試料2001に入射する。試料2001からの反射光は同一の経路を逆に通り、第１のハーフミラー221で反射し、第２のハーフミラー222で2本の検出ビームに分割される。2本の検出ビームは各々第１の検出側結像レンズ2081における第１のナイフエッジ2071と第２の検出側結像レンズ2082における第２のナイフエッジ2072によって半円状の光ビームに整形され、各々第１の光センサ2101と第２の光センサ2102によって検出される。第１のナイフエッジ2071と第２のナイフエッジ2072は直角方向となっているので、試料2001への入射ビームの偏向方向によらず均一な感度で，試料上の微小突起物の検査を高速で行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有する長丈材を測定対象物とする場合に表面欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】測定対象物の表面の幅方向に延びる線状光を照射して、ＴＤＩカメラ３０により測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を得て、測定対象物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査に際して、光切断画像を順に配列することにより得られる縞画像から測定対象物の表面形状を表す形状画像した後、事前処理部１０１は形状画像上の凹凸部を抽出し、形状補正処理部５０８は形状画像から事前処理部１０１で抽出された凹凸部を取り除いた形状画像に対してフィッティング曲線を求めるフィッティング処理を施し、そのフィッティング曲線と、形状画像との差分演算を行い、欠陥検出処理部５０９は形状補正処理部５０８の差分演算で得られたデータに基づいて、測定対象物の表面欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の側面の全周検査を、１台のＣＣＤカメラを用いて高速かつ効率的に精度良く行えるようにすることを課題としている。
【解決手段】外径面２ａが鏡面、内径面２ｂがプリズム面として構成されたコーンレンズ２と、カメラ１と、環状光源３を有し、これ等が検査部中心Ｃと同軸上に配置され、環状光源３からの照明光をコーンレンズ２に通し、内径面２ｂ、外径面２ａで順に反射させて検査部Ｂに導き、その照明光で検査部Ｂに送り込まれる被検査物Ａの搬送面１０ａ上に置かれた部分の外周の側面を照明し、その側面の全周の画像を前記外径面２ａ、内径面２ｂで順に反射させてカメラ１に取り込むようにした。 （もっと読む）

【課題】三次元位置測定の測定精度を向上させる。
【解決手段】対物レンズ２２によりサンプル１２が拡大され、撮像部１５によりサンプル１２が撮像される。また、偏向部材３３は、対物レンズ２２の瞳の位置近傍に配置され、対物レンズ２２を介してサンプル１２からの光の一部を偏向して撮像素子４１の撮像面Ｓ２に向かわせる。そして、調整機構３５は、偏向部材３３の位置を、少なくとも対物レンズ２２の光軸方向に調整する。また、撮像部１５により撮像された画像が解析され、偏向部材３３を介さずに撮像面Ｓ２に到達した観測光によるサンプル１２の像と、偏向部材３３により偏向されて撮像面Ｓ２に到達した観測光によるサンプル１２の像との位置関係から、サンプル１２の三次元的な位置が検出される。本発明は、例えば、一分子生理学あるいは生物物理学で用いられる三次元位置検出装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板の目視検査を容易にする検査装置の提供
【解決手段】この検査装置１００は、検査ステージ１０２と、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす駆動機構１４１を備えている。さらに、この検査装置１００は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す観察部１０８を備えている。この検査装置１００によれば、ガラス基盤１０の目視検査が容易になる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの光軸に沿って、被検物を移動することなく、被検物の形状を測定できるようにする。
【解決手段】MLA１２は、対物レンズ１１の瞳面又は結像面に配置され、撮像素子１３は、MLA１２の背後に設置され、被検物像を撮像する。ズーム用レンズ駆動装置５１は、ズーム用レンズＺＬの移動によって被検物の像の大きさを拡大又は縮小し、合焦レンズ駆動装置５２は、合焦レンズＦoＬの移動によって被検物に焦点を合わせる。演算処理回路３４は、撮像素子１３の出力から複数の測定画像を生成し、MLA１２に配列された複数のＭＬの各々に対応する撮像素子１３の撮像領域を構成する画素のうち、対物レンズ１１の主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を補正情報として用いて、被検物の形状を測定する。本発明は、被検物の３次元の形状を計測する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの光軸に沿って、被検物を移動させることなく、被検物の形状を測定できるようにする。
【解決手段】MLA１２は、対物レンズ１１の瞳面又は結像面に配置され、撮像素子１３は、MLA１２の背後に設置され、対物レンズ１１による被検物像を撮像する。レンズ駆動装置４２は、被検物の各測定点までの距離情報に応じた量だけ、対物レンズ１１を光軸方向に移動させて、被検物に焦点が合うようにする。演算処理回路３４は、撮像素子１３の出力から複数の測定画像を生成し、MLA１２の２次元状に配列された複数のＭＬの各々に対応する撮像素子１３の撮像領域を構成する画素のうち、対物レンズ１１の主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を、測定画像の補正情報として用いて、被検物の３次元の形状を測定する。本発明は、被検物の３次元の形状を計測する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】大量のスループットを可能にする高速プロセスを有する光学検査システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源１０１からの光ビーム１５１は、活性領域を有し、複数の移動レンズを活性領域に選択的に生成するようにＲＦ入力信号に対して応答する移動レンズ音響光学デバイス１０４に適用される。該音響光学デバイスは、生成された移動レンズの各々の焦点のそれぞれで、光ビームを受け、複数のフライングスポットビームを生成するように動作する。該ポットビームは半導体ウェハ１０８を走査する。使用可能な走査データを生成するために、複数の検出器セクションを有する光検出器ユニット１１０が使用され、各検出器セクションは、複数の光検出器と、複数の光検出器からの入力を並列に受けるように動作する少なくとも１つのマルチステージ格納デバイスとを有する。格納デバイスの各々に格納された情報は、複数のステージから同時に連続して読み出される。 （もっと読む）

