【課題】被測定物の表裏面の三次元測定を高精度かつ高速に行う。
【解決手段】レンズ２０と基準球２０Ａ，２０Ｂと基準平面３０の三次元形状を表面側及び裏面側のいずれ側からでも表裏両面において測定可能な被測定物形状測定治具１０を用いて、基準球２０Ａ，２０Ｂの中心点座標と、基準平面３０の平面の傾きと、レンズ２０のＲ１面及びＲ２面のそれぞれの頂点座標Ｐｒ１，Ｐｒ２及び光軸Ｌ１，Ｌ２の方向を得て、Ｒ２面側測定データをＹ軸回りに１８０°回転させ、Ｒ１面側及びＲ２面側測定データを、例えば基準球２０Ａの中心点座標Ｏ１が一致するように平行移動させ、Ｒ１面に対するＲ２面の偏心ｄ及び傾きθを求める。 （もっと読む）

【課題】露光装置の構成の複雑化やコストの増加を抑えながら照度センサの位置を高精度に検出する。
【解決手段】露光装置ＥＸは、照明系ＩＬによって照明される原版１１のパターンを投影光学系１３によって基板１４に投影して基板１４を露光する。露光装置ＥＸは、照明系ＩＬによる照明領域を規定する遮光部材１０と、投影光学系１３の像面において照度を計測するための照度センサ１８の該像面における位置を検出する制御部ＣＮＴとを備える。制御部ＣＮＴは、投影光学系１３の像面に対して光が入射する位置が該像面に沿って移動するように遮光部材１０を移動させながら得られた照度センサ１８の出力に基づいて該像面における照度センサ１８の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】ボイラ内部の広範囲にわたる検査対象を安定した精度で検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】ボイラ火炉における内壁面に沿って並んで延びる複数の管５３の検査を行う検査装置１であって、管５３の表面に固定される固定部１０と、固定部１０から延び、管５３に向かって照明光を出射する照明部３および管５３を撮像する撮像部２を支持する支持部６Ｘ，６Ｙ，７，８，９と、管５３と照明部３および撮像部２とを相対移動させる移動部２１Ｘ，２１Ｙ，２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚと、管５３に対する照明部３および撮像部２の姿勢を検出する姿勢検出部４Ｘ，４Ｙと、管５３と照明部３および撮像部２との間の距離を検出する距離検出部５と、姿勢検出部４Ｘ，４Ｙおよび距離検出部５の出力に基づいて、移動部２１Ｘ，２１Ｙ，２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚを制御する制御部と、が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被加工物の厚さにバラツキがあっても被加工物の表面から所定の深さ位置に正確に加工を施すことができるレーザー加工装置レーザー加工装置を提供する。
【解決手段】高さ位置検出手段８は加工用レーザー光線の波長と異なる波長の検出用レーザー光線を発振する検出用レーザー光線発振手段８０と被加工物の上面で反射した検出用レーザー光線の反射光を分析し分析結果を制御手段に送る反射光分析手段８５とを具備しており、検出用レーザー光線の集光点位置と加工用レーザー光線の集光点位置を変位せしめる集光点位置変位手段８２を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークと工作機械の一部との衝突を防止する際に用いるワーク形状の３次元データを容易に取得することができるワーク計測装置、衝突防止装置および工作機械を提供する。
【解決手段】加工対象であるワークを加工する工具が取り付けられる主軸に取り付けられ、非接触で前記ワークまでの距離を走査して測定する測定部１５と、空間を多面体状に分割して形成された３次元メッシュ構造を生成し、測定された前記ワークまでの距離情報に基づいて、ワークの測定点座標を算出し、３次元メッシュ構造の一単位と対応するワークの位置を走査した回数に対する、算出した測定点が一単位に含まれる回数の比率が所定の閾値以上のときに、一単位は前記ワークの形状であるとして測定形状マップを作成する形状認識部２３と、が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程等に組込み、製品の全数において三次元形状・位置品質を高速に評価することができる三次元形状・位置品質評価システム及びその方法を提案する。
【解決手段】評価対象物の三次元形状・位置品質評価システムであって、前記評価対象物のセット治具８と、評価対象物の所定位置に配置され、３平面を有する座標基準物９と、評価対象物及び座標基準物９が有する３平面の各三次元座標を同時に計測するレーザーセンサ１０と、レーザーセンサ１０を評価対象物の所定位置に搬送するロボット１１と、ロボット１１の動作を制御する制御装置１２と、座標基準物９を座標基準として用いて、レーザーセンサ１０によって計測された評価対象物及び座標基準物９の計測データについて座標変換を行い、座標変換後の計測データと評価対象物の設計形状を表すＣＡＤデータとのズレ量を算出する処理を行うデータ処理装置１５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 被検物の計測時に要する計測時間を短縮する。
【解決手段】 被検物を保持するとともに、被検物を識別する際に用いられる識別部が備えられた保持部材と、被検物の形状を測定するとともに、保持部材に保持された識別部の形状を測定する測定手段と、被検物の形状を示す第１形状データが複数記憶された記憶手段と、測定された識別部の形状に基づいて、記憶手段に記憶された複数の第１形状データから、測定手段によって測定された識別部の測定データに対応する第１形状データを読み出す読出手段と、読出手段によって読み出された第１形状データに基づいて、被検物の測定時における測定手段の測定動作を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】物体（対象物）の画像教示なしに、１台のカメラで物体の位置と姿勢を正確に検出することができる三次元位置姿勢計測方法および装置を提供する。
【解決手段】対象物１のモデルデータ５を予め記憶するモデル入力ステップＳ１と、検出する対象物を撮影して画像２を取得する画像撮影ステップＳ２と、画像２からモデルデータに対応する画像上の特徴データ６を抽出する特徴抽出ステップＳ３と、モデルデータと画像上の特徴データとの幾何学的一致度を評価する一致度評価ステップＳ５と、モデルデータが幾何学的一致度の高い画像上の特徴データの位置に移動するように座標変換式を算出する座標変換ステップＳ７と、座標変換式により対象物１の三次元位置姿勢を決定する位置姿勢決定ステップＳ８とを有する。 （もっと読む）

