【課題】糸などの連続状被検物の走行速度あるいは走行方向の長さを測定するための空間フィルタを用いた走行被検物測定装置を提供すること。
【解決手段】被検物通過路３を備えたケーシング２を含み、該通過路の一方の側に、被検物の走行方向に等間隔に配置され、入射光を電気信号に変換して出力する複数個の受光素子４でなる受光器５と、該通過路の他方の側に配置され、受光器上に被検物の像を投影する光源６と、光源からの光を通して被検物に当てる光学系レンズ７と、被検物が受光素子の配列間隔に相応する所定のピッチ移動する毎に、周期的に変化する電気信号を出力し、該出力信号を演算処理して走行速度などを測定する演算処理手段８とを搭載し、該演算処理手段が、被検物の真値を予め記憶しておき、測定した値と真値との差から補正値を算出して、これを記憶する記憶手段を含み、検出値を補正値に基づいて補正した値で出力するようにした糸速度センサ。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。
【解決手段】３次元形状測定装置はＸ−Ｙステージと、第１及び第２照明と、前記第１及び第２照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第１及び第２照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第１及び第２フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第３照明からなる光経路変換器と、第３フィルタと、前記第３フィルタを経由した光を結像するために第３フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。 （もっと読む）

【課題】 ストロボスコープを用いてコンピュータやゲーム機にリアルタイムで入力を与えることができる情報処理装置を提供する。
【解決手段】 ゴルフゲームシステム１０は、情報処理装置であるゲーム機１２、ゴルフクラブ型入力装置１４を含み、ゲーム機のハウジング１６の内部には撮像ユニット２８が収納され、この撮像ユニットは、イメージセンサ４０と赤外発光ダイオード４２が設けられる。赤外発光ダイオードによって撮像ユニットの上方の所定範囲に赤外光が間欠的に照射され、したがって、イメージセンサは、その範囲内で移動するゴルフクラブ型入力装置に設けられた反射体を間欠的に撮影する。このような反射体のストロボ映像を処理することによって、ゲーム機の入力となる速度などを計算する。 （もっと読む）

【課題】一つの撮像手段による簡易な装置構成によって、デバイスの外観検査項目を網羅的に実施可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】撮像手段であるカメラ２と、照明手段３と、４つのミラー４とからなる。カメラ２は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルＮの垂直方向（Ｚ軸方向）に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー４は、図２（ｂ）に示すように、搬送されてくるデバイスＤの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスＤのリードが設けられた２面に対して平行に２つのミラー４ａ及び４ｂを設け、さらに、リードが設けられていない２面に対して平行に２つのミラー４ｃ及び４ｄを設けている。 （もっと読む）

【課題】所定の光学系の光路上に配設される被検反射曲面の形状が適格か否かを、簡易かつ短時間で判定することが可能な反射曲面形状検査方法を得る。
【解決手段】検査用投影光学系４０内に非球面ミラー５０を配設し、透過型液晶パネル３０に検査用原画像を表示する。検査用スクリーン６０上に検査用原画像の相似拡大像を投影し、撮像カメラ７１によりその画像データを取得する。取得された画像データをフーリエ変換し、空間周波数領域におけるスペクトル関数のグラフを求める。このスペクトル関数のグラフにおいて、検査用原画像が有する所定の空間周波数に対応したピーク部を特定し、そのピーク部の高さおよび半値幅に基づき、非球面ミラー５０の形状が適格か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でコイルの板幅方向のエッジ位置を検出し、コイルの板幅方向のセンターを検出できるようにする。
【解決手段】鋼板を巻き取ってなるコイルＣの表面をその径方向から撮影する撮像装置１００と、撮像装置１００の撮影方向と略同方向からコイルＣの表面に光を照射する光源２００とを備える。検出装置３００は、撮像装置１００による撮影画像をモニタ３０６に表示するとともに、撮影画像に基づいてコイルＣの板幅方向のエッジ位置を検出し、その検出したエッジ位置を用いてコイルＣの板幅方向のセンターを検出する。そして、コイルＣの板幅方向のセンターと予め設定されているコイルスキッド４００のセンターとのずれ量を求めて、そのずれ量が所定の量を超えている場合、オペレータに警告を行う。 （もっと読む）

