【課題】より正確かつ確実に形状測定装置の校正を行う。
【解決手段】俯瞰カメラ、光切断プローブ、および、接触式プローブを用いて被検物の形状を測定する形状測定装置のステージの上面には、校正用のゲージ２１が設けられている。ゲージ２１は、形状測定装置の校正に用いる凹球面状の凹部５１と、凹部５１を構成する凹球面の中心を含む所定の範囲に入射する光を遮光する遮光部材５２により構成される。本発明は、例えば、被検物の３次元形状を測定する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】微小穴の内径等の微細形状の測定に際して、測定の非接触化による高精度化を図ると共に、光量変化の検出という単純な検出原理によるシステムの簡素化、低価格化を図る。
【解決手段】側面がセンシング面１２Ｂであるコア１２のみで構成され、該コア１２の端面１２Ａ、または、前記センシング面１２Ｂとコア端面１２Ａとの間の該コア１２内、もしくは該コア端面１２Ａの外側の少なくともいずれか一つに反射面を有する光ファイバ１０を備え、前記センシング面１２Ｂへの誘電体ワーク１６の近接により生じる、前記光ファイバ１０に入射され、前記反射面で反射されて戻ってきた光の減衰を検出する。 （もっと読む）

【課題】ワークが撮像されたボケ画像からワークの位置を精度良く検出するロボットシステムを提供する。
【解決手段】ワークＷに対して作業を実施するロボット１０と、前記ワークＷを載置するとともに、蛍光体マーカー７４を備えたステージ７２と、前記ワークＷと前記蛍光体マーカー７４とを所定の露光時間で撮像するカメラ２０と、前記カメラ２０の露光時間より短い周期で前記蛍光体マーカー７４を点滅発光させるマーカー制御部４５と、を備え、前記カメラ２０により撮像されたボケ画像から前記蛍光体マーカー７４の軌跡画像１００を抽出して、前記軌跡画像１００から点拡散関数を算出する点拡散関数算出部３５と、算出した前記点拡散関数を用いて、前記ボケ画像を画像変換し前記ボケ画像からボケていない元画像を生成する画像生成部３７と、前記元画像から前記ワークＷの位置を算出する位置算出部３９と、を有するロボットシステム５。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の外観を効率良く把握できる三次元形状測定システム及び三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】色が規則的に変化する光パルスをパルス光源５６及びチャープ導入装置６０により生成し、生成された前記光パルスをワーク３０に照射し、該ワーク３０から反射された前記光パルスの反射光像をシャッタユニット４２により取得し、取得された前記反射光像の二次元情報及び色情報を用いてワーク３０の三次元情報をカラー二次元検出器８８により取得する。また、カラー二次元検出器８８により取得されたワーク３０の二次元情報に基づいて所定の箇所を選択し、該所定の箇所における三次元情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】鋼管の横断面内の複数箇所における外径や肉厚を簡易にかつ十分な測定精度で自動測定を行う。
【解決手段】外径、肉厚測定用の第１の外側、内側レーザ距離計１，１Ａを第１の直線１３上に、位置合わせ用の第２の外側レーザ距離計２を第１の直線１３と直交する第２の直線１４上に、かつこれらを同心円上に、配置して、枠体３で支持し、枠体３を枠体回転手段、枠体移動手段、および、前後進手段で、全てのレーザ距離計の同心回転、第２の直線１４の方向、および、同心円の直交方向の移動を可能とした。 （もっと読む）