【課題】干渉計の複雑化、コスト高を招くことなく、短時間で非球面形状の評価を精度良く行うことのできる非球面レンズの形状評価方法を提案すること。
【解決手段】非球面レンズの形状評価システムＳは、平行測定光の一部の光成分を参照面５ａに照射し、残りの光成分をヌルレンズ６を介して非球面レンズ７の被検非球面７ａに照射する。被検非球面７ａで反射してヌルレンズ６を介して戻る戻り測定光と、参照面５ａで反射して戻る戻り参照光とを干渉させて干渉縞を形成する。干渉縞に基づき被検非球面７ａの形状を評価する。ヌルレンズ６は単レンズからなり、その第１レンズ面６ａが被検非球面７ａの規格非球面と略相似の非球面であり、その第２レンズ面６ｂが当該ヌルレンズのレンズ光軸６ｃに垂直な平面である。 （もっと読む）

【課題】サファイアや石英等の可視光に対して透過性を有する材料で形成されたワークであっても、ワークの上面高さ位置を確実に精度高く検出できるようにする。
【解決手段】ワークＷに照射された環状のスポット形状を有するレーザビームは、ワークＷの上面および下面で反射するが、ワークＷの下面で反射した環状のスポット形状の反射光はピンホールマスク４５によって遮断し、ピンホールマスク４５を通過したワークＷの上面で反射した環状スポット形状の反射光に基づいて受光強度を検出するので、ワークＷが可視光に対して透過性を有する場合であってもその上面高さ位置を検出できる。この際、ワークＷの上面で反射した環状スポット形状の反射光に関してレーザビーム拡散手段４６で拡散された強度を所定面積の検出面４７ａを有する検出手段４７で検出することで、環状スポット形状にバラツキがあっても、ワークＷの上面高さ位置を確実に精度高く検出できる。 （もっと読む）

可視光干渉パターンの様々な使用が提供される。適した干渉パターンは、絞りのパターンからの回折により形成されるパターンである。本明細書中で開示される典型的な使用は、並進及び／又は角度位置決定システムなどの空間計測学に関連する。更なる使用は、光自体の特性の解析（例えば、電磁放射線の波長の決定）を含む。更なる他の使用は、光が通過する物質の１つ以上の特性（例えば屈折率）の解析を含む。干渉パターンの一部がＣＣＤチップなどの画素化された検出器で捕らえられ、捕らえられたパターンが計算されたパターンと比較される。最大値間の間隔の非常に正確な測定が可能であり、したがって、干渉パターン中における検出器の位置の非常に正確な測定を行なうことができる。
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【課題】有意な検出情報が得られる対象物（光源１００）の位置の範囲を拡大し、広範囲にわたる対象物の位置を計測可能な位置計測システム等を提供する。
【解決手段】光源１００からの光を透過してリング状の光集中領域を形成するレンズ２１０と、このレンズ２１０により形成された光集中領域を検出する受光素子２２０と、この受光素子２２０により検出された光集中領域の検出情報に基づいて光源１００の位置を計測する演算装置３００とを備える。レンズ２１０は、光源１００側から数えた第１面における３次の像面湾曲収差係数が正であり、第２面における３次の像面湾曲収差係数が負であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】白色干渉を用いた被測定物の表面高さの測定において、短時間で測定光束の焦点位置を調節可能な寸法測定装置を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２と、白色光源２から放射された光を、被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割する光線分割素子３と、光線分割素子３から出射された参照光束の光路長を変化させる参照光走査光学系５と、測定光束内に配置された焦点可変レンズ４１と、測定光束の光路長と参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、その干渉信号に対応する信号を出力する検出器６と、参照光束の光路長と測定光束の光路長が等しいときに測定光束が反射される位置において測定光束が焦点を結ぶように、焦点可変レンズ４１の焦点距離を調節し、かつ干渉信号の最大値に対応する参照光束の光路長を求めることにより、被測定物の表面高さを求めるコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定方法および装置において、検査効率および測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定装置５０は、フィゾー面４ａ、被測定面５ａをコンフォーカル状態とキャッツアイ状態の各調整目標位置の間および近傍で光軸Ｃ方向に相対移動させる直動ステージ１６、ピエゾ素子９と、相対移動位置を測定するレーザー測長器１２と、被測定面５ａを光軸Ｃ方向の少なくとも２位置に相対移動させ、干渉縞の画像情報に基づいて波面を測定し、この波面に対応する各相対移動位置の情報とともに記憶させる波面測定部と、波面を解析して位置ずれ評価値を算出する位置ずれ評価値算出部と、相対移動位置と位置ずれ評価値とにより、各調整目標位置の推定値を算出する調整目標位置算出部とを備え、これら調整目標位置の推定値の差から被測定面５ａの曲率半径を求める。 （もっと読む）