【課題】光路を塞ぐことなく、バリ、スケールや水などの落下物による影響を回避し、安定して材料下面の表面形状測定や、表面疵・欠陥検出を行うこと。
【解決手段】板状光線Ｌの上下に高さを違えてかつ鉛直線方向に見て一部重なり合うように配置された一対の防護板７，８により板状光線Ｌの光路を遮らないように隙間が形成された光線源防護部と、反射光のカメラ２の必要撮像範囲の上下に高さを違えてかつ鉛直線方向に見て一部重なり合うように配置された一対の防護板１２，１３によりカメラ２の必要撮像範囲を遮らないように隙間が形成されたカメラ防護部とを備え、板状光線Ｌの投光角度αは鉛直線方向から２５°以下、カメラ２の撮像角度βは鉛直線方向から４５°以下、かつ板状光線Ｌの投光角度αとの関係で正反射光を受光しない角度とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、低ペディスタルな、あるいはペディスタルの抑制されたパルスレーザ発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 パルス光を発生するレーザ部とファイバ増幅部とパルス圧縮部とを含み構成されるパルスレーザ装置であって、前記ファイバ増幅部が、前記レーザ部におけるレーザ光の波長において正常分散である希土類ドープファイバから構成されている。更に、前記ファイバ増幅部においてチャープされた前記レーザ光の波長スペクトルの内、前記希土類ドープファイバのゼロ分散波長の波長領域もしくは該ゼロ分散波長以上の長波長領域のエネルギー成分に対して損失を与える手段を有する。 （もっと読む）

【課題】支持基板上に下引層を介して光透過性の膜を形成してなる被測定物における光透過性の膜の膜厚及び下引層と光透過性の膜の膜厚和を、同時に確実にかつ精度よく測定する膜厚測定方法、膜厚測定装置、画像形成装置。
【解決手段】膜厚測定を可能とする波長領域のスペクトル光を放射する光源からの光をファイバプローブにより放射し、光透過性の膜に集光して被測定物に垂直入射し、入射光が光透過性の膜の表面において反射した第１の反射光と、下引層の表面において反射した第２の反射光との干渉光、及び、第１の反射光と、支持基板の表面において反射した第３の反射光との干渉光を、分光手段に導いて分光し、分光した分光スペクトル強度から反射率を演算する際に、反射率を任意の大きさに拡大することにより干渉波形を求め、干渉波形をコサイン波成分に分解する周波数解析法に基づき光透過性の膜の膜厚、及び下引層と光透過性の膜の膜厚和を演算算出する。 （もっと読む）

【課題】あらゆる大きさの手のひらを撮像に適した位置に誘導するガイド装置、撮像装置、撮像システム、ガイド方法を提供する。
【解決手段】 撮像装置が撮像する手のひらを撮像に適する位置に誘導するために、開口部を有する載置部と指ガイドと手首ガイドと、開口内に設けられた撮像装置とを備え、平面部は、手のひらが置かれたときに、少なくとも複数本の指の第二関節が載置されるように構成され、指ガイドは中指を位置決めし、手首ガイドは開口部に対して指ガイドと反対側の搭載面に設けられて一対の傾斜面を有し、一対の傾斜面は手のひらが搭載面に置かれたときに、手首の両側が接触して手首を位置決めするとともに、手首が接触することに応じて移動し、手のひらを開口部の開口と平行となるように案内する。 （もっと読む）

【課題】内燃機関に好適に用いられ、液膜の蛍光現象を用いて液膜の厚さを高精度に計測することが可能な液膜厚さ計測装置を提供する。
【解決手段】液膜厚さ計測装置は、紫外光を発光する発光素子と、発光素子からの紫外光を透過させると共に液膜側からの蛍光を含む光を反射させるハーフミラーと、ハーフミラーを透過した発光素子からの紫外光を液膜に向けて伝送すると共に液膜から発せられた蛍光を含む光をハーフミラー側に伝送する光ファイバと、ハーフミラーにて反射された蛍光を含む光から紫外光をカットして蛍光のみを透過させる紫外光カットフィルタと、紫外光カットフィルタを透過した蛍光を受光して液膜の蛍光強度を検出すると共に液膜の蛍光強度に応じた電圧値を出力する光センサとを含む。それらの各構成要素は１つの筐体内に収容されている。これにより、光センサの出力電圧値に基づき液膜の厚さを算出することが可能な液膜厚さ計測装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】波長依存性を有する多層膜試料の膜厚をより高い精度を測定することが可能な多層膜解析装置および多層膜解析方法を提供する。
【解決手段】波数変換部７２１は、バッファ部７１に格納される波長毎に、波数Ｋ_１（λ）および波数変換反射率Ｒ_１’（λ）（＝Ｒ（λ）／（１−Ｒ（λ）））を順次算出し、バッファ部７３１へ出力する。バッファ部７３１は、波数変換部７２１から順次出力される波数Ｋ_１（λ）と波数変換反射率Ｒ_１’（λ）とを対応付けて格納する。フーリエ変換部７４１は、バッファ部７３１に格納される波数変換反射率Ｒ_１’（Ｋ_１）を波数Ｋ_１についてフーリエ変換を行って、パワースペクトルＰ_１を算出する。ピーク探索部７５１は、フーリエ変換部７４１によって算出されたパワースペクトルＰ_１の中に現れるピークを探索し、各ピーク位置に対応する膜厚を取得する。 （もっと読む）

