【課題】 一の材料層に透明或いは半透明の材料層が形成されてなる被検物に対し、一回の走査・撮像工程で、その最表層の高さのみならず、それ以外の層の上面（或いは下面）高さをも測定できるようにする。
【解決手段】 記憶装置３２から走査画像の読み出しを開始した後、最初に検出した光量ピークに対応して求められる焦点面ＦＳの高さ位置から被検部位の高さを算出する構成の高さ測定装置において、走査画像の読み出し開始後順次検出する光量ピークのうち所定番目以降に検出される光量ピークに対応する焦点面の高さ位置から前記被検部位の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】光切断方法を用いながらも、多重反射光の影響を抑制して表面形状を測定できるようにする。
【解決手段】まず測定対象物の表面で反射したレーザ光を受光して当該測定対象物の表面形状を、撮像光軸方向に所定ステップ量で移動する撮像部により撮像し、撮像部の各ステップ位置における測定対象物表面の形状線像を含む光切断画像を取得する。そして、各ステップ位置における光切断画像から形状線像が合焦している光切断画像を特定し、特定した光切断画像を利用して測定対象物表面の形状線像及び多重反射によるノイズ光像を判別する。その判別結果に基づいて、光切断画像から当該判別されたノイズ光像を除去する画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】カメラの位置の変化及び環境設定の変化に対して制限のないリアルタイム校正を行う。
【解決手段】カメラは、まず初期校正される。次に、カメラの動作量が計算され、動作量に従い、カメラの複数の動作量推定サンプルが生成される。次に、複数の動作量推定サンプルのそれぞれの重みが計算される。その後、重みに基づき、複数の動作量推定サンプルがリサンプリングされ、カメラは、リサンプリングされた推定動作サンプルによって校正される。 （もっと読む）

【課題】光源と絞りの共役関係を容易に確保でき、かつ、検査対象との距離の変化を正確に計測できる変位計、変位測定方法および厚み計を提供する。
【解決手段】変位計では、レーザダイオード１からの光が集光レンズ４において絞り板５のピンホール５ａに向けて集光され、ピンホール５ａを介して対物レンズ６へ送られる。当該光は、ワーク９０の表面上で反射し、対物レンズ６、ピンホール５ａ、集光レンズ４、ハーフミラー３を介して、フォトダイオード２で検出される。つまり、ピンホール５ａが、実質的な光源となり、また、ワーク９０上での反射光に対する絞りとなっている。なお、集光レンズ４によってピンホール５ａ上で集光されるスポット径は、ピンホール５ａの径よりも大きいものとされる。また、白抜き矢印で示された絞り板５上の戻り光成分の受光量信号は、ハイパスフィルタ１１によって除去される。 （もっと読む）

【課題】高速近似焦点用システムおよび方法を提供する。
【解決手段】いくつかの後続する検査動作をサポートするために十分に焦点合わせされた、近似的に焦点合わせされた画像を提供する高速近似焦点動作である。これらの動作は、平面ワークピースを検査する場合に主流である連続検査動作用の画像を提供するために用いられる場合に特に有利である。検査スループットの改善がもたらされる。なぜなら、従来の自動焦点動作とは対照的に、高速近似焦点動作は、最良の焦点合わせされた画像を決定するための基礎として実行モード中に画像スタックを取得しないからである。より正確に言えば、学習モード中に特徴固有の代表焦点曲線および焦点閾値が決定され、実行モード中に用いられて、いくつかの検査動作を確実にサポートする近似的に焦点合わせされた画像を提供する。一実施形態において、許容可能な、近似的に焦点合わせされた検査画像が、２つの対応する画像を提供する２つの焦点調整移動の範囲内で提供される。調整移動は、学習モードにおいて提供される特徴固有の代表焦点曲線に基づいている。 （もっと読む）

【課題】円形状のエッジを自動検出して円形を求め、該円形の幅寸法の測定を可能にする円形の幅寸法測定装置を提供する。
【解決手段】全体として１または２以上の層を有する円形状の物体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画像から前記円形状の仮中心点を求める手段と、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段と、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段と、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段と、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形状の幅寸法とする幅寸法算出手段とを有することを特徴とする円形の幅寸法測定装置。 （もっと読む）

