【課題】三次元形状を測定する三次元測定の作業性を改善できる技術を提供する。
【解決手段】複数の識別点が設けられた対象物の三次元形状のうち第１領域に第１検出光および第２検出光を時間的に順次に投光する検出光投光手段と、検出光投光手段からの投光によって照明された第１領域の画像を撮影する画像撮影手段と、第１検出光が投光されたときの画像に基づいて第１領域の三次元形状を表現した三次元形状データを取得する形状取得手段と、第２検出光が投光されたときの前記画像に基づいて第１領域に設けられた複数の着目識別点のそれぞれの位置を表現した第１位置データを取得する位置取得手段と、前記第１位置データに基づいて、前記複数の着目識別点のそれぞれの位置を示す第１位置指示光を前記対象物に向けて投光する指示光投光手段を備える。 （もっと読む）

試験対象物（１２）の光学表面（１４）の形状を測定する方法が提供される。本方法は、測定波（１８）を発生させる干渉測定デバイス（１６）を設けるステップと、干渉測定デバイス（１６）及び試験対象物（１２）を相互に対して種々の測定位置に連続して配置し、光学表面（１４）の種々の領域（２０）が測定波（１８）により照明されるようにするステップと、測定デバイス（１６）の位置座標を試験対象物（１２）に対して種々の測定位置で測定するステップと、測定位置のそれぞれで測定デバイス（１６）を用いて、光学表面（１４）の各領域（２０）との相互作用後の測定波（１８）の波面を干渉測定することにより、表面領域測定値を得るステップと、測定位置のそれぞれにおける干渉測定デバイス（１６）の測定された位置座標に基づきサブ表面測定値を計算合成することにより、光学表面（１４）の実際の形状を判定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】測定対象５が受ける光の照度や照射方向の変化の影響を受けない、安定した計測ができる、ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】コンピュータ４は、測定対象５の所定領域６を表面高さ計測器２で計測して得られた当初表面高さ分布から、所定領域６の点Ａ，Ｂをそれぞれ包含する微小領域ａ，ｂの表面高さ分布を抽出する微小領域抽出手段、所定領域６の、経時後表面高さ分布上の、前記微小領域ａ，ｂに最も近似する微小領域ａ’，ｂ’内にあって、前記微小領域ａ，ｂにおける前記点Ａ，Ｂに対応する点Ａ’，Ｂ’の座標を算出する座標算出手段、及び測定対象５の線分ＡＢ方向のひずみを算出するひずみ算出手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる光学検査装置を提供する。
【解決手段】支持ユニット１００には検査対象物１０が載置される。第１照明ユニット４００は、短波長を有する第１光を生成して検査対象物１０に向けて照射する。撮像ユニット２００は、第１光が照射される検査対象物１０を撮像する。これと共に、光学検査装置１０００は、短波長の光を照射して検査対象物１０を撮像するので、検査対象物１０に形成された透明パターンの不良検査が可能である。 （もっと読む）

【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）

【課題】ガラス容器中の応力曲線に加えて応力層の厚さおよび壁厚の両者を迅速かつ正確に確定するために蛍光発光を使用する、ガラス容器壁中の応力および壁の厚さを測定するための装置および方法が開示される。
【解決手段】本装置および方法を、ガラス容器の全周囲にわたるガラス容器側壁中の応力および側壁の厚さの両者を迅速かつ正確に測定するために使用することができる。本装置および方法は、大規模ガラス容器製造に適合され、ガラス容器の側壁中の応力および側壁の厚さの高速測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】装置構成の簡略化と低コスト化とを実現する。
【解決手段】３次元計測装置１０は、被測定物１０５が載置された測定ステージ１０４と、複数の基準点を有する基準スケール部材１０１と、撮像部１０２と、駆動機構１０３と、高輝度検出部１１０と、３次元測定部１１１とを有する。撮像部１０２は、被測定物１０５の光学像と基準スケール部材１０１の複数の基準点の光学像とを同一視野で撮像する。高輝度検出部１１０は、駆動機構１０３が撮像部１０２を相対移動させる駆動期間内に撮像部１０２によって連続的に撮像された複数の画像から、撮像部１０２のＮ個の相対移動位置の各々に対して被測定物１０５の最大輝度部分を検出するとともに複数の基準点のうち最大輝度を示す基準点を検出する。３次元測定部１１１は、相対移動位置ごとに、前記最大輝度部分の高さを当該検出された基準点に対応付けられた高さに設定する。 （もっと読む）