【課題】より簡単に測定精度を向上させる。
【解決手段】測定部２１は、被検物１２にパタン光を投光し、被検物１２において反射したパタン光の観察画像を撮像する。撮像画像の撮像は、投光されるパタン光の焦点面Ｓと被検物１２との相対的な位置を変化させながら行われる。合焦測度算出部２３は、観察画像上のパタン光の像であるパタンについて、パタンの位置を示すパタン位置情報を生成するとともに、合焦測度を算出する。パタン移動角度算出部２４は、各パタンの焦点面Ｓごとの合焦測度およびパタン位置情報に基づいて、各パタンについて、パタン光の主光線のＣＣＤ４１への入射角度を、被検物１２の形状の測定結果の信頼度を示すパラメータとして算出する。本発明は、３次元形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】測定可能な内面条件を広く確保し、より高精度な測定結果が得られる内面測定装置を提供する。
【解決手段】スリット光を照射された被測定物の内面を撮像する撮像手段５を備えた内面測定装置１。撮像光軸を前記スリット光照射内面に偏向するための撮像プリズム４が配置され、スリット光照射内面でのスリット光の反射光量が全測定範囲において撮像手段５の最小感度光量以上でかつ飽和光量内となるようにスリット光の照射方向と撮像プリズム４の配置位置とが調整され、スリット光の照射角度と撮像光軸の撮像角度とに応じて、撮像面５１ａが撮像光軸に対して傾けられている。 （もっと読む）

