【課題】 真空チャンバー内に配置される計測装置において計測光学系等を好適に使用することを目的とする。
【解決手段】 真空チャンバー内に配置される計測装置であって、
真空チャンバーの内部に配置され、基板の位置または高さを計測する計測光学系と、
計測光学系の少なくとも一部を密封して覆うカバーと、カバー内に気体を供給および排出するための配管と、
配管を介してカバー内に供給または排出される気体の量を制御することによってカバー内の圧力を制御する圧力制御手段と、
を備え、カバーには透明板が設けられ、
圧力制御手段は、カバー内の圧力変動を抑え、かつ、カバー内外に所定の圧力差が生じるように気体の量を制御し、
計測光学系は、圧力差によって透明板が変形することによって生じる収差を補正するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定ワーク側に別部品の反射手段を設置する必要がなく且つ微小な測定ワークの内面も測定可能な非接触形状測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ軸と平行なレーザー光Ｌをプローブ８よりクランク状に折り曲げるため、レーザー光Ｌを折り曲げるための別部品を必要とせず、プローブ８をそのまま測定ワーク１の内面の内部に挿入するだけで、測定ワーク１の内面形状が測定可能となる。プローブ８を小さくすれば微小な測定ワークの内面も測定可能となる。 （もっと読む）

【課題】平面度が高く高精度なパターンを有する校正用ボードと、この校正用ボードを備えることにより、光学機器を校正するための画像取得が容易で、高精度な校正が可能な校正用装置を提供する。
【解決手段】光学機器の校正用装置１００を、ボード本体１１、このボード本体１１の一面に形成されたチェッカーパターン１２、及び、このチェッカーパターン１２の原点Ｐを挟んで点対称に形成された少なくとも２つ以上の基準部１３を有する校正用ボード１０と、照明装置２０と、校正用ボード１０に対して照明装置２０の反対側に配置する光学機器であるカメラ本体３０を保持し、校正用ボード１０に対してカメラ本体３０を相対移動させる雲台４０と、から構成する。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記被検物の温度を計測する温度計測手段と、前記被検物の温度を調整する気体流を形成する気体流形成手段と、前記温度計測手段からの情報に基づいて、前記気体流形成手段を制御して、前記被検物の温度を所定温度範囲に保持する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉計の計測精度を改善する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系ＵＬと、原版Ｒまたは基板Ｗを保持して移動可能なステージ１ｒ、１ｗと、ステージを支持する定盤４と、原版または基板の表面の高さ及び傾きを検出する検出手段７と、投影光学系と検出手段とを支持する架台８と、定盤と架台との間における、ステージを含む空間の空調を行う空調手段と、該空間内に光路を有してステージの位置を計測するレーザ干渉計６と、を有する。上記検出手段は、光電検出手段２７と、パターンを投影する投光光学系と、原版または基板上に投影された上記パターンの像を光電検出手段に再結像させる受光光学系とを有する。光電検出手段を含む検出手段の第１の部分は、上記空間の外において架台に支持され、検出手段の第２の部分は、上記空間内において架台に支持され、第１の部分と第２の部分とは、受光光学系の瞳面と像面との間で分割されている。 （もっと読む）

【課題】振動の影響による３次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ１７と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部３４と、プローブの振れを検出する振れ検出部２８とを備え、振れ検出部２８に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。 （もっと読む）

【課題】非球面体の内部屈折率分布の影響を受けることなく、また、非球面体が測定光を透過しないものである場合でも、面ずれ量および面倒れ量を測定できるようにする。
【解決手段】第１干渉計１Ａと第２干渉計１Ｂとを用いた反射波面測定により、非球面レンズ９の第１レンズ面９１および第２レンズ面９２の形状データを求める。各形状データをツェルニケ多項式で近似し、そのときのツェルニケ多項式の係数Ｚ_１，Ｚ_２の値を求めるとともに、各形状データから第１被検面の頂点偏芯の値および第２被検面の頂点偏芯の値を求める。求められたこれらの値に基づき、第１測定光軸Ｌ_１に対する第１レンズ面９１のシフト量およびチルト量と第２測定光軸Ｌ_２に対する第２レンズ面９２のシフト量およびチルト量を求め、求められた各々のシフト量およびチルト量と、第１干渉計１Ａおよび第２干渉計１Ｂの相対位置関係とに基づき、面ずれ量および面倒れ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】より単純な構造で基板を保持できる基板保持装置と、その基板保持装置を適用した欠陥修正装置とを提供する。
【解決手段】欠陥修正装置１では、ガラス基板９９が載置される１対の基板端支持台３が配設されている。１対の基板端支持台３によって挟まれた領域には、ガラス基板９９を下方から支持する複数の基板支持用コロ機構４が配設されている。基板支持用コロ機構４には、載置されたガラス基板９９の下面を吸着して保持する基板吸着台２６が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】誤測定しやすい測定領域が存在する測定対象物であっても、物体形状評価が適正に行われる物体形状評価装置を提供することである。
【解決手段】物体形状評価装置は、対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段５０と、位置合わせ処理後の前記測定点データと前記基準点データとに基づいて前記測定対象物の形状を評価する形状評価手段６とを備えている。位置合わせ処理手段５０は、測定点データから測定対象物のエッジに対応するエッジ点を検出するエッジ検出部によって生成されたエッジ点群と、エッジ基準点群とを位置合わせするエッジ位置合わせを行い、当該エッジ位置合わせによって得られたエッジ合同変換パラメータを用いて測定点データ全体の測定点が基準点に向かう位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】その目的は加工機の大きさに係らず、加工ツールと加工ポイント間の相対的な変位を正確に計測することが可能な機械的精度測定方法を提供することにある。
【解決手段】加工機に取付けたカメラで真直度などの精度を測定したい部位、例えば当該加工機の加工テーブルや当該加工機の加工テーブル上に設置された被加工物の表面の画像データを撮影し、その画像データを基に当該部分の真直度や位置決め精度などの加工機の機械的精度を測定する方法。 （もっと読む）

