【課題】 製造及び加工が容易なペンタ光学素子ユニット及びペンタ光学素子ユニットを用いた面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 ペンタ光学素子ユニット（１１０）は、入射光の一部の光を反射させるとともに入射光の一部の光を透過させるハーフミラー面（１１）と、このハーフミラー面から所定角度傾いて配置されハーフミラー面で反射された光を反射させる第１ミラー面（２１）とを有する第１ペンタ光学素子（１１１）と、ハーフミラー面に対して所定の頂角（α）をなす透過面（１２）を有するくさび光学素子（１０）と、ハーフミラー面及び透過面を透過した光を反射させる第２ミラー面（３１）と第２ミラー面で反射された光を反射させる第３ミラー面（４１）とを有する第２ペンタ光学素子（１１２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査完了までに要する時間の増加を抑制しつつ詳細な欠陥レビュー検査を可能にする。
【解決手段】基板検査装置１は、基板ＷをＸ方向へ搬送する基板搬送ユニット２２と、Ｘ方向へ搬送中の基板Ｗにおける欠陥を検出するラインスキャンカメラ１５、ラインスキャンカメラ駆動部１１５、欠陥検出部１２１および制御部１０１と、検出された欠陥の画像を同搬送中に取得するレビューカメラ１９、レビューカメラ駆動部１１９および制御部１０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明では、正確に測定対象平面を検出すると共に、測定時間の短縮が可能な共焦点顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【解決手段】観察試料８の観察面に光を集束する少なくとも１つの対物レンズ７と、観察試料８と対物レンズ７との距離を所定間隔で変化させるＺレボルバ１６と、観察試料８と対物レンズ７との距離に応じて所定間隔を設定する測定条件情報指示部１９と、設定された所定間隔で上記距離を変化させるようにＺレボルバ１６を駆動制御するＺ駆動制御部２２と、観察面からの反射光を検出する光検出器１２と、上記所定間隔の距離毎に観察面上に光を二次元走査して光検出器１２で検出される検出信号により平面画像を生成し、生成された複数の平面画像を用いて三次元画像を生成するコントローラ２を有する共焦点顕微鏡装置１００により、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】例えば自走式電線点検装置を使用したビデオ映像に適した処理を行う。
【解決手段】撚られた複数の素線が表面に露出している電線に沿って撮像手段を移動させながら撮影した電線の複数の連続画像に基づいて電線の異常を検出する異常検出方法において、複数の連続画像４のうち、１枚の基準画像中の基準となる素線境界の位置情報及び素線の幅情報の入力を受け付け記憶する初期値設定処理（ステップＳ４３）と、連続画像の各々について素線の境界を検出して素線表面画像を切り出す画像切り出し処理（ステップＳ４４，Ｓ４５）と、素線表面画像中の素線の表面の明るさの変化に基づいて素線の異常を検出する異常検出処理（ステップＳ４６〜Ｓ４８）を備えている。 （もっと読む）

【課題】作業員の技量にかかわらず短時間で精度高く車輪外周面形状を測定することが可能な車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車輪１におけるフランジ及び踏面を含む外周面２の形状を測定する車輪形状測定装置１００であって、筐体（基部）１０と、該筐体１０内に取り付けられて車輪１の径方向外側から車輪１の外周面２に向かって光線を照射し、その反射光によって該外周面２までの距離を検出する距離測定部３０と、筐体１０を車輪１に対して位置決めして固定する位置決め手段２０と、距離測定部３０を筐体１０に対して車輪１の軸線Ｏ方向にスライド移動可能とさせるスライド手段４０と、外周面２における光線の反射にて生じる乱反射光を吸収する乱反射光吸収手段６０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】３次元画像モデルの構築に必要な画像データを効率よく取得する。
【解決手段】着目画像に現れておりかつ他の画像に現れていないオクルージョン領域が求められる。ディジタル・スチル・カメラ１による撮像によって得られる動画Ｓ４中に，上記着目画像のオクルージョン領域と対応する画像領域が現れていると，そのオクルージョン対応領域ＲＯＣ42が動画Ｓ４中に表示される。３次元画像モデルの構築に不足している画像を動画を通して観察（視認）することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、画像処理による位置決め測定方法の安全かつ簡便化と操作容易化を図り、画像位置決め測定装置の小型化・高精度化を図ったものである。
【解決手段】 顕微鏡、オートフォーカスユニット、門型のステージ計測ユニット６、パソコン、防振台、直動基準スケール、直動基準スケール治具、回転用基準スケール、回転用基準スケール治具で構成される画像位置決め測定装置を用いて、計測したい製品を門型のステージ計測ユニットに載置し、基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置き、ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行ない、基準スケールに記載されている目盛線のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定をし、測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定方法。 （もっと読む）

