【課題】周期性のあるパターンのパターンムラを安定的、高精度に検出できる周期性パターンムラ検査装置及び周期性パターンムラ検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも画像を撮像する手段を具備する撮像部（１０）と、検査対象基板を載置し、Ｘ軸及びＹ軸方向に駆動する手段を具備するＸＹステージ（２０）と、検査対象基板に照明をする手段を具備する照明部（３０）と、照明部及び／または撮像部に光学特性を制限する光学フィルターを載置し、光学フィルターの切り替えが可能な手段を具備する光学フィルターチェンジャー部（４０ａ、４０ｂ）と、装置制御部（６０）とを具備していることを特徴とする周期性パターンムラ検査装置である。 （もっと読む）

【課題】義肢のソケットを製作するための石膏型の形状計測を行う石膏型形状計測装置においては従来石膏型の外部側面、内部側面は測定できたが内部底面が測定できなかったので内部底面をも測定できる形状測定器を提供することが課題であった。
【解決手段】 測定対象物に照射するための投光レーザ光と、測定対象物からの反射レーザ光を結像するための結像レンズと、結像レンズによる結像光を受光して結像位置に関する信号を出力する位置検出素子（ＰＳＤ）とを備えた測定ヘッドと、測定対象物を回転させるステージと、測定対象物もしくは測定ヘッドを前記ステージの回転軸方向へ移動させる移動ステージとを備えた、測定対象物の３次元形状を測定する形状計測器であって、測定ヘッド先端に投光レーザ光、反射レーザ光を反射する可動反射ミラーを設け、可動反射ミラーの回転により投光レーザ光、反射レーザ光の投光受光方向を可変する構造とした。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ内のパターン内部の分光情報を高速で得ることができ、制御性が向上し、多数点測定に対するシステム構築が容易になる膜厚検査装置を提供する。
【解決手段】液晶カラーフィルタ基板Ｂのカラーパターン内部のレジスト等の膜厚を測定する膜厚検査装置である。光源１と、光源１からの測定光を基板Ｂ上に微小スポットＳとして結像するレンズ群２と、レンズ群２を基板Ｂに対して略直交する方向に移動させて微小スポットＳを合焦させる駆動手段５５と、レンズ群２にて結像される微小スポットＳを基板Ｂ上に移動させる移動手段２５とを備える。カラーパターンＰに対する微小スポットＳの相対位置を検知して、これに基づいて移動手段２５にて微小スポットＳをカラーパターンＰ上に結像させる。カラーパターンＰ上に結像した微小スポットＳからの反射光の分光測定を分光手段５にて行う。 （もっと読む）

【課題】リニアリティを短時間に高い精度で測定でき、特別な評価用パターンを必要とせず汎用性の高い走査光学系の走査位置検出装置、走査光学系の走査位置検出方法を提供し、かかる走査位置検出装置あるいは走査位置検出方法を具備した走査光学系および画像形成装置を得る。
【解決手段】ビームスポット走査方向に対し垂直方向に形成されて光を透過するスリット６４の背面位置に設けられた受光素子６６を有し、受光素子６６でスリット６４を横切るビームスポットを検出することによりビームスポットの通過時間間隔を測定し、走査のリニアリティを測定する。スリット６４は、全像高に渡り、３個以上設けられている。ビームスポットの主走査方向に対応する全てのスリット６４の背面位置に、受光素子６６を配置してもよい。 （もっと読む）

【課題】同一のステーションで円筒状検査対象物の外周面側や端面側の検査を可能とした筒状部材外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は回転軸５を備え、回転軸５は、透光性材料により形成されると共に、ゴムブッシュ６の孔部６ａ内に嵌合される嵌入軸部５ａと嵌入軸部５ａ一端部に備えられた導光軸部５ｂとを備える。回転軸５の嵌入軸部５ａに、ゴムブッシュ６の孔部６ａを嵌合させて装着し、回転させながらラインセンサカメラ１５により外周面の外観検査を行う。導光軸部５ｂを周囲から照明するＬＥＤリング照明１１が備えられ、嵌入軸部５ａの他端部側からゴムブッシュ６をその軸心方向から撮像する２次元カメラ１７が備えられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、距離の測定のために適切でありかつ走査方向に互いに一定の間隔をあけている複数の距離センサを有し、表面（１１）から間隔をあけてこの表面に亘って走査方向（Ｒ）に移動されることができるセンサヘッド（１３）と、表面（１１）の複数の点が連続的な走査ステップで複数の距離センサによって検出されてなる走査ステップで、センサヘッド（１３）を移動させる移動手段と、複数の距離センサからの出力信号が供給される評価手段とを具備する測定装置に関する。
【解決手段】走査方向（Ｒ）に対するセンサヘッド（１３）の角度値を決定し、かつこの角度値を評価手段に送るための角度測定手段（１４，１５）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フォーカス調整装置を備える顕微鏡と光波干渉計とを備えた光学的測定装置においてより高い精度の測定が実現すること。
【解決手段】 顕微鏡が共焦点オートフォーカス顕微鏡として形成されるとともに、光源から発したフォーカスビームが対物レンズ１２を経て物体１とフォーカス検出器８とにフォーカスされるとともに、フォーカス調整装置１８とフォーカス検出器８とに連携しているフォーカス制御装置１７に前記フォーカス検出器８が測定信号を出力することで、この測定信号に応じてフォーカス制御装置１７が物体１の測定点が対物レンズ１２の焦点に位置するようにフォーカス調整装置１８を制御するように構成され、かつ光波干渉計はフォーカスビームをつくり出すための光源である。 （もっと読む）