【課題】画像プローブの校正方法を提供すること。
【解決手段】画像プローブ３の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ３および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂによりそれぞれ校正ゲージ６２を測定し、画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子６１１Ａ，６１１Ｂにより基準球６３を測定し、基準球６３の位置を登録する。続いて、画像プローブ３の撮像方向を傾斜させた後、各測定子６１１Ａ，６１１Ｂで基準球６３を測定し、該測定結果と登録した基準球６３の位置とから測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置を求める。画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置から画像プローブ３の光軸周りの回転角度および画像プローブ３の位置を校正できる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に貫通穴の位置を測定すること。
【解決手段】 内側穴１４と外側穴１６とを有する貫通穴１８について、前記内側穴１４の外周領域を含む座面平面２２までの距離を測定することで、前記座面平面２２の座面法線方向ＣＸでの平面位置２４を算出する変位計３０と、前記貫通穴１８の貫通方向ＡＸを光軸ＯＸとして前記内側穴１４を撮像することで、貫通穴画像３８を生成するカメラ３２と、前記貫通穴画像３８を画像処理して前記内側穴１４の穴位置２６を算出する画像処理部３４と、前記座面平面２２の前記平面位置２４に、前記穴位置２６を合成する三次元測定部３６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置を高速で動作させる場合に、定盤の強度を確保しつつ、安全性を向上せる。
【解決手段】形状測定装置１１のコラム２３−１には、エアベアリング３２が固定された支持部３３が設けられており、エアベアリング３２と、エアベアリング２４とが対向するように配置されている。これにより、コラム２３がより定盤２１に押し付けられて、コラム２３の転倒が防止される。また、コラム２３が倒れたとしても、エアベアリング３２がガイド２９に引っ掛かり、コラム２３が完全に転倒することはない。さらに、コラム２３の移動方向に沿って設けられるガイド２９が、定盤２１に一体的に固定されているので、定盤２１に溝を設けるなどの加工を施す必要がなく、定盤２１の強度が確保される。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】非接触式の三次元形状測定において、撮像装置と被検物との位置合わせ作業を簡単に行うことが可能な構成の三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】三次元形状測定装置は、支持装置上に載置された被検物を撮像する光プローブ２０と、光プローブ２０により撮像された被検物の画像に基づき被検物測定する画像処理部５２と、支持装置および光プローブ２０を互いに直交する３軸回りの相対回転移動と３軸方向の相対平進移動とのうちの少なくとも３つの相対移動を可能に支持する駆動部１４，３３と、支持装置および光プローブ２０を相対移動させる制御を行う駆動制御部５３とを有して構成され、駆動制御部５３は、光プローブ２０による被検物上の撮像部位を走査するために光プローブ２０および支持装置の相対移動制御を行う第１の作動制御モードと、光プローブ２０が撮像部位を撮像可能な状態を維持して光プローブ２０および支持装置の相対移動制御を行う第２の作動制御モードとを有している。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の発熱、プローブの重量増や大型化などの問題を解消できるとともに、能率的な測定を実現できる非接触形状測定機および測定方法を提供する。
【解決手段】非接触プローブ１０と、被測定物Ｗ１，Ｗ２を載置するＸＹステージ２と、非接触プローブ１０とＸＹステージ２とを相対移動させる相対移動機構とを備え、非接触プローブ１０は、同軸上でかつ互いに離れる方向に測長光Ｌ２を出射し、その測長光Ｌ２が被測定物Ｗ１，Ｗ２によって反射した反射光を用いて、被測定物Ｗ１，Ｗ２までの距離を求める干渉計からなる一組の測長手段１１Ａ，１１Ｂを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】装置のサイズを大きくすることなく、口腔内を高精度に測定することを可能にする口腔内測定装置及び口腔内測定システムを提供する。
【解決手段】口腔内の少なくとも歯を含む被測定物に光を照射する投光部と、前記被測定物で反射された光を集光させるレンズ系部と、前記レンズ系部が集光した光の焦点位置を変化させる焦点位置可変機構と、前記レンズ系部を通過した光を撮像する撮像部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定した座標値の補正を高精度に行い、三次元形状の測定を短時間で高精度に行うことが可能な三次元測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定装置１００を、被測定物３を載置する定盤２、被測定物３の三次元形状を測定するための光学系を有する測定部４、この測定部４の移動機構Ａ及びこの測定部４で測定した座標軸を補正する補正値を求める測定誤差補正部５０から構成する。この測定誤差補正部５０を、Ｚ参照ミラー１０、Ｘ参照ミラー１１、Ｙ参照ミラー１２、測定部４の位置座標を求める６軸レーザ干渉測長計９及び測定部４で測定した座標値に補正値を加算して補正後の座標値を求める補正座標値算出部１３から構成する。 （もっと読む）

【課題】下方から照射された光により透明基板上に塗布した点塗布マークを読み取る際に、該点塗布マークの厚みに起因した輪郭のぼやけの無い 鮮明な画像を認識することができる高精度な位置検出装置の提供を提供する。
【解決手段】ガラスプレート３０（光透過プレート）の下方に該ガラスプレート３０上の塗布マークＭに下側から光を照射するＬＥＤ照明３２（照明）を設け、さらに該ガラスプレート３０の下面に、認識用カメラ２０の光学的軸線と平行となるようにＬＥＤ照明３２から発せられた光の光軸を調整する液晶プレート３１を積層する。 （もっと読む）