機械加工システムを制御する装置が提供される。この装置は、物体から生成された放射線に基づいてその物体の画像を撮像する光学ユニットと、その画像を処理して、その物体の製造及び修理に関するパラメータをリアルタイムに測定する画像処理ユニットと、を含む。この装置は、また、機械加工システムのプロセスパラメータに基づいて、物体の製造又は修理に関するパラメータの目標値を設定するプロセスモデルと、物体の製造又は修理に関するパラメータの目標値及び測定値に基づいて、機械加工システムのプロセスパラメータを制御するコントローラと、を含む。 （もっと読む）

【課題】LCD 用等の基板上に生成される透明電導膜パターンの膜厚が薄くなるにつれ、パターンエッジ部でのコントラストが減少し、従来技術では測定が困難になって来た。このような透明電導膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、膜厚の小さい透明電導膜パターンの寸法測定を容易に実現する技術を提供する。
【解決手段】照明ユニットに可視光以下の領域に高い輝度を有する光を発生するランプと可視光以上の長波長成分を遮断する光学フィルタを具備して、透明電導膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、膜厚の小さい透明電導膜パターンの寸法測定を容易に実現した。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができると共に被検出物の検出時間を短縮できる光学デバイスを提供する。
【解決手段】一つの発光素子２、一つの二次元位置検出受光素子３およびＩＣ４を備えている。このように、上記発光素子２を一つだけ使用しており、小型化を図ることができると共に、被検出物の検出時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】外乱による影響を排除することが可能な日射センサを提供する。
【解決手段】受光路１５の始端側に紫外線カットフィルタ１９を配置して、日射センサ２２の受光センサ１２に受光される太陽光より紫外線成分を除去し、紫外線による外乱の影響を排除する。 （もっと読む）

【課題】溶接時の熱、錆等による管表面の色変化や検出時の照明具合等（外乱）による誤検出がなく、ロバスト（安定）なシーム位置検出が可能な方法、装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ２で撮像された電縫管１１外周面の画像の画素群に対して自己相関関数を計算し、その結果値に周期性が検出される画素列を求め、その画素列の位置をシーム位置として検出する画像演算処理回路４を設ける。自己相関関数の計算によるシーム位置の検出は、外乱に強いロバストなシーム位置の検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 丸棒熱間材の幅測定を精度良く行う。
【解決手段】 熱間材Ｍｃに対しこれを横断する方向でＣＣＤカメラ１，２でその輝度分布を測定し、測定装置３では、上記輝度分布の少なくとも両端領域を除いた中間領域で輝度分布の最大値を検出して、当該最大値が第１設定値になるように検出感度を調節し、感度調節後の輝度分布が第１設定値よりも低く設定した第２設定値を超える範囲に基づいて熱間材の幅を算出する。 （もっと読む）

【課題】膜厚を光学的に測定する有機ＥＬ用の光学式膜厚測定装置において、簡素な構成で正確に膜厚を測定する。
【解決手段】構造体に成膜される有機薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置において、少なくとも成膜中に構造体に所定の波長の照射光を投光する手段、照射光に対する構造体からの反射光強度又は透過光強度を検出する手段、及び反射光強度又は透過光強度に基づいて有機薄膜の膜厚を特定する手段からなり、所定の波長が、有機薄膜を構成する有機物の吸収スペクトルについて、吸光度のピーク値に対して２０％以下、好ましくは１０％以下、の吸光度を与える波長範囲に含まれるようにした。 （もっと読む）

【課題】被測定物体の反射率の影響を受けず、縞パターン光の各縞が分離しやすく、かつ計算誤差の小さい三次元形状測定装置及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の三次元形状測定装置は、高輝縞３０１と、高輝縞３０１より輝度の低い低輝縞３０２とが交互に位置する縞パターン光を被測定物体２に投影する投影手段３と、被測定物体２にあたった縞パターン光の反射を受像し画像データを出力するカメラ４と、画像データから三次元座標データを生成する計算機５と、を有する三次元形状測定装置１において、投影手段３は、レーザー光３０を出力する光源３１と、レーザー光３０を所定の大きさに広げる拡大手段３２と、拡大手段３２で広げられたレーザー光３０を縞パターン光に成形する縞パターン成形手段３３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）