【課題】ボイラ火炉の内壁面に沿って上下方向に伸びて隣接配置される複数の蒸発管の減肉状態を、レーザ変位センサによって測定した蒸発管の表面形状に基づいて、精度良く、効率的に、広い範囲にわたって検査できるボイラ火炉蒸発管の検査装置および検査方法を提供すること。
【解決手段】ボイラ火炉内壁面に上下方向に伸びる複数の蒸発管４の表面に、マグネット１８によって立設固定される支柱２０と、該支柱２０に固定されて蒸発管４の表面へ照射するレーザを生成する変位センサ１２を支持する支持枠２８と、該支持枠２８に対して前記変位センサ１２を蒸発管４の軸方向に移動せしめる移動機構３１とから構成されるスキャン装置１４を備え、さらに、前記変位センサ１２からの信号による蒸発管４の断面表面形状と減肉の無い基準形状との差分から蒸発管４の減肉量を算出して減肉状態を評価する信号処理装置１６を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】安価に構成することができ、使用することができる状況の制約が少なく、２次元画像情報及び３次元情報の両方を高速に生成することができる画像情報生成装置を提供する。
【解決手段】処理選択部２６０は、投影用光源２０４を消灯させ照明用光源２１４を点灯させているフレームＦＬ１，ＦＬ３，ＦＬ５，・・・にカメラ２２４に第１の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第１の画像データＤ１，Ｄ３，Ｄ５，・・・を投影可否判定部２７０に処理させ、照明用光源２１４を消灯させ投影用光源２０４を点灯させているフレームＦＬ２，ＦＬ４，ＦＬ６，・・・にカメラ２２４に第２の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第２の画像データＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・を３次元情報生成部２６２に処理させる。３次元情報生成部２６２は、半導体ウエハＷに関する３次元情報を画像データＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・から生成する。 （もっと読む）

【課題】リング状光源と光出射部との間に十分な距離を確保しつつ、非正反射領域の発生を防止する。
【解決手段】カメラ１の光軸１２に沿って光を照射する第１照明部２Ａの下方に設ける第２照明部２Ｂの光通過部を、下端部に向かうほど径が小さくなるすり鉢状に形成された中空体２３と短筒部２５とにより形成する。中空体２３の周囲には、ＬＥＤ２６によるリング状光源が配備され、短筒部２５は、拡散剤を含む樹脂によりドーム状部２４と一体に形成される。第１照明部２Ａからの照明光は、中空体２３から短筒部２５を通過してワークＷに照射されるが、短筒部２５の上端の開口端面に達したときに、その開口に対応する大きさになるように調整される。ＬＥＤ２６からの光は、ドーム状部２４の傾斜面で拡散して短筒部２３にまで伝搬され、その上端部からもワークＷに向かう光が照射される。 （もっと読む）

【課題】測定動作を停止することなく、オートフォーカス動作を実行させることにより時間短縮が可能な画像測定方法および画像測定装置を提供。
【解決手段】被測定物に対する撮像位置座標およびオートフォーカス位置座標を記憶手段に記憶させる登録工程（ＳＴ１）と、記憶手段に記憶された位置座標を順番に呼び出し、その位置座標がオートフォーカス位置座標であるかを判別する判別工程（ＳＴ３）と、オートフォーカス位置座標でないとき、撮像位置座標へ撮像手段を相対移動させて撮像する撮像工程（ＳＴ４）と、位置座標がオートフォーカス位置座標のときオートフォーカス位置座標へ撮像手段を相対移動させるとともに、撮像手段の光軸方向へ相対移動させながら複数位置で撮像するオートフォーカス動作工程（ＳＴ５）と、得られた画像から合焦位置を求めその位置に記憶手段に記憶された撮像位置座標を補正する補正工程（ＳＴ６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像測定装置において、照明手段の光量が変化した場合に、被測定箇所毎に設定された照明設定値を修正しなくても、同じ照明光量となるように容易に設定できる照明光量の設定方法を提供すること。
【解決手段】画像測定装置は、予め設定された測定手順に基づいて複数の被測定箇所を撮像するカメラと、被測定箇所を照射する照明ユニット１９とを備え、被測定箇所毎に予め設定された照明設定値Ｌ_Ｐを参照し、これに対応した照明光量を照明ユニット１９によって照射しながら、被測定物の寸法や形状を測定する。照明光量の設定方法は、被測定箇所毎に設定された照明設定値Ｌ_Ｐに対応した照明光量を照射させる指令信号を出す指令信号出力工程と、指令信号にオフセット値Ｌ_０を付与して照明手段に与えるオフセット値付与工程と、オフセット値Ｌ_０を可変可能に設定する設定工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】光トモグラフィー計測を用いた光断層画像化システムにおいて、干渉信号のＳ／Ｎ比を向上させる。
【解決手段】一定の周期で波長を掃引した光を用いた光トモグラフィー計測において、反射光Ｌ３と参照光Ｌ２との干渉光Ｌ４が光分岐手段５により第１干渉光Ｌ４ａと第２干渉光Ｌ４ｂとに分岐される。第１干渉光Ｌ４ａと第２干渉光Ｌ４ｂとは、干渉光路長調整手段６０Ａ、６０Ｂにより光路長が同一になるように調整された後、干渉光検出手段７０においてバランス検波される。 （もっと読む）