【課題】操作者の負担を大幅に軽減しながら、細胞内の特定の領域における蛍光を正確に精度よく定量して、たんぱく質の局在や移行を正確に検出・特定することの可能な三次元細胞画像解析システム及びそれに用いる解析装置を提供する。
【解決手段】三次元細胞画像撮像装置１と、三次元細胞画像解析装置２を有する三次元細胞画像解析システムであって、撮像装置１は、蛍光標識された特定のたんぱく質の細胞内挙動を観察可能であるとともに、試料への合焦位置をＺ方向に連続的に変えて結像する観察光学系１ａと、光学系１ａを介して結像された細胞像を撮像する撮像素子１ｂを有し、解析装置２は、コンピュータを、撮像装置１を介して取得された三次元の蛍光細胞画像を解析して、特定の細胞内領域へのたんぱく質の局在あるいは移行を定量化する局在・移行定量化手段２ａとして機能させる画像解析ソフトウェアを備える。 （もっと読む）

【課題】生体試料の三次元形状を高精度に測定することが可能な構成の形状測定方法、画像処理プログラム、観察装置を提供する。
【解決手段】生体試料たる受精卵とこの受精卵の像を結像する第１観察光学系との光学的距離を変化させながら第１撮像装置により受精卵を一方側から順次撮影した複数の第１画像と、受精卵とこの受精卵の像を結像する第２観察光学系との光学的距離を変化させながら第２撮像装置により受精卵を他方側から順次撮影した複数の第２画像とを取得し、複数の第１画像及び第２画像に基づいて合焦測度を画素単位で算出し、受精卵の一方側の領域については第１画像より得られた合焦測度情報を優先適用し、受精卵の他方側の領域については第２画像より得られた合焦測度情報を優先適用して各画素の合焦点を求め、合焦点位置に基づいて受精卵の三次元形状を構築する。 （もっと読む）

【課題】デバイス画像を生成するための方法、システムおよびコンピュータ・プログラムを開示する。
【解決手段】方法は、デバイスの第一および第二画像を撮像するステップであって、該第一および第二画像はオーバーラップする部分を有する、撮像するステップと、オーバーラップする部分を予測して、第一および第二画像を近似的に整列するためのおおよそのシフト量を得るステップと、を含む。方法は、定義された相互相関アルゴリズムを使ってオーバーラップする部分を解析し、第一および第二画像を整列するための厳密なシフト量を計算するステップと、厳密なシフト量を使って第一および第二画像を一緒に結合するステップと、をさらに含む。一つの実施形態において、光学システムを使って画像が撮像され、第一および第二画像を撮像するために、ステージを使ってデバイスまたは光学システムのいずれかが移動され、予測するステップは、ステージの移動量を用いてオーバーラップする部分を予測するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】測定領域が狭小の場合のみならず比較的広大の場合であっても、被測定物の三次元形状を測定可能とする三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】色が規則的に経時変化する光パルスを生成するパルス光源３０及びチャープ導入装置３２と、生成された前記光パルスをワーク２４の表面２６に照射し、前記ワーク２４で反射された前記パルス光を所定のタイミングで所定の光量だけ切り出し、前記光パルスの反射光像を取得する反射光像取得部７０と、取得された前記反射光像の二次元情報及び色情報を用いてワーク２４の三次元情報を取得するカラー二次元検出器５２とを備え、反射光像取得部７０は、ワーク２４に照射される前記光パルスの照射領域４２を拡縮する焦点位置補正部６６と、拡縮された照射領域４２に応じて前記光パルスを切り出す前記所定の光量を調整するシャッタ動作補正部６８とを有する。 （もっと読む）