【課題】光学系の光学特性をより正確に計測する技術を提供する。
【解決手段】テストパターンを有するテストマスクをマスク保持部によって保持して光学系の物体面に配置し、前記光学系の像面に形成される前記テストパターンの像の位置を計測し、その計測結果を処理することによって前記光学系の光学特性を決定する方法において、前記テストマスクの変形量を計測し、前記像の位置の計測結果を処理して決定されうる前記光学系の光学特性を前記変形量に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】延びた状態のゆがみが生じることがない正常な方形画像を取得できる、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法を提供すること。
【解決手段】加速して定速となり減速して停止する走査移動を伴うときは、加速領域の撮影データについて、定速領域の端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、また減速領域の撮影データについて、減速領域との境となる定速領域の端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】 大型軸受の内外輪などの大型部品の径を、容易に、精度良く、非接触で測定できる大型部品の寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 ヘッド支持フレーム１と、ヘッド支持フレーム１の両端にそれぞれ設けられた一対のレーザ測長ヘッド２，３と、レーザ光Ｌ１，Ｌ２を両レーザ測長ヘッド２，３の対向方向に反射させる一対の角度調整ミラー４，５と、反射板６と、受光信号の処理および投光の制御を行う制御手段７とを備える。制御手段７は、受光信号からレーザ測長ヘッド２，３間の距離を測定するヘッド間距離測定手段１２と、測定物で反射されたレーザ光Ｌ１，Ｌ２から測定物と各レーザ測長ヘッド２，３との間の距離を検出する測定物・ヘッド間距離測定手段１３と、ヘッド間距離測定手段１２および測定物・ヘッド間距離測定手段１３の測定結果から測定物の寸法を計算する測定値計算手段１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機能液滴ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の着弾ドットの体積について、信頼性の高い測定結果を得ることができる着弾ドットの体積測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１の検査吐出により、検査基板に着弾した着弾ドット１０の体積を、干渉計９９を用いて測定する着弾ドット１０の体積測定方法であって、撥水性の異なる複数種の検査基板１６を用意し、周囲雰囲気の湿度と、測定のための着弾ドット１０が適正ドーム形状となる複数種の検査基板１６と、の関係を表した湿度−撥水性データ２０に基づいて、測定した周囲雰囲気の湿度に応じた１の検査基板１６を用いて、検査吐出および着弾ドット１０の体積測定を実施する。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置および向きを精度良く認識することが可能な対象物認識方法および対象物認識装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１２１が対象物１を撮像することにより第一撮像画像を取得し、対象物１の二次元外形データと第一撮像画像とを比較することにより撮像装置１２１と対象物１との相対位置を判定し、当該相対位置に基づいて仮想空間に撮像装置１２１、照明装置１１０および対象物１の配置を設定し、当該仮想空間に基づいて第一仮想空間画像を生成し、第一仮想空間画像と第一撮像画像とを比較することにより前記相対位置の判定結果の正誤を判定し、撮像装置１２１が対象物１を撮像する位置を変更して撮像することにより第二撮像画像を取得し、当該変更を仮想空間に反映して第二仮想空間画像を生成し、第二仮想空間画像と第二撮像画像とを比較することにより前記相対位置の判定結果の正誤を判定する。 （もっと読む）

【課題】エラー領域の判定精度を向上させて、対象物の表面形状の計測をより適切に行えるようにする。
【解決手段】制御部１８は、焦点位置が異なる標本１の複数の顕微鏡画像を構成する各画素についてのコントラスト評価値を算出する。また、各画素に対し、所定の閾値を、画素の輝度に基づき画素毎に設定する。そして、各顕微鏡画像での位置が同一である画素についての最大コントラスト評価値と該閾値とを画素毎に比較し、最大コントラスト評価値が閾値よりも低い画素で構成されるエラー領域を抽出する。非エラー領域の画素については、該画素で表されている標本１の部位の高さの情報を、各顕微鏡画像の焦点位置の情報に基づき取得する。エラー領域の画素については、該高さの情報を、非エラー領域に含まれている各画素について取得した高さの情報に基づく補間演算により取得する。 （もっと読む）