【課題】 コンベアに投入される多品種のワークを誤りなく識別するための識別装置及び識別方法の提供。
【解決手段】 本発明の識別装置は、ワーク（４Ａ）の表面までの距離を計測する計測装置（８Ａ）と、その計測装置（８Ａ）をワーク（４Ａ）の長手方向に移動させる移動装置（１０Ａ）と、これらを制御する制御装置（１４Ａ）とを有しており、前記ワーク（４Ａ）には所定領域に種類を判別するため浮き出し文字（２２Ａ）が印字されており、前記制御装置（１４Ａ）は、計測装置（８Ａ）を移動装置（１０Ａ）により移動させながらワーク（４Ａ）表面までの距離を計測し、計測装置（８Ａ）で計測されたワーク（４Ａ）の所定領域における浮き出し文字（２２Ａ）による隆起の有無とその位置及び形状を特定し仕様の照合を行って種類・仕様の判断をする制御機能を有する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーを用いてレーザ光を走査する３次元形状測定装置において、使用開始から長期間が経過してもミラーの回転角度を精度よく取得でき、測定精度を一定に保つことができるようにする。
【解決手段】
回転可能に支持されたミラー１４ａと供給される電気信号に応じてミラー１４ａを回転させて変位させる駆動回路とが一体的に形成された第１ミラー１４を設ける。ミラー１４ａは、それぞれレーザ光を反射可能な第１反射面及び第２反射面を有する。第１反射面に測定装置と測定対象物ＯＢとの距離を測定するためのレーザ光を照射する。第２反射面にミラー１４ａの回転角度を検出するためのレーザ光を照射する。第２反射面からの反射光を受光する受光センサ２６を設ける。受光センサ２６における反射光の受光位置からミラー１４ａの回転角度を計算するミラー角度検出回路４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】電極パターンまたは配線パターンに安定的に焦点を合わせることができる画像取得装置、欠陥修正装置および画像取得方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、欠陥が生じている基板１１１の一部を拡大した画像を取得する欠陥修正装置１００であって、基板１１１の一部を撮像する撮像部１２１と、基板１１１を載置したステージを移動するステージ移動部１１３と、対物レンズ１２９の基板１１１に対する焦点合わせを行う合焦検出部１２３と、ステージ移動部１１３を制御して、合焦検出部１２３が焦点合わせを行う場合に合焦検出領域から基板１１１の画像取得対象領域内に含まれる欠陥を退避させるステージ制御部１５６と、合焦検出部１２３による焦点合わせ後の焦点条件を固定する合焦制御部１５５と、合焦制御部１５５による焦点条件の固定後に撮像部１２１に基板の一部を撮像させる撮像制御部１５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】道路に関連する複数の構造物及び設備について、検査の効率化を図ることができる検査方法及び道路検査車両を提供すること。
【解決手段】検査車両１は、車両本体２に、熱赤外線カメラ３及び可視光線カメラ４と、振動センサ５と、走行音検出部６と、透水性検出部７と、ＩＣタグ通信部８と、舗装面計測部９と、ＧＰＳアンテナ１０と、制御装置１１を備える。検査車両１は、道路を走行しながら、熱赤外線カメラ３及び可視光線カメラ４で舗装面を撮影し、舗装面の状態に応じた車両の振動を振動センサ５で検出し、走行音検出部６で車両の走行に伴って生じる音を検出し、透水性検出部７で舗装の透水性を検出し、予め道路の周辺に配置されたセンサの検出情報をＩＣタグ通信部８で収集し、舗装面の形状を舗装面計測部９で収集する。収集された検査情報は、ＧＰＳアンテナ１０で受信された位置情報が付与されて記憶装置１２に記憶される。 （もっと読む）

【課題】ティーチング操作の作業性や効率を向上させる。
【解決手段】ワークの閉領域情報を有するガーバーデータを記憶するデータ記憶部１３１と、ガーバーデータの閉領域情報に基づくパターン画像を表示する表示部４と、パターン画像に重ねて、検出すべきエッジ位置、検出方向及び検出長さを指定する検出ツールＳを表示部４に表示させる検出指定情報表示プログラム１３３と、ワークの検出ツールＳに対応する領域を撮像する撮像プログラム１３４及び撮像部３と、撮像された画像のデータに対して、検出ツールＳにより指定された検出方向及び検出長さで検出すべきエッジ位置のエッジ検出を行うエッジ検出プログラム１４１と、エッジ検出を行う場合、検出方向に沿って画像が明部から暗部に変化するか又は暗部から明部に変化するかを示す明暗変化条件を、ガーバーデータを用いて決定する条件決定プログラム１４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】加工部片の寸法測定を容易にかつ小作業域で、できるようにする。
【解決手段】測定する部片を主軸台５７と心押し台６０との間に維持するため、固定された主軸台５７と、固定された主軸台に対向し、主軸台５７に近付くか、離れて移動するために線形軸に沿って移動可能である、移動可能な心押し台６０とが取り付けられた基準支持４０と、測定下の部片によって遮られるコリメート光のビームをｘ軸にわたって誘導するための光源１１０を担持し、さらに、光源１１０と整列し、測定下の部片によって遮られなかったコリメート光のビームの残留光を受けるように配置されている、光学検出器１２０を担持している、線形軸に沿って移動可能な可動往復台１００とを有す。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで、簡単且つ精度良く製作することができるキャリブレーション治具およびこれを用いた撮像装置のキャリブレーション方法を提供することである。
【解決手段】表面にセットステージ２と平行な平坦面３４を有するベース３２と、平坦面３４に貫通形成され、レーザー変位計５の基準位置を取得するために輪郭形状を測定され、且つ認識カメラ４の基準位置を取得するために周縁部と共に撮像される共通基準孔３３と、を備え、共通基準孔３３は、レーザー変位計におけるレーザースポットのスポット３５径より大きく、且つ認識カメラ４の視野に収まる大きさに形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】物体表面に摩耗や撓み等が存在する場合、表面上に障害物が存在するような場合に１回の計測範囲を超える長さに渡って計測する場合においても物体表面の傷を高精度で測定することが可能な物体表面傷の計測方法を提供する。
【解決手段】物体３の両端間に部材２を設け水平板６を押しつけて変形硬化させ、水平板を取り外し物体両端と部材表面とを結ぶ基準線を設定し、計測器を設置し、計測器を基準線に沿って移動させ物体表面までの距離を測定して傷の分布を示す第１の計測データを取得し、計測器を次の計測範囲内に設置し、計測器を移動させ物体表面までの距離を測定して第２の計測データを取得し、第１の計測データと第２の計測データとを連結させたデータを取得する。 （もっと読む）