【課題】圧痕の状態を判別する検査およびダミー電極の位置関係を判別する検査を、同じ検査装置で精度良く実行できるようにする。
【解決手段】カラー画像用のカメラ１０と、カメラ１０の光軸に沿って緑色光Ｌ_Ｇを照射する第１の照明部１２と、光軸に対して斜めになる方向から赤色光Ｌ_Ｒを照射する第２の照明部１３とを用いて、液晶パネルのガラス基板とＩＣ，ＦＰＣとの接続状態を検査する。異方性導電膜による接続によってガラス基板の基板側電極に生じた圧痕の状態を検査する場合には、カラー画像データの緑色成分の強度に基づき、圧痕の数および面積の適否を判別する。また、ダミー電極の位置関係を検査する場合には、ガラス基板側のダミー電極を表す緑色パターンとＩＣ，ＦＰＣ側のダミー電極を表す赤色パターンとを検出し、これらのパターン間の位置関係の適否を判別する。 （もっと読む）

方法は、試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号の各々と、試験対象物の位置に対して得られた走査干渉法信号とを比較することを有する。各モデル信号に対して、比較することは、走査干渉法信号とモデル信号の間の相関関数を算出し、走査干渉法信号とモデル信号の間の表面高さオフセットを特定すること、および、特定した表面高さオフセットに基づいて、共通の表面高さに対する、走査干渉法信号とモデル信号の間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出することを有する。本方法は、異なるモデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、試験対象物の位置での試験対象物パラメータを判定することをさらに有する。
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【課題】撮像手段の撮像方向を変更した場合に、撮像手段の位置を校正可能な画像測定装置の校正方法を提供すること。
【解決手段】画像測定装置は、対物レンズ３１を有するＣＣＤカメラ３と、撮像方向を変更させる姿勢変更装置と、ＣＣＤカメラ３とワークとを相対移動させて対物レンズ３１のオートフォーカス機能を有する移動機構と、ＣＣＤカメラ３の位置検出機構とを備える。校正方法は、対物レンズ３１の焦点深度ＤＦ以下の半径寸法に形成された球部１３を有し、その表面を基準面１４とする基準器１０を準備する準備工程と、撮像方向を変更する姿勢変更工程と、移動機構のオートフォーカス機能により、基準面１４に対物レンズ３１の焦点を合わせる焦点調整工程と、位置検出手段により撮像手段の位置情報を検出する位置検出工程とを備え、ＣＣＤカメラ３の位置を校正する。 （もっと読む）

【課題】距離センサから得られる距離データを用いて、対象物体の三次元的な位置姿勢を認識する。
【解決手段】物体の位置及び姿勢を認識する物体認識装置であって、（１）モデル入力手段と、（２）シーン計測手段と、（３）対応点ペア作成手段と、（４）幾何学的一貫性を有する他の対応点ペアをグループＧｉに追加する処理を繰り返し、全ての対応点ペアを基準にグループを作成するグループ化手段と、（５）物体の位置姿勢を決定する一致度検証手段と、（６）位置姿勢を補正する処理を繰り返すことで高精度化し、最終的な位置姿勢を算出する高精度化手段を備える。 （もっと読む）