【課題】検査ウインドウを自動的に精度よく設定する。
【解決手段】外観検査装置１０は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体１２を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体１２を検査する。外観検査装置１０は、被検査体１２にパターンを投射する投射ユニット２６と、パターンが投射された被検査体１２のパターン画像に基づいて被検査体１２の表面の高さ情報を生成する高さ測定部３２と、高さ情報を用いて特定される被検査体画像上での部品の配置に基づいて被検査体画像に検査ウインドウを設定する検査データ処理部３４と、を備える。 （もっと読む）

可搬型の関節アーム座標測定機の実装が、機能を実行する第１の要求を受信するステップを含む。可搬型のＡＡＣＭＭは、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム部であって、複数の接続されたアームセグメントを含み、各アームセグメントが位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む、関節アーム部と、ＡＡＣＭＭの第１の端部に装着された測定デバイスと、トランスデューサからの位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。可搬型の関節アーム座標測定機の実装は、第１の要求が受信される送信元デバイスを特定するステップと、第１の要求に従って機能を実施するステップと、第１のポートおよび第２のポートのうちのどちらから第１の要求が受信されるかを特定することによって、送信先デバイスを第１の要求の送信元デバイスとして選択するステップと、機能を実施することにより得られた情報を送信先デバイスに送信するステップとをさらに含む。
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【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

【課題】主センサ手段と補助センサ手段を用いて作業対象物に対する正確な計測を行う。
【解決手段】マニピュレータ２によりオンハンドカメラ３を移動し、オンハンドカメラ３より得られた画像情報を用いてグローバルカメラ６の三次元位置及び姿勢を計測するように構成し、作業対象物Ｗに対する作業を行うのに先立ち、オンハンドカメラ３によりグローバルカメラ６の位置及び姿勢を計測する。 （もっと読む）

【課題】レーザ計測装置を用いて複雑な形状を有する検査物の検査を行う際にも、短時間に高精度な測定を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】この外観検査装置１００（検査装置）は、実装済み基板１１０を撮像する撮像部３１と、実装済み基板１１０上の計測位置にレーザ光を照射して実装済み基板１１０からの反射光を受光することにより、実装済み基板１１０の形状を計測する第１レーザ計測部３３および第２レーザ計測部３４と、撮像部３１による実装済み基板１１０の撮像画像に基づいて、撮像画像中に含まれるレーザ計測に不適な領域（レーザ計測除外領域）を判定し、レーザ計測除外領域を第１レーザ計測部３３または第２レーザ計測部３４による計測対象から除外する演算処理部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検物の三次元形状を測定する際に必要なメモリの容量を効率的に削減する。
【解決手段】形状測定装置において、ステップＳ５において、スポット光の照射位置が変化したと判定され、ステップＳ６において、過去にデータセットを記録した照射位置でないと判定された場合、測定データ、中間データおよび測定用画像データを含むデータセットを記録する。また、スポット光の照射位置が変化したか否かに関わらず、ステップＳ７において、現在のスポット光の照射位置でまだＮ回データセットを記録していないと判定された場合、データセットを記録し、すでにＮ回データセットを記録していると判定された場合、データセットを記録しない。本発明は、例えば、三次元形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】測定者に被測定物体に対するプローブの位置やライン光の照射角度をアシスト（支援）することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光学式センサにより被測定物体５１の形状を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、複数のアーム部１１ａ及びプローブ１２を回転可能に接続する２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、表示部３０と、測定情報及び角度情報から、被測定物体５１の形状情報を算出するとともに、形状情報を表示部３０に出力する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、制御部２０は、プローブ１２の操作を支援するアシスト表示を表示部３０に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】測定者の操作に応じて関節部の回転動作を補助するように構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、光学式センサ４０により被測定物体５１を非接触で走査して当該被測定物体５１の形状の測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂの各々に設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂにより接続された一方のアーム部１１ａ若しくはプローブ１２を他方のアーム部１１ａに対して回転駆動させる駆動部１５と、角度情報からプローブ１２の移動を検出して駆動部１５を作動させる制御部２０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定者の位置や姿勢に関わらず、常に、被測定物体の測定結果を目視で確認することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体５１の形状を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、表示部３０と、測定情報及び角度情報から、被測定物体５１の形状情報を算出するとともに、この形状情報を表示部３０に出力する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、表示部３０を、測定者の頭部に装着され、この測定者の少なくとも一方の眼前に形状情報を投影する投影部３５を有するヘッドマウントディスプレイで構成する。 （もっと読む）

【課題】形状測定中は移動機構部を固定することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光学式センサ４０により、静止した状態で被測定物体５１の表面を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び少なくとも２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂに設けられ、アーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、関節部１１ｂを被測定物体５１に対して静止させるロック機構部１５と、光学式センサ４０により測定情報を取得し、エンコーダ２１から角度情報を取得して、被測定物体５１の形状情報を算出する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、制御部２０は、光学式センサ４０により被測定物体５１を測定するときに、ロック機構部１５を作動させて関節部１１ｂを静止させるように構成される。 （もっと読む）