【課題】分解能を落とすことなく画素のムダを最小限に抑えることができる表面欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】円筒表面等の局所的な凹凸部の検査測定において、被対象の稜線部を透過光にて観察する観察手段と、前記被対象と観察手段を相対的に移動する移動手段とを持ち、前記観察手段は照明手段と受光手段から成り、前記受光手段には稜線位置に焦点を合わせた結象光学手段を持つ１次元ラインセンサを用い、前記ラインセンサ配置を被対象稜線方向から傾けて配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 印刷半田の平行移動ずれと角度ずれを共に検出できる印刷半田検査装置を提供し、更に、印刷半田の平行移動ずれと角度ずれの推移を把握容易な形態で表示できる印刷半田検査装置を提供する。
【解決手段】 プリント基板１の部品実装面１ａに光照射して反射光量に応じた検出信号を出力する検出ヘッド１１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて部品実装面１ａにおける半田印刷領域の基準位置を検出する基準位置検出手段３１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて複数の印刷半田の平行移動ずれを検出する平行移動ずれ検出手段３３と、基準位置検出手段３１の検出情報に基づいて半田印刷領域における回転中心座標を設定する中心座標設定手段３２と、プリント基板１の設計値情報、平行移動ずれ検出手段３３の検出情報および中心座標設定手段３２の設定情報に基づいて複数の印刷半田の角度ずれを検出する回転ずれ検出手段３４とを備える。 （もっと読む）

本発明は実質的に直線状のコントラストエッジ（Ｅ）の高精度光学的検知方法と装置に関する。装置において、第１の方向を横切る別の方向において、平行移動（Ｓ）により、“光学センサ（Ｄ１，Ｄ２）の全視野角（Δφ）の周期的スキャン（Ω）が実行される。
前記平行移動は、スキャン期間の一部分において、一様ではない角速度（Ω）の周期的スキャン”を引き起こす。そして、前記センサ（Ｄ１，Ｄ２）により与えられる信号から与えられる時間差（Δｔ）を測定する。前記時間差は前記スキャン規則（Ω）から全視野角（Δφ）内のレファレンス方向（ＯＹ12）に関連する、コントラストエッジ（Ｅ）の角度位置に依存するものである。前記レファレンス方向は時間差（ｔ）の特定値に結びついている。
上記発明は、視線の空間的安定化、コントラストエッジを呈する目標物の高精度のトラッキングと固定化に対する応用される。 （もっと読む）

コンポーネントの光精密測定装置及び方法。本方法では、光プローブがコンポーネントに対してある場所に設けられ（１２０）、光源ビームがコンポーネントに向けられる（１２２）。偏差が検出され（１２０）、コンポーネント特性データセット内に記憶される（１２６）。光源はコンポーネントに対して他の場所に移動され、追加的なデータが得られる（１３０）。本装置は、光源ビーム（３８）をもたらす光プローブ（２４）と、光プローブ（２４）をθ軸について回転するよう動作可能なプローブステージ（２２）と、コンポーネント（２８）をφ軸について回転するよう動作可能なコンポーネントステージ（２６）と、位置反応検出器とを含む。プローブステージ（２２）は、光源ビーム（３８）をコンポーネント（２８）に向け、光源ビーム（３８）は、コンポーネント（２８）から結果として生じるビームを生成し、位置反応検出器は結果として生じるビームを検出する。

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位置決め装置は、電磁信号を受信し、かつ光信号を送信するために既知の場所にそれぞれ配置された複数のトランスポンダモジュールと、電磁信号を送信し、かつ光信号を受信する少なくとも１つのトランシーバモジュールと、少なくとも１つのトランシーバモジュールの位置を決定するために、受信した光信号を処理する装置と、を備える。
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本発明は、床などの硬質または半硬質基板上で用いるための表面形状測定装置を提供する。本装置は、（ａ）ビームと、（ｂ）ビームに装着される少なくとも１つのビームサポートと、（ｃ）該ビームに摺動可能に接続され、かつ表面までの距離を測定するように構成されるセンサアセンブリと、（ｄ）該ビームに沿って該センサアセンブリの位置を測定するように構成される変換器アセンブリとを含む。
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走査システムは、対象物（４０）の定性的及び定量的不規則性を検出する１以上の立体カメラ（１０）を有する。各立体カメラセット（１０）は、２つのカメラ（１２，１４）と投影器（１６）とを有する、各カメラ（１２，１４）は、ＣＣＤマトリックス配列（１８）の配列不良による歪みと光学システムの欠損とを補正するために較正される。投影器（１６）は、測定されるべき対象物（４０）に絶対符号パターン（３２，３４，３６）を投影し、赤外、可視、紫外スペクトルの電磁気エネルギーを放射可能である。複数のカメラセット（１０）は、３次元空間（２６）の対象物（４０）の不規則性を検出可能な走査システムマトリックス（４２，４４）と結合され得る。３次元空間（２６）は、立体カメラセット（１０）の数に応じて、任意の所望の寸法であり得る。カメラ（１２，１４）からのデータは、測定の表示用にデジタル信号プロセッサ（６６）を介してコンピュータインターフェース（６４）に送信される前に、ゲートアレイ（６２）により予備処理される。結果的に、送信されるデータ量は、簡素化され、従って動作時間を減少させ、走査システムが非常に短い時間で対象物（４０）の不規則性を非常に正確に測定することを可能にする。
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