【課題】光の反射率が異なる複数の測定対象部位を有する試料に対しても精度の高い測定を可能とする。
【解決手段】メモリ６５には、試料３０の第１及び第２の測定対象部位に応じた光量設定データを予め記憶されている。制御ユニット６０の第１の画像取得制御部６２は、第１の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ６６に記録する。続いて、第２の画像取得制御部６３は、第２の光量設定データで表される光量の光により、共焦点顕微鏡の各焦点位置で得られた各画像の中で輝度が最も高い画素のみが選択された画像を取得し、その画像をメモリ６６に記録する。そして、３次元測定装置は、第１及び第２の画像取得制御部６２，６３により取得された画像から輝度が最大の画素が撮像されたときの焦点位置から第１及び第２の測定対象部位の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】光源の波長変動に関係なく、高い安定性で高精度に被測定面の変位を検出する。
【解決手段】光源１０２から射出された射出光Ｌは偏光ビームスプリッタ１０８等を介して第１の色消しレンズ１５０Ａに入射される。第１の色消しレンズ１５０Ａでは射出光Ｌの波長変動によって生じた焦点距離のずれが補正される。被測定面ＴＧで反射された反射光Ｌrは偏光ビームスプリッタ１０８等を介して第２の色消しレンズ１５０Ｂに入射される。第２の色消しレンズ１５０Ｂでは、射出光Ｌや反射光Ｌrの波長変動によって生じた焦点位置のずれが補正される。これにより、対物レンズを含む光路上のレンズによって生じる色収差を補正することができ、高い安定性かつ高精度に被測定面の変位を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】ノイズ光成分を除去することで、内部から穴形状を撮像できない被検物体の光学的な形状測定を行うことができる穴形状測定装置を提供する。
【解決手段】穴形状測定装置を、光軸方向に延びるように形成された穴Ｈを有する被検物体８０の当該穴Ｈから放射された光を集光する機能を有する対物レンズ２０と、この対物レンズ２０の射出瞳面若しくは当該射出瞳面と共役な面に配置され、被検物体８０のうち、穴Ｈから放射された光線を通過させる開口部３２、及び、穴Ｈ以外の部分から放射された光線を遮光する遮光部３１を有する遮光部材３０とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 溶接金属内あるいは裏ビードなどにおける欠陥要素を反映した溶接品質評価を行うことができる溶接品質検査方法および装置、特にパイプ突合せ継手のアーク溶接部における溶接品質評価を溶接施工時に行うことができる溶接品質検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 表面形状計測器２０を用いて溶接前の開先表面形状と溶接後のビード表面形状を測定して両者の形状差から溶接部の溶着金属量を算定し、溶接ワイヤ送給量測定器３０により求めた溶接ワイヤ供給量に基づいて溶接金属供給量を推定し、溶着金属量の溶接金属供給量に対する比率を算定して、この比率を溶接品質の指標とする溶着指数として表示器に表示する。 （もっと読む）

【課題】配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現する。
【解決手段】欠陥検出を行なう被対象物である試料に照射する光の偏光（アルファ）（ｓ偏光からの角度（アルファ））を、試料の回路パターンの条件、照射光の方位角及び入射角を所定の計算式に代入して算出する。偏光（アルファ）は、ｐ偏光とｓ偏光との間にある。算出した偏光（アルファ）の光を試料に照射して欠陥を検査する。これにより、配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】フレームの穴開け加工精度を確認する。
【解決手段】フレームを載置する定盤と、この定盤上を移動可能に設けられたカメラユニットと、このカメラユニットの定盤上の位置を特定するカメラ位置特定手段と、二つの穴のいずれか一方を基準穴とし、他方を測定穴としたときに、基準穴を撮影したときのカメラユニットの位置情報と測定穴を撮影したときのカメラユニットの位置情報とから基準穴と測定穴との間隔を演算によって求める穴間隔演算手段とを備える。また、穴間隔演算手段は、カメラユニットの画角内における基準穴および測定穴の画像の位置と予め定められた画角内の基準点の位置との位置関係に基づき基準穴および測定穴を撮影したときのカメラユニットの位置情報を補正する位置情報補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】つぼ型の焼却炉に対し、炉内壁の経年劣化にともなう炉壁の減肉量を簡便に測定することを可能とする炉内壁減肉量測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ距離計１１２に関して、炉内壁１ｗまでの距離、移動深さ、および、回転角度のパラメータに基づき、設計寸法と炉内壁までの距離とが比較されることにより、容易に炉内壁１ｗの減肉量を測定することができる。また、レーザ距離計１１２を保持するやぐら部材１００も、移動深さＤ、および、回転角度θのパラメータを測定することのみで良いため、その構造も簡便なものとすることができる。 （もっと読む）

