【課題】
コヒーレント照明イメージング・システムにおいて、スペックル雑音による画像の劣化を低減する。
【解決手段】
コヒーレント光源により照明されたオブジェクトの画像や、干渉縞パターンにより照明されたオブジェクトの画像等におけるスペックル雑音を低減する方法及び装置について記述した。一の方法では、投影軸に沿って投影されたコヒーレント放射の構造的な照明パターンによりオブジェクトが照明される。上記投影軸の角度方向が、画像取得期間に或る角度範囲において変調される。好ましくは、画像取得の間は、オブジェクトの表面に投影された構造的な照明パターンの形状特徴は変化せず、スペックル雑音の低減された画像が取得される。構造的な照明パターンとして、照明されたオブジェクトの表面情報を取得する３Ｄ測定システムにより生成される干渉縞パターンなどの縞パターンを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】膜厚測定対象が非平面でもテラヘルツエコーパルスのパルス幅の増大がなく、膜厚測定分解能が低下しない膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波パルスＬtを発生するテラヘルツ波発生手段１と、テラヘルツ波パルスＬtを膜厚測定対象に入射させる入射光学系５と、膜厚測定対象から反射されてくるテラヘルツエコーパルスＬteを受光する受光光学系６と、テラヘルツエコーパルスＬteのパルス幅を短パルス化する短パルス化手段１５と、テラヘルツエコーパルスＬteの電場振幅時間分解波形を検出する検出手段７と、を有する膜厚測定ユニット１７を備えることを特徴とする非接触膜厚測定装置。 （もっと読む）

【課題】光切断法による形状検査において、検査設備からの計測器の取外し等を必要とせず、検査精度に影響する検査設備についての誤差を確認・評価することができるステータコイルの形状検査方法を提供すること。
【解決手段】光切断法によるステータコイルの形状検査方法であって、撮像画像の取得に適した表面処理が施され、ステータコアに対するコイルエンドの形状に倣い所定の基準面（端面部３１ｂ）に対して略円環状に突出する部分として形成されるコイルエンド部３２を有するマスターワーク３０を用い、マスターワーク３０を検査設備にセットした状態で、スリット部５１を用い、スリット光１１がスリット５１ａに重なることを基準として、スリット光１１の照射位置の調整を行い、頂点形成部５２を用い、頂点形成部５２についての画像における頂点に対応する位置が撮像素子の中心の位置に重なることを基準として、撮像画像の撮像位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法およびシステム。
【解決手段】 このシステムは、光検査ヘッド、ウェーハテーブル、ウェーハスタック、ＸＹテーブルおよび振動絶縁装置を含む。光検査ヘッドは、複数の照明器、画像収集装置、対物レンズおよび他の光学部品を含む。このシステム及び方法は、明視野画像、暗視野画像、３Ｄ形状画像および検査画像の収集を可能にする。収集画像は、画像信号に変換され、かつ処理のためにプログラマブルコントローラに伝送される。ウェーハが動いている間、検査が実行される。収集画像は、ウェーハ上の欠陥を検出するための基準画像と比較される。基準画像を作り出すための例示的な基準作成プロセスおよび例示的な画像検査プロセスもまた、本発明によって提供される。基準画像作成プロセスは、自動プロセスである。 （もっと読む）

【課題】焦点検出部として従来とは異なる範囲に対する十分な分解能を有し、表面までの範囲（距離）の全体を検出することができ、設計上あるいは範囲要件の制限を解消できる焦点センサを提供すること。
【解決手段】焦点センサ１００は、照明光源１０からの照明光束１３を、コリメータレンズ１５、第１光束分割面２０、第２光束分割面２５、対物レンズ３０を経てワーク表面４０で反射させる。反射光束１３’は逆の経路を進み、第１光束分割面２０を透過して二重範囲焦点検出装置１１０に入射される。二重範囲焦点検出装置１１０は、高分解能焦点検出装置として高分解能サブ開口レンズ１２０Ａ，１２０Ｂおよび高分解能光検出器１３３Ａ，１３３Ｂを備え、広範囲焦点検出装置として広範囲サブ開口１２５および広範囲光検出器１３５を備える。二重範囲焦点検出装置１１０の入射部分にはリレーレンズ装置を設けてもよい。二重範囲焦点検出装置の代わりに単一拡張範囲のシャックハルトマン焦点検出装置を用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】
被検体測定面の水平面に対する傾きと、回転する被検体の場合には回転中心に対する偏芯をほぼ同時に検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を回転する被検体Ｄに向かわせ、その測定面ｄ１からの反射光をテレセントリック対物レンズ７で検出して対物レンズ１０で受光部１１に投影する傾き測定用光学系１３を形成する。また被検体測定面ｄ１に予め施した指標をテレセントリック対物レンズ７で検出して対物レンズ１０で受光部１１に投影する顕微鏡用光学系１５を形成する。
両光学系１３、１５を結合し、夫々が検出した像を共通の受光部１１に投影し、表示部Ｃに表示して測定する。