【課題】機械的な動作を低減することによって測定に要する時間を短縮し、且つモーションアーチファクトを抑制できる干渉測定装置を提供する。
【解決手段】干渉測定装置１は、複数の波長成分を含む光Ｐを出力する光源１１と、第１分岐光Ｐ_１が被測定物９により反射されて生じる第１反射光Ｒ_１と第２分岐光Ｐ_２が反射ミラー７３により反射されて生じる第２反射光Ｒ_２とを干渉させて当該干渉光ＲＩを出力する干渉光学系と、第１分岐光Ｐ_１の光路上に設けられた第１レンズ２１と、第２分岐光Ｐ_２の光路上に設けられた第２レンズ２２と、干渉光ＲＩの干渉パターンを撮像する撮像部５１とを備える。第１レンズ２１による各波長成分の焦点位置は第１レンズ２１の軸上色収差に起因して第１分岐光Ｐ_１の光軸方向に並んでおり、各波長成分毎に異なる光軸方向位置における干渉パターンを撮像部５１において撮像する。 （もっと読む）

【課題】
レーザ光源からの光束で物体表面を走査し、その反射光で物体表面形状を観察する装置で、倍率の変換と広範囲の走査を高品質で行う。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を光偏向器４、ｆθレンズ７を経て一旦、一次結像面１４に結像する。その光束を交換光学系２２を介して物体８に向かわせて走査していく。走査した反射光は往路に戻して受光部に１１に送られ、制御部１２から表示部１３に伝えられて表示される。この表示された画像を観察する。前記の交換光学系２２は中継レンズ２０と結像レンズ２１が鏡筒２３に収容された両側テレセントリックレンズとして構成される。そしてこの鏡筒２３を倍率ごとに準備し、交換自在として必要倍率の鏡筒２３をセットする。


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【課題】短時間のうちに光沢面の表面形状を正確に測定できる形状測定装置およびその形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、顕微鏡用試料台１６に載置された試料１５の表面像を撮像する撮像部２５と、撮像部２５の撮像光学系の光軸に沿って、撮像光学系を試料１５に対して周期的に相対移動させ、移動量を記憶して出力するピエゾ駆動制御装置と、表面像に試料１５の表面の凹凸を反映した試料１５の表面からの反射光の強度ムラを重ねる二光束干渉対物レンズ１４と、ピエゾ駆動制御装置から出力される撮像部２５の移動距離値の中、二光束干渉対物レンズ１４により反射光の強度ムラが重ねられた表面像を撮像する撮像部２５により撮像される複数の表面像の合焦度が最大となる移動距離値に基づいて、試料１５の表面の相対高さを演算して試料１５の表面形状を求める制御用プロセッサ２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ケーシング１０内に、レーザ光を照射するための複数の半導体素子１３，１４を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の前方に、該半導体素子１３，１４からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズ１５，１５を配置した表面検査装置であって、前記配置した全ての半導体素子１３，１４の前方に跨るように前記レンズ１５，１５を配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子１３，１４の角度を調整するための調整手段１９Ｋ，１９Ｋを備えた。 （もっと読む）

【課題】１台のカメラで同時に撮像した被写体の２次元画像群を基にして被写体の３次元情報を検出することを図る。
【解決手段】空間的又は時間的に強度変調された強度変調光を発生する距離検出用光源部１０と、被写体で強度変調光が反射された反射光を透過する複数のレンズ１５が多眼的に配置されたレンズアレイ１４と、複数のレンズ１５の各々を透過した透過光を２次元撮像素子の結像面で各々結像させて、複数のレンズ１５の各々に対応する被写体画像群を撮像し、該被写体画像群に基づいて被写体の３次元情報を検出する３次元カメラ１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】露光装置の構成の複雑化やコストの増加を抑えながら照度センサの位置を高精度に検出する。
【解決手段】露光装置ＥＸは、照明系ＩＬによって照明される原版１１のパターンを投影光学系１３によって基板１４に投影して基板１４を露光する。露光装置ＥＸは、照明系ＩＬによる照明領域を規定する遮光部材１０と、投影光学系１３の像面において照度を計測するための照度センサ１８の該像面における位置を検出する制御部ＣＮＴとを備える。制御部ＣＮＴは、投影光学系１３の像面に対して光が入射する位置が該像面に沿って移動するように遮光部材１０を移動させながら得られた照度センサ１８の出力に基づいて該像面における照度センサ１８の位置を検出する。 （もっと読む）