【課題】高い測定精度を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、被測定物体１５の形状を測定して測定値を出力するプローブ１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動させる移動機構部であるアーム部１１に、プローブ１２を着脱する取付部１６と、空間内におけるプローブ１２の空間座標を測定する空間座標測定部３０と、プローブ１２により測定された被測定物体１５の測定値を、空間座標測定部３０により測定されたプローブ１２の空間座標により補正する制御部２０，５０と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】作業性を低下させることなく、被検物の測定結果のＳＮ比を向上させる。
【解決手段】形状測定装置１１は、光源２６から測定光を射出して被検物１２に照射するとともに、受光部２７により被検物１２からの測定光を受光し、被検物１２の形状を測定する。光センサ部２５には、その外周部分を覆うように、笠状の遮光部２８が設けられており、遮光部２８は、被検物１２に照射され受光部２７に入射する外乱光が、被検物１２に照射されないように、外乱光を遮光する。これにより、受光部２７に外乱光が入射することを防止することができ、受光部２７が測定光を受光して得られる電気信号のＳＮ比を向上させることができる。また、遮光部２８が邪魔になって測定者が被検物１２を視認できなくなるようなこともないので、作業性が低下することもない。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 立体物のイメージスキャナにおいて大きい立体物の全体像を良好な画質で取得する。
【解決手段】 スキャニングユニット２４は、リニアイメージセンサとテレセントリック結像系を内蔵し、前方の鉛直な線状のターゲット平面領域４８にピントが合っている。鉛直で線状の２本の光源３４A、３４Bがスキャニングユニット２４の左右両側に配置され、ターゲット平面領域４８を照明光する。光源３４A、３４Bの全箇所からの照明光の鉛直面に沿った出射角度が規制され、それにより、ターゲット平面領域４８の全箇所にて、照明光の鉛直面に沿った入射角と光量が一定にされる。スキャニングユニット２４と光源３４A、３４Bが一緒にX、Y、Z方向に移動して、被写体の空間１５を多数のレイヤとバンドに分割してスキャンする。スキャンで得た画像データからピントの合った画素が抽出され合焦点画像が合成される。 （もっと読む）

【課題】作業者の熟練度に左右されることなく、プローブの角度を能率的かつ高精度に調整することができるプローブのアライメント調整方法および形状測定機を提供。
【解決手段】軸部の先端に接触部を有するプローブと被測定物とを相対移動させるとともに、その相対移動方向に対して直交しかつ軸部と交差する方向からプローブの移動軌跡画像を撮像する工程ＳＴ２と、撮像されたプローブの移動軌跡画像から相対移動方向を示す基準直線Ｌ１および軸部の傾きを示すプローブ軸線Ｌ２を抽出する工程ＳＴ３と、抽出された基準直線Ｌ１に対するプローブ軸線Ｌ２の傾きを演算して求める工程ＳＴ４と、求められたプローブ軸線Ｌ２の傾きに基づいてプローブの傾きを調整する工程ＳＴ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】キャリアおよびキャリアに収容された半導体ウエハの姿勢を精度良く測定することのできる形状測定機を提供する。
【解決手段】測定対象であるキャリア１８を支持するステージ１２，２０と、測定対象の形状を測定する測定部１０とを有する。ステージ１２，２０は、キネマティックカップリングによって測定対象を支持するために、キネマティックカップリングピン２０ａ，２０ｂ，２０ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】低コストでフレームの所定箇所の位置を求めることができるセンシング方法を提供すること。
【解決手段】センシング方法は、自動二輪車のフレーム１０の測定点の位置を求める方法である。このセンシング方法は、測定装置６０により、フレーム１０の後方側から、このフレーム１０の測定点の全てをセンシングする。この発明によれば、１台の測定装置６０でフレーム１０をセンシングできるから、システムを小型化でき、低コストとなる。 （もっと読む）

【課題】外乱光の影響を抑制し、物体の形状の測定精度を向上する。
【解決手段】物体にパタンを投影して、その像を撮像素子６０により撮像することによって物体の形状を測定する形状測定装置の制御部６１のFFT部１０２は、A/D変換部１０１を介してフォトセンサ５９から取得した受光信号に基づいて、撮像素子６０に入射する入射光の周波数成分を検出する。ピーク検出部１１１は、周波数成分の検出結果に基づいて、撮像素子６０への入射光に含まれる外乱光の光量が所定の閾値以上かつ最大となる周波数fpを検出する。露光時間設定部１１３は、周波数fpに対応する周期Tpの倍数に撮像素子６０の露光時間を設定する。本発明は、例えば、光学式の形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）