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【課題】繰り返しパターンの異常の原因を特定することが可能な評価装置を提供する。
【解決手段】評価装置１において、第１撮像素子３１は、検光子２１の透過軸の方位が偏光子１７の透過軸に対して９０度±３度の傾斜角度となるように検光子２１を回転させて、それぞれの条件でフーリエ画像を撮像し、演算処理部４０は、２枚のフーリエ画像における信号強度の差分に基づいて、ドーズ量の変化に起因する繰り返しパターン３の状態変化を検出し、２枚のフーリエ画像における信号強度の平均に基づいて、フォーカスの変化に起因する繰り返しパターン３の状態変化を検出するようになっている。 （もっと読む）

【課題】観察条件に関わらず、被測定物にピントが合う位置と、測定光路と参照光路との光路差０となる位置とを一致させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１４の膜下の表面にピントが合う位置において、参照光Ｌ１と測定光Ｌ２の２系統の光路差が０となるように、図３に示すように、アクチュエータ１６を駆動して、楔状部材１２ｂを光軸直交方向に移動させる。これにより、図３に示すように、楔状部材１２ａ、１２ｂの重合部の厚さが変化（Δ）するので、かかる重合部を通過する測定光Ｌ２の距離が変化し、これにより測定光Ｌ２の光路長を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機能液滴ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の着弾ドットの体積について、信頼性の高い測定結果を得ることができる着弾ドットの体積測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１の検査吐出により、検査基板に着弾した着弾ドット１０の体積を、干渉計９９を用いて測定する着弾ドット１０の体積測定方法であって、撥水性の異なる複数種の検査基板１６を用意し、周囲雰囲気の湿度と、測定のための着弾ドット１０が適正ドーム形状となる複数種の検査基板１６と、の関係を表した湿度−撥水性データ２０に基づいて、測定した周囲雰囲気の湿度に応じた１の検査基板１６を用いて、検査吐出および着弾ドット１０の体積測定を実施する。 （もっと読む）

【課題】いかなる形状の検出対象物であっても検出対象物のエッジ位置を高精度に検出することができ、空間フィルタとしての精度が高く、配置の自由度が高いエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】複数の波長の光を含む白色光を第１の光路１０９ａへ発する白色光源１０１と、第１の光路１０９ａに発せられた白色光に含まれる波長毎に被加工物１（検出対象物）に向けて光軸上に複数の焦点を形成する色収差集光レンズ１０２と、被加工物１で反射した白色光を第１の光路１０９ａとは異なる第２の光路１０９ｂに導く光ファイバ１０４と、この光ファイバ１０４により第２の光路１０９ｂに導かれた白色光の強度を検出する検出器１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】短時間にスペクトル測定を行うことができる光学顕微鏡、及びスペクトル測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様にかかる光学顕微鏡は、対物レンズ２３を介してレーザ光を試料２４に照射するステップと、対物レンズ２３を介して、試料で反射した反射光を検出するステップと、レーザ光の焦点位置を光軸方向に変化させるステップと、レーザ光の焦点位置を変化させたときの反射光の検出結果に基づいて、スペクトル測定を行う焦点位置を抽出するステップと、抽出された焦点位置になるように調整するステップと、焦点位置を調整した状態で、レーザ光の照射により試料から出射される出射光をレーザ光から分岐するステップと、レーザ光から分岐された出射光のスペクトルを分光器３１で測定するステップと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】一つの光線を二つの平行な光線に分割して各々の光線の断面径を測定する場合に、当該二つに分割した光線の空気換算長を光学部品の交換無しに変えることができる仕組みを提供する。
【解決手段】本発明の光線測定装置１は、入射光線を第１の光線と第２の光線に分割する分割手段１１と、第１の光線を折り返し方式で反射させる平面ミラー１２と、第２の光線を折り返し方式で反射させる平面ミラー１３と、第１の光線と第２の光線を出射光軸に沿って反射させる直角プリズム１４と、平面ミラー１２を移動させるミラー移動部１５と、平面ミラー１３を移動させるミラー移動部１６と、第１の光線と第２の光線を取り込む拡大光学系１７と、第１の光線と第２の光線の各断面径を測定するためのＣＣＤカメラ１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像取り込み速度が変化した場合でも、解析に必要な枚数の干渉縞画像を取得し、精度の高い解析を行う。
【解決手段】光束を測定光と参照光とに分割して干渉縞を形成し、フリンジスキャニングによって画像取得部に取得した複数の干渉縞画像から選択した解析画像を用いて被測定面の形状を算出する干渉縞計測方法は、画像取得部の画像取得速度を計測する画像取得速度計測工程Ｓ１０と、参照面を移動させながら複数の干渉縞画像を候補画像として取得する候補画像取得工程Ｓ２０と、各候補画像の輝度変化データから、各候補画像の位相変化を算出する位相変化算出工程Ｓ３０と、位相変化に基づいて、候補画像の中から解析画像を選択する画像選択工程Ｓ４０とを備え、画像取得部の画像取得速度は、画像取得速度計測工程Ｓ１０における計測結果に基づいて所定速度に設定され、参照面の移動速度は、画像取得部に設定された所定速度に基づいて設定される。 （もっと読む）