本発明は、被対象物に対する機械的誤差を実時間で補正しながら被対象物の表面座標を精密に測定することができる構造の基準板を用いた３次元座標測定機に関するもので、被対象物の上方に配置されてＸ軸ステージ軸上に左右に移動自在な状態で設置される測定部と、測定部の上方に配置されて固定される基準板とを備え測定部が、測定部と基準板との間の距離及び測定部と被対象物との間の距離を実時間で測定してＸ軸ステージの機械的誤差を補正して精密に測定するように設計されているものである。 （もっと読む）

【課題】積層型３次元半導体装置の貫通電極の製造工程において、貫通穴底に形成した薄膜の厚さを非破壊で測定する。
【解決手段】本発明の一態様に係る膜厚測定装置１００は、第１波長の照明光と第２波長の照明光とを切替可能な光源部と、試料３０で反射した反射光を検出して、試料３０の所定の領域における画像を取得する光検出器１９と、光源部からの照明光を試料３０まで導くとともに、試料３０からの反射光を光検出器１９まで導く共焦点光学系と、薄膜の膜厚を算出するために、第１波長の光による第１画像と、第２波長の光による第２画像とに基づいて、第１波長及び第２波長に対する反射率の測定データをそれぞれ求める処理部２０とを備え、処理部２０は、波長と反射率との関係が前記薄膜の膜厚毎にそれぞれ示されている計算データを参照して、測定データから薄膜の膜厚を近似して算出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工の作業能率の向上及び加工精度の向上を図る。
【解決手段】複数のマイクロミラーにより、レーザ光源２から入射するレーザ光を反射させ、レーザ光の光束断面形状を規制して射出する光束規制手段３と、レーザ光により加工される被加工物１０と対向して設けられレーザ光を被加工物１０上に集光する対物レンズ４と、を備えたレーザ加工装置であって、光束規制手段３からレーザ光源２に向かう光路が分岐された光路上に設けられ光束規制手段３の複数のマイクロミラーに白色光を照射する白色光源６と、対物レンズ４から光束規制手段３に向かう光路が分岐された光路上に設けられ、複数の受光素子を備えて上記複数のマイクロミラーで反射された白色光の被加工物１０からの反射光を受光する撮像手段７と、対物レンズ４と被加工物１０との間の距離を変位させる変位手段９と、を備えて、微小高さの測定を可能にしたものである。 （もっと読む）

【課題】機構が簡単で調整も煩雑ではなく、省スペースであり、しかも高精度なアライナーを提供する。
【構成】ラインセンサ３で計測した回転軸５ａとウェハ４外周位置との最短距離δ２及び最長距離δ３の計測データに基づき最短距離δ２と最長距離δ３との差δ４が算出され、回転軸５ａの回転を、ウェハ４外周位置が最短距離となる状態または、ウェハ４外周位置が最長距離となる状態のどちらかの状態で停止する。次にリフトピン６を下降位置のまま第一駆動部７を駆動して、測定寸法差δ４の１／２だけ移動し、第２駆動部８の駆動によって上昇させ、バキューム９を作動してリフトピン６に備えられたバキュームチャックによってウェハ４がリフトピン６に保持されて測定寸法差δ４の１／２だけＸ軸方向に搬送される。 （もっと読む）