【課題】被塗布面が目視不可能な箇所に配置されている被塗布材の被塗布面に塗布される塗布材の分布を非破壊検査によって測定することが可能な塗布分布測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】目視不可能な箇所に配置される車体２のフード３の内面４に塗布される加温ワックス７の塗布分布を測定する分布測定工程であって、加温ワックス７が内面４に塗布された直後に、目視可能なフード３の表面８を赤外線カメラ１１で撮像し、赤外線カメラ１１により得られた熱画像データ２０を、解析アルゴリズム２２を用いて処理することにより加温ワックス７の塗布分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせしたのち、測定点と基準点との空間位置座標から適正に表面欠陥を判定する技術を提供する。
【解決手段】測定対象物の測定点と測定対象物の基準表面形状に対応する基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて前記測定点と前記基準点とを位置合わせした後の測定点データと基準点データとに基づいて測定対象物の表面欠陥を評価する。表面欠陥評価において、基準点と適正に対応せず互いに隣接する複数の測定点からなる誤対応測定点群の分布密度に基づいて当該誤対応測定点群によって規定される表面領域を表面欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】 穴の全体形状だけでなく、穴の壁面に形成された微細な凹凸形状をも精度良く測定する。
【解決手段】 管状プローブ８０からレーザ光を測定対象穴の壁面に照射し、レーザ光の焦点位置と壁面における反射位置とのずれ量（焦点ずれ量）に応じたフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成回路１１１，１１２を備える。コントローラ１００は、管状プローブ８０を回転させながらＺ方向（管状プローブの中心軸方向）に移動させて、レーザ光を測定対象穴の壁面に螺旋状に照射する。そして、管状プローブ８０のＺ方向位置と、管状プローブ８０の回転角度と、フォーカスエラー信号から得た焦点ずれ量とに基づいて測定対象穴の３次元形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】 生タイヤの生産を停止させずに成型ドラム上のタイヤ構成部材を検査すること、及び検査した部材とそれを成型した生タイヤとを対応させることを可能にする。
【解決手段】 成型ドラム４にタイヤ構成部材５を貼り付けた後、成型者がジョイント合わせ等を行っている機械の待ち時間に、点観測式レーザ変位計１により、タイヤ構成部材５の表面迄の距離を測定する。その測定データと、予め測定しておいた成型ドラム４の表面迄の距離の測定データを基に、タイヤ構成部材５の断面形状データ及び貼り付け位置データを求める。求めたデータを、そのタイヤ構成部材５を用いて成型する生タイヤのバーコードとともにデータベース３に保存する。また、求めたデータとマスタデータとを比較処理部９で比較し、差が所定の閾値を越えた場合、比較結果出力部１０でアラームを出力する。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）

【課題】多種多様なボタンについて表裏を判別することができるとともに、スムーズに判別対象となるボタンを変更する。
【解決手段】ボタン２の一面に対して斜め前方であって周方向に４方向の角度から照明装置３により順次照射光を照射する照射工程と、各角度からの照射光の照射に対応して、これらの照射光により形成されたボタン２の影をそれぞれカメラ１０により撮像する撮像工程と、撮像された複数の影の画像を合成し、合成された影の画像を用いてボタン２の凹凸形状を認識することにより、ボタン２の表裏を判別する判別工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。
【解決手段】３次元形状測定装置はＸ−Ｙステージと、第１及び第２照明と、前記第１及び第２照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第１及び第２照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第１及び第２フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第３照明からなる光経路変換器と、第３フィルタと、前記第３フィルタを経由した光を結像するために第３フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板の処理面の位置情報に基づいて、位置決め誤差を解決した位置決め装置を提供する。
【解決手段】表面状態計測部（顕微鏡カメラ９、表面計測部５３ａ）は、基板の表面状態を観察して画像データとして計測する。位置計測部５３ｂは、インクジェットヘッド１０および表面状態計測部の位置を計測する。記憶部５３ｃは、予め基板の表面状態を記憶している。誤差量演算部５３ｄは、インクジェットヘッド１０の移動において、位置計測部５３ｂにより計測された、表面状態計測部の移動前の位置および表面状態計測部の移動量を基に、記憶部５３ｃから移動後の基板の予想される表面状態を求めて、予想される表面状態と、移動後の位置における表面状態計測部により計測された表面状態とを、比較することで、移動誤差量を求める。位置補正部５３ｅは、誤差量演算部５３ｄにより求められた移動誤差量を基に、インクジェットヘッド１０の位置を補正する。 （もっと読む）