【課題】組付受部品の位置及び姿勢からなる配置情報を容易且つ正確に認識する。
【解決手段】予め決められた部位に組付部品３を組み付けるための組付受部品２が配置された組立基台１の一部に設けられ、この組立基台１の位置及び姿勢からなる配置情報を認識する基準となる認識基準面１１と、この認識基準面１１に対し撮像具５にて撮像可能に設けられ、中心位置Ｃから周囲に向かって濃度パターンＰｃが順次変化するように形成される単位パターン印１３を予め決められた位置関係で四以上有する認識表示体１２と、を備える。組付受部品２に認識基準面１１と認識表示体１２とを備えてもよい。更に、組立情報認識装置や、組立処理装置をも対象とする。 （もっと読む）

【課題】測定装置に設けられたエアシリンダの内圧をより簡単に調整できるようにする。
【解決手段】エアシリンダ６２には、被検物の形状を測定するプローブ２６が固定されており、リニアアクチュエータによりエアシリンダ６２の稼動部６３を上下に移動させることで、プローブ２６が移動する。また、稼動部６３内部には、上部空間６５と下部空間６６とが設けられており、上部空間６５への空気の注入量を調整することにより、稼動部６３に対して上下方向に加わる力のバランスが調整される。上部空間６５への空気の注入量は、稼動部６３を移動させるリニアアクチュエータに供給される駆動電流の値に基づいて求められる。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】実際に路面上でタイヤが転動状態にあるときのトレッド部のブロックの変形状態を正確に測定することができるタイヤ形状計測装置を提供する。
【解決手段】カメラユニット１３は、クロスローラリング（ベアリング）を備えた連結手段１７を介して、車輪を転動可能にして車輪の車軸に取り付けられ、車輪を構成するタイヤ１１のブロック部を撮像する。レーザ変位計２１は、路面との距離を測定する。リニアアクチュエータ２２は、レーザ変位計２１の測定結果を用いて、カメラユニット１３と路面との距離を一定に保つ。 （もっと読む）

【課題】ワイヤロープのピッチを正確に測定することのできるワイヤロープピッチの測定方法とワイヤロープピッチ測定装置を提供し、さらに、ワイヤロープピッチに関する品質不良の発生を抑制できるワイヤロープの製造方法を提供する。
【解決手段】ワイヤロープ３０の側面に対向させたレーザ変位センサを用いて、ワイヤロープの径方向断面に沿ってワイヤロープ３０の側面にレーザ光３２を照射して該側面の変位の計測を行いつつ、レーザ変位センサをワイヤロープ３０の長さ方向に相対移動させ、レーザ変位センサのワイヤロープ３０に対する前記長さ方向の相対位置と前記変位の計測値との関係から前記ワイヤロープのピッチを算出する。 （もっと読む）

【課題】 微小な凹凸に加えて周期と変動量の大きな凹凸が存在する測定対象物の表面粗さも検出できるようにする。
【解決手段】 測定対象物ＯＢの表面上を接触しながら移動するスライダ４４に対物レンズ３０５を配置するとともに、スライダ４４をプローブ４０によって光学ヘッド本体３０に弾性的に支持する。レーザ光源３０１からのレーザ光を対物レンズ３０５により集光させて測定対象物ＯＢの表面に照射し、測定対象物ＯＢの表面からの反射光をフォトディテクタ３０８で受光して、フォーカスエラー信号を生成する。フォーカスエラー信号を用いてレーザ光の焦点位置から測定対象物ＯＢの表面位置までの距離に応じて変化する距離を計算して、前記計算した距離に、スライダ４４の光学ヘッド本体３０に対する相対位置の変動量を加味して測定対象物ＯＢの表面の基準面に対する凹凸の大きさを計算する。 （もっと読む）