【課題】高い精度で被検物の形状を測定できるようにする。
【解決手段】複数のＭＬを有するMLA１２は、対物レンズ１１の背後に配置され、撮像素子１３は、MLA１２の背後に設置され、対物レンズ１１による被検物像を撮像する。画像処理部１４は、撮像素子１３の出力から複数のＭＬと色収差の両方の作用によって得られる異なる焦点を有する複数の焦点画像Ｉ_m，Ｉ_c1を生成し、生成した複数の焦点画像Ｉ_m，Ｉ_c1に基づいて、高い精度で被検物Ｐの形状を測定できる。本発明は、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】回転対称で複雑な被検面の形状を高精度に光干渉計測できるようにする。
【解決手段】面中心軸Ｃが測定光軸Ｌと一致した基準姿勢から、被検面８０を径方向に分割してなる複数の輪帯状領域上に測定光軸Ｌが順次移動するように、被検面８０の相対姿勢を順次変更し、相対姿勢が変更される毎に被検面８０を回転軸Ｅ回りに回転せしめる。回転する被検面８０に対して、ミロー対物干渉光学系２３より収束しながら進行する測定光を照射し、複数の回転位置毎に、各回転位置別干渉縞を１次元イメージセンサ３２により撮像する。撮像された各回転位置別干渉縞に基づき各輪帯領域別形状情報を求め、これらを繋ぎ合わせることにより測定領域全域の形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】 被検物の表面の高さや形状を高精度に測定する。
【解決手段】 第１の微小開口を通過した照明光を被検物に向けて照射させ、被検物からの反射光を得る共焦点光学系と、第２の微小開口を通過する反射光を検出する光検出部と、反射光における波面収差を検出する収差検出部と、被検物に対する共焦点光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部と、変位部により共焦点光学系の位置焦点を複数変位させたときに得られる反射光の強度と波面収差とに基づいて、被検物の表面形状を計測する計測部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

被験物体からの試験光と参照光とを合成して、検出器上に干渉パターンを形成する光学系を含む広帯域走査干渉計システムから構成される装置。本装置は、共通の光源から検出器への試験光と参照光との間の光路差（ＯＰＤ）を走査するように構成されたステージと、一連のＯＰＤ増分の各々に対する干渉パターンを記録する検出器を含む検出系であって、各ＯＰＤ増分の周波数がフレームレートを定義する、検出系とを含む。光学系は、走査時のＯＰＤの変化を示す少なくとも２つの監視干渉信号を生成するように構成され、検出系は、監視干渉信号を記録するように構成される。本装置は、フレームレートより高い周波数において、ＯＰＤ増分への摂動に対する感度でＯＰＤ増分に関する情報を決定するように構成されたプロセッサを含む。
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【課題】管状の被計測物の計測を容易に行うことができる計測装置を提供することを課題としている。
【解決手段】管状の被計測物２の内周面２ａ全周にわたって光を照射する照射手段４と、照射手段４により照射された光の反射光を投影する投影手段６と、投影手段６に投影された像を撮像する撮像手段７とを備え、照射手段４と撮像手段７とを対向して配置し、投影手段６を、照射手段４と撮像手段７との間に配置し、照射手段４を、前記内周面２ａの照射手段４と撮像手段７との間に線状のリング光Ｌを形成するように、光を円錐状に拡げて内周面２ａに照射する構成とし、投影手段６に前記リング光Ｌを投影し、投影手段に投影されたリング光を撮像手段７により撮像し、被計測物２の計測を行う。 （もっと読む）

【課題】広帯域光源を使用してオブジェクト表面の特徴を求める干渉計システムを提供する。
【解決手段】システム１００は、検査電磁光線を検査表面１２４に、かつ基準電磁光線を基準表面１２２に振り向け、次にこれらの電磁光線を合成して干渉パターンを形成するように構成される干渉計であって、電磁光線が共通光源１０２から放出される構成の干渉計と、マルチエレメント検出器１３４と、干渉パターンを検出器に結像させて検出器の異なる要素が、検査表面を照射する検査電磁光線の異なる照射角に対応するように構成される一つ以上の光学系と、を含む。検出器要素が行なう測定によって、検査表面に関する変更解析／反射率データが供給される。システムは更に、異なるモード（例えば、形状測定モード）で動作するように再構成することができ、これらの異なるモードでは、検出器の異なる要素は検査表面の異なる位置に対応する。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）