基材上の被膜の厚みを測定する方法を記載する。前記基材は、第２主表面と反対側の第１主表面を有し、前記被膜は前記第１主表面の一部分を覆っている。第１測定工程の間に、第１測定ビームを用いて第１基準点から前記基材の前記第１主表面の前記被膜で覆われていない一部分までの距離を測定し、第２測定ビームを用いて第２基準点から前記基材の前記第２主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。第２測定工程の間に、前記第１測定ビームを用いて前記第１基準点から前記被膜までの距離を測定し、前記第２測定ビームを用いて前記第２基準点から前記基材の前記第２主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。そのようにして測定した前記被膜の厚みは、自動車用グレージングペインにインクを塗布する方法における制御パラメータとして用いることもできる。
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【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】三次元形状計測装置のキャリブレーションを、カメラ解像度や移動分解能に依存せずに高精度に行う。
【解決手段】階段形状部に４つの段上平面を設け、各段上平面には、輝線ＬＬに対して平行ではない輪郭を有し、その輪郭を境にして反射率の異なるパターンを形成したキャリブレーション用ブロック４０と、キャリブレーション用ブロック４０の底部からの高さ寸法とパターンの位置座標とのリファレンスデータを記憶した記憶部６０と、キャリブレーション用ブロック４０を載置する載置台３０と、輝線ＬＬを撮像する撮像部２０と、載置台３０を移動させる載置台駆動部９０と、撮像された輝線ＬＬから特徴点を検出する特徴点検出部７０と、検出された特徴点の撮像画像における特徴点座標から幾何学的パターンの頂点座標を計算し、この頂点座標とリファレンスデータとに基づいて校正用データを生成する校正用データ生成部８０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】対象物のステレオ視によって対象物の位置を計測するに際し、量子化誤差を軽減することができる位置計測システム及び位置計測方法を提供する。
【解決手段】位置計測システム１では、対象物Ｔのステレオ視において２台のカメラの視線領域が重なる重複領域に対象物Ｔの真値（真の座標）が存在することに鑑み、視線領域ＳＲ１，ＳＲ２が、カメラ２_１，２_２の移動によって、隣り合う一方の視線領域から他方の視線領域に移動したことを検出したときには、視線領域ＳＲ１と視線領域ＳＲ２とが重なる重複領域ＤＲ１のうち、一方の視線領域と他方の視線領域との境界領域に対象物Ｔが位置すると判断し、対象物Ｔの位置を算出する。これにより、重複領域ＤＲ１から境界領域へと、真値が存在する領域が狭められる。 （もっと読む）

【課題】正確な測定を安定的に行うことができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】回転ステージ１３の下部構成部材１４の軸部２２を固定部１２の凹部２３内に挿入し、軸部２２を軸受け２４を介して凹部２３の内周面２５に支持することによって、回転ステージ１３を固定部１２に回転自在に支持する。回転ステージ１３の上部に直動ステージ７１を設け、直動ステージ７１を回転ステージ１３の径方向７３に延設する。直動ステージ７１にカメラ８１を支持し、回転ステージ１３にセットされたワーク２の径方向７３に延在する直線８２上を移動できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度な断面形状の検出を可能にする。
【解決手段】撮像カメラの焦点位置をＺ座標方向に順次変化させながらＺ座標方向に深さを有する箇所中でＸ座標方向には一様な断面形状をなす部分がＸ座標に平行となるように撮像して各焦点位置のＺ座標で特定される階層毎の撮像データを取得してメモリに記憶させる撮像データ取得工程（ステップＳ１〜Ｓ４）と、階層毎に取得されメモリに記憶された撮像データ中でＸ座標方向には一様な断面形状をなす部分の該撮像データを構成する複数の画素の中でＹ座標により特定されるＸ座標方向に並んだ画素をライン集合画素とし、ライン集合画素から得られる空間強度分布に基づいてＺ座標方向に深さを有する箇所の断面形状を求める演算工程（ステップＳ５〜Ｓ７）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】誤差の少ない高精度な位置検出が可能な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記スライダにレーザ光源、レンズおよびイメージセンサを搭載し、前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記プラテンで反射させ前記レンズを介して前記イメージセンサで受光するように構成した。 （もっと読む）

【課題】剛体電車線の幅方向の摩耗に関する情報を得ることが可能で、剛体電車線の状態を高精度で簡易に測定する剛体電車線測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、レール上を移動する保守用車に搭載されて剛体電車線１０の測定を行う剛体電車線測定装置であって、ローラー支持部材１３１によって回動可能に支持されると共に、前記剛体電車線１０に接触し前記保守用車の移動に伴い回転する摺接ローラー１３２と、前記摺接ローラー１３２の回転を検出するロータリーエンコーダー１３３と、前記剛体電車線１０の幅方向にわたる形状を計測するラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０と、前記ラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０を移動可能に搭載するリニアレール１４１と、前記ローラー支持部材１３１と前記リニアレール１４１とが搭載される計測基台１３０と、前記摺接ローラー１３２を一定の荷重で前記剛体電車線１０に接触させる定荷重バネ１２３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転体である被測定物の熱変位により変位した位置を簡易な構成で且つ正確に検出し得る被測定物位置検出装置及びその被測定物位置検出装置を備える切削機械を提供する。
【解決手段】位置検出手段１８がチャック１２に連結したフランジ６６に対向し、チャック１２の熱変位により変位した位置を検出する。即ち、簡易な構成で且つ正確にチャック１２の上記位置を検出し得る。また、位置検出装置１８がチャックの熱変位に対応する位置を正確に検出するので、バイト２５又は２６を精度良く切削位置へ移動し得る。更に、チャック１２の位置データなどを、回転するチャック１２とは別部材である位置検出装置１８を介して出力させることができるので、例えばブラシホルダーなどを不要にできる。 （もっと読む）