【課題】柱状部材の軸心方向任意位置における外径を測定可能な外径測定装置、及びこれを用いた柱状部材の任意位置における外径測定方法を提供する。
【解決手段】柱状部材２の軸心Ｃ１方向任意位置における外径を測定する装置であって、前記柱状部材２を軸心Ｃ１が垂直方向になる様に支持する支持部を有するホルダ３と、このホルダ３を挟み、このホルダ軸心と直交する直径方向の基台１５上に、対向して配設された一対の二次元レーザ式第１変位センサ６と、前記ホルダ軸心から前記直径方向と交差する方向の基台１５上に配設された二次元レーザ式第２変位センサと、前記基台１５に固定され、前記ホルダ３を垂直方向に昇降可能な昇降手段８と、前記ホルダ３に支持された柱状部材２の測定対象部位の移動距離を測定可能な垂直移動距離測定手段８とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で短時間で螺子部の螺旋形状を非接触状態で測定する。
【解決手段】雄螺子１０の螺子部１３に測定光を照射して得られる投影光により螺子部１３の形状を測定する雄螺子１０の測定装置２０であり、螺子部１３を突出させた状態で雄螺子１０を支持する支持部２１と、測定光を螺子部１３の一方の側方側から照射可能な照射部と、測定光により得られる螺子部１３の軸線Ｌに沿う最大断面形状の投影像の外縁により、外縁に対応する螺子部１３の検出位置を検出する検出部３５と、検出位置と螺子部１３の軸線Ｌとの間の垂直距離を演算することで、螺子部１３の螺旋形状の半径を求める処理部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングからの蛍光を受光して紫外光画像を生成し、可視光を受けた基板１からの反射光を受光して可視光画像を生成する。コーティング検査装置１０は、可視光画像に基づいて基板１の位置を特定し、生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて基板１のコーティングを検査する。特定された基板１の位置を用いて被検査画像の位置を補正したうえでコーティングを検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】 サーボ信号に基づく評価値を用いて光ディスクの光透過層の表面の評価を行う際に、サーボ残差とデータ復号エラーの発生量との相関関係が低いために評価の精度が低いという課題を解決する。
【解決手段】 フォーカスまたはトラッキングのサーボ信号を検出し、検出された前記サーボ信号とその検出時間から前記サーボ信号の推移を検出し、前記サーボ信号の推移から得られたピークのうち、所定の閾値を超えた部分について、前記所定の閾値からのピーク高さをその継続時間と線速度との積で算出される距離で積分し、積分によって得られた積分値を合計して評価値を算出し、該評価値とデータ復号エラーの発生量との相関関係に基づいて、前記光ディスクの光透過層の表面の凹凸を評価する。 （もっと読む）

【課題】長距離を移動する移動体の位置を精度良く検出できる位置検出システムを提供する。
【解決手段】両面に反射面が形成された反射板６が、クレーン本体２の移動経路に沿って、間隔が全て異なるようにして複数配置される。反射板支持フレーム５に内蔵される姿勢状態検出装置は、各反射板６の姿勢状態を検出する。測距装置３は、クレーン本体２と共に移動し、移動経路における前後方向に測定波を出射し、各方向について、反射板６によって反射された測定波の反射波を検出することで、当該反射板６までの距離を計測する。制御装置７は、測距装置３の計測結果と、姿勢状態検出装置の検出結果と、に基づいて、クレーン本体２の現在位置を求める。反射板６は、クレーン本体２が接近した際、測定波を反射可能な姿勢からクレーン本体２の通過を妨げない姿勢に切り替わる。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置の蛍光体や色素材の塗布に用いる塗布ノズルの検査方法において、塗布ノズルに形成された多数の微小な塗液量が適切であるかどうかを検査し、吐出量の適切さを評価できる塗布ノズル検査装置を提供する。
【解決手段】吐出口９２から連続的に液体を吐出させ柱状流を形成させておき、その柱状流に光をあてて３５，３６、透過光の輝度を測定する。透過光の状態は柱状流の直径に応じて変化するため、得られた輝度情報を処理することによって吐出量の違いを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置１０は、生成した画像のうち少なくとも１つに基づいて基板１のコーティングを検査する。コーティング検査装置１０は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】最適な方法で３次元マップを生成できる画像処理装置、荷物搬送設備、及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】荷物搬送設備１００の制御部７０は、カメラ１０を移動させて、二地点において撮像させた二枚の２次元画像に基づいて部分的な３次元マップを生成する３次元マップ生成手段を備える。制御部７０は、予め、ガイドレール９０上の各地点からカメラ１０に撮影させて、それらの画像から全体の３次元マップを生成して記憶させる。制御部７０は、記憶している全体の３次元マップに基づいて、任意の撮像対象地点を見通せる地点を導出し、その地点の近傍でカメラ１０に撮像対象地点が撮影できた３次元マップが生成できるまで撮像させ、その部分の３次元マップを生成し、撮影対象地点の３次元マップを取得する。 （もっと読む）

【課題】モアレ式熱変形測定装置について、黒色や鏡面の表面を有している測定対象物についても塗料の塗布などの前処理を不要にできるようにする。
【解決手段】モアレ式熱変形測定装置１は、恒温チャンバ２中で測定対象物６に所望の温度変化を与え、その温度変化による測定対象物の熱変形をモアレセンサ３により恒温チャンバの窓部１１における透明板１２を通して測定するようにされている。そしてモアレセンサは、所定の格子パターンが形成された格子１５、格子を通して照明光を測定対象物に照射することで変形格子パターンを測定対象物に生じさせる照明系１６、および格子を通して測定対象物における変形格子パターンを撮像することでモアレ縞を含む画像を得る撮像系１７を有してなり、その照明系における照明光として平行光線が用いられている